Der Einsatzprozess der Plasmareiniger umfasst hauptsächlich die Vorbereitung, die Einstellung der Parameter, den Betrieb und die Beendigung mehrerer Kernstufen der Verarbeitung. Genau wie folgt:
I. Vorbereitungsarbeit
1. Ausrüstungsprüfung: Stellen Sie sicher, dass alle Komponenten der Plasmareiniger intakt sind, der Stromstecker richtig eingesteckt ist und die Spannung den Anforderungen entspricht (in der Regel AC220V ± 10%), die Gasversorgung ausreichend ist und die Verbindung ohne Leckage ist. Überprüfen Sie, ob die Gasleitungen (z. B. Argon, Sauerstoff, Stickstoff) dicht sind, und Sie können Blasen an den Verbindungen mit Seifenwasser auftragen, um die Dichtheit zu bestätigen. Gleichzeitig muss sichergestellt werden, dass die Ausrüstung gut geerdet ist, um das Leckerrisiko zu vermeiden.
2. Probenvorbereitung: Reinigen Sie große Verunreinigungen (wie Staub, Ölverschmutzung) auf der zu reinigenden Probenoberfläche, die mit wasserlosem Ethanol getrocknet werden können. Fixieren Sie die Probe auf dem Probenhalter, um sicherzustellen, dass die Oberfläche nicht abgeschützt ist und gleichmäßig dem Plasma ausgesetzt ist, und stellen Sie sie anschließend in die Mitte der Reaktionshalle, um die Elektroden zu vermeiden. Bei kleinen Gegenständen kann eine Befestigung mit einer Klemme oder einer Palette erfolgen, um Bewegungen während der Reinigung zu verhindern.
3. Umwelt- und Verbrauchsstoffbestätigung: Öffnen Sie einen Lüftungsschrank oder eine Abgasseinrichtung, um die durch Plasmareaktionen verursachte Umweltverschmutzung zu vermeiden. Überprüfen Sie den Druck der Gas-Stahlflasche (in der Regel 0,2-0,5 MPa) und bestätigen Sie, dass die Reaktionskammertürdichtungsmatte sauber ist und nicht beschädigt ist, und die Versuchsumgebung sollte keine starken Vibrationen oder Staub haben.
2. Parametereinstellung
1. Modus-Auswahl: Wählen Sie je nach Reinigungsbedürfnissen den geeigneten Arbeitsmodus (z. B. Routine-Reinigung, Tiefenreinigung) oder den Gastyp (z. B. Sauerstoff für die Entfernung von Ölverschmutzung, Argon für die Oberflächenaktivierung, kombinierte Reinigung mit optionaler Argon + Sauerstoff-Mischung).
2. Parameteranpassung:
- Leistung: harte Probe mit hoher Leistung (z. B. 300W), weiche oder thermisch empfindliche Probe mit niedriger Leistung (z. B. 50W);
- Zeit: leichte Verschmutzung einstellen kurze Zeit (30 Sekunden-2 Minuten), schwere Verschmutzung verlängert auf 10 Minuten;
- Vakuumgehalt: Normalerweise im Bereich von 10-100Pa;
- Gasfluss: in der Regel auf 10-50sccm eingestellt, um zu vermeiden, dass der Durchfluss zu groß ist, um das Vakuum zu zerstören oder zu klein ist, um zu einer mangelnden Plasmakonzentration zu führen [^2^]. Einige Modelle unterstützen die Einstellung von Segmentparametern (z. B. eine Vorbehandlung mit geringer Leistung und eine Reinigung mit hoher Leistung).
3. Start des Betriebs
1. Pumpen Sie Vakuum: Schließen Sie die Reaktionsräumtür, starten Sie die Vakuumpumpe und pumpen Sie den Druck in der Kammer auf den eingestellten Wert (z. B. 20Pa). Nachdem das Instrument fertig ist, wird es automatisch angezeigt (die Anzeige leuchtet oder klingelt).
2. Entlüftung Ionisierung: Einleitung in das Arbeitsgas und Aufrechterhaltung eines stabilen Durchflusses, starten Sie die HF-Stromversorgung, um das Gas zu stimulieren, um Plasma zu erzeugen. Zu diesem Zeitpunkt wird in der Reaktionshalle ein schwaches Licht auftreten, was ein normales Phänomen ist.
3. Echtzeitüberwachung: Überwachung von Parametern wie Vakuum, Gasfluss, Leistung und verbleibende Zeit über den Bildschirm, um sicherzustellen, dass keine Anomalien vorhanden sind (z. B. Unterdruck oder Gasleckage). Einige Modelle verfügen über eine automatische Alarmfunktion, die bei Ausfällen geschützt wird.
4. Beendigung der Verarbeitung
Schließen Sie die HF-Stromversorgung und das Gasventil ab, und das Instrument tritt automatisch in den Druckentlastungsprozess ein (durch eine kleine Menge Inertgas, um den inneren und äußeren Druck auszugleichen). Nach Abdruck kann die Tür geöffnet werden.
2. Abnahmeprüfung: Tragen Sie Schutzhandschuhe, um die Probe zu entfernen, beobachten Sie den Oberflächenzustand (z. B. ob er trocken ist und keine Rückstände hat), und Sie können die Reinigungswirkung durch den Test des Kontaktwinkels der Tropfen überprüfen. Wenn Sie mehrere Proben in Folge bearbeiten möchten, können Sie den Schritt „Vakuumpumpen → Reinigen“ direkt wiederholen, ohne die gesamte Stromversorgung auszuschalten.
3. Saubere Wartung: Reinigen Sie die Reaktionshöhre Tür Dichtung Pad und Probe Rahmen mit einem sauberen Tuch, um die Staubrückstände in der Höhre zu reinigen. Schließen Sie das Gasflaschenventil, stoppen Sie die Vakuumpumpe und schalten Sie die gesamte Stromversorgung ab, um das Ende zu beenden.
Der Betriebsprozess der Plasmareiniger ist standardisiert und intelligent, wobei die Vorbereitung und die Parameteranpassung im Mittelpunkt stehen. Der Benutzer muss die Parameter flexibel anhand des Probenmaterials (Hart/Weich, Temperaturbeständigkeit) und des Reinigungsziels (Entölung, Aktivierung, Gravur) anpassen und gleichzeitig die Sicherheitsvorschriften (z. B. Tragen von Schutzbrillen, Handschuhen) strikt einhalten. Regelmäßige Wartungsanlagen (z. B. Prüfung der Dichtheit, Reinigung der Reaktionsräume) können die Lebensdauer der Maschine erheblich verlängern und die Stabilität der Reinigungswirkung gewährleisten.