Nanosonden

KleindiekNanosondenEs ist ein SEM/FIB-basiertes System zur Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Halbleitergeräten. Die Kombination von Mikromanipulatoren im Nanoskala und zugehörigen Sondensoftware-Hardwaremodulen bietet eine vielseitige Nanodetektionslösung für die Fehleranalyse von Halbleitergeräten und die Messung stabiler schwacher Strome.

Kleindiek Mikro-Nanomanipulatoren werden in einem Scan-Elektronenmikroskop installiert, um die Handhabung von Mikro-Nanomaterialien/Geräten oder die Strommessung von Nanomaterialien/Geräten sowie die Prüfung der mechanischen Eigenschaften von Materialien (optionales Plug-in FMS-EM) zu ermöglichen.

Mikro-Nano-Manipulator, wie eine oder mehrere flexible "Hände" im SEM-Probenraum. Hauptfunktionen umfassen:

(1) In situ Manipulation, Bewegung usw. der Probe während der SEM-Elektroskop-Beobachtung;

(2) Extraktion von TEM-Folienproben aus dem Doppelstrahlsystem mit einem Manipulator und einer Mikropinze (optionales Plug-in MGS2-EM) in einem Doppelstrahlsystem;

(3) Durch die Auswahl eines EBIC-Verstärkers, die Bildgebung von Proben wie EBIC / EBAC / RCI, PN-Knotenbeobachtung von Mikro-Nanomaterialien / Geräten, Positionierung von Widerstandsänderungen, IC-offene Schaltungsdetektion, Ausfallanalyse und andere Funktionen.

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