Der Gleichstrom-Magnetron-Spritzer als eine weit verbreitete Film-Vorbereitungs-Ausrüstung wird häufig in der praktischen Verwendung mit einer Vielzahl von Problemen konfrontiert. Diese Fragen betreffen in der Regel Aspekte wie Prozessstabilität, Folienqualität und Wartung von Geräten. Im Folgenden finden Sie eine Auswahl an häufigen Problemen, eine Analyse der Ursachen und Empfehlungen zur Lösung:

Plasma ist instabil oder nicht glänzend

1. Probleme:

Die Lichtentladung ist instabil, blinkt oder schlägt.

Kann nicht normal leuchten, kein Plasma erzeugt.

Mögliche Ursachen und Maßnahmen:

Mangel an Vakuum: Grundvakuum oder Arbeitsluftdruck erfüllen nicht die Glanzanforderungen. Überprüfen Sie, ob Vakuumsysteme (Pumpen, Ventile, Rohrleitungen) lecken.

Problem mit der Einluftung: Das Arbeitsgas Ar ist unrein oder zu wenig Argon in der Kammer, was zu einer anormalen Leuchtkraft führt.

Zielprobleme: Übermäßiger Verbrauch des Ziels führt zu einer unvollständigen Exposition des Magnetron-Landebahnbereichs, einer Vergiftung des Ziels (bei der Reaktion auf Sputterung) oder einer schlechten Kühlung der Rückplatte, die zu einer hohen Zieloberflächentemperatur führt. Überprüfen Sie den Zustand des Ziels, um sicherzustellen, dass das Kühlwasser reibungslos fließt.

Schlechte Erdung: Schlechte Erdung des Hohlraums oder des Probenstands führt zu unormalen Entladungsschlüssen. Überprüfen Sie alle elektrischen Anschlüsse und Erdungsleitungen.

II. Filmqualitätsprobleme

1. Schlechte Haftung:

Ursache: Unterlagen nicht gründlich gereinigt, zu niedrige Unterlagen-Temperatur, unzureichende Ionenbombardierung während der Ablagerung (nicht geöffnet oder zu niedrig) oder zu hohe Spannung im Film.

Gegenmaßnahmen: Substratreinigung (Ultraschallreinigung, Plasmareinigung); geeignete Erhöhung der Substrattemperatur; Öffnen Sie die Substrate zur Ionenreinigung und zur Verbesserung der Membranbasisbindung; Optimierung der Prozessparameter (Beschichtung mit einer Schicht, die die Haftung erhöht, wie Nickel).

2. Ungleichmäßige Folie:

Ursache: Ungleichmäßige Erosion des Ziels, ungleiche Parallelität der Basisfläche mit der Zielfläche, Ausfall der Basisdrehung / Rotation.

Gegenmaßnahmen: Optimierung der Zielmagnetfeldverteilung (mit verstellbaren Magnetronen); Stellen Sie sicher, dass die Bewegung oder Rotation der Substrate normal ist; Anpassung der relative Position und Winkel der Zielbasis; Die Verteilung der Foliendicke wird bei Bedarf mit einer Blende optimiert.

Allgemeine Wartungs- und Präventionsempfehlungen

1. Spezifischer Betrieb: Strikt nach den Betriebsprozessen der Geräte, insbesondere bei der Pumpe von Vakuum, Aufblasen, Start und Stopp-Stromversorgung.

2. Regelmäßige Wartung:

Reinigen Sie regelmäßig die Kammern, ersetzen Sie das Pumpenöl und überprüfen Sie die Dichtungsringe.

Kalibrieren Sie wichtige Komponenten wie Vakuummeter, Durchflussmesser und Stromversorgung.

Überprüfen Sie Kühlwassersysteme und Luftleitungen.

3. Prozessaufzeichnung: Detaillierte Aufzeichnung der Parameter, Phänomene und Ergebnisse jedes Betriebs, um die Problemverfolgung und die Prozessoptimierung zu erleichtern.

4. Volle Vorwärmung und Vorsputterung: Nach dem Einstart und vor der formellen Beschichtung wird die Ausrüstung vollständig vorwärmt und das Ziel für genügend Zeit vorsputtert, um die Zielfläche zu reinigen und das Plasma zu stabilisieren.