Die Marmorplattform der Klasse 00 ist ein Referenzwerkzeug für hochpräzise Messungen und Prüfungen und dient hauptsächlich zur Gewährleistung der Genauigkeit der Messergebnisse.
Hauptzweck: Präzisionsmessung im Labor: als Arbeitstisch für hochpräzise Geräte wie drei Koordinatenmessmaschinen, optische Plattformen und andere, bietet eine stabile Messgrundfläche, um die Zuverlässigkeit der experimentellen Daten zu gewährleisten.
Industrielle Prüfung und Qualitätskontrolle: Für die Prüfung und Kalibrierung von Instrumenten, Präzisionswerkzeugen und mechanischen Teilen, um sicherzustellen, dass die Bearbeitungsgenauigkeit den Standards entspricht.
Hochpräzisionstechnik: Bei der Halbleiterherstellung, dem Schleifen von optischen Komponenten und anderen Prozessen bietet es eine Arbeitsplattform gegen Vibrationen und Verformungen, um die Bearbeitungsgenauigkeit zu gewährleisten.
Anwendungsszenarien:
Präzisionsbearbeitung: für die Ebenenprüfung des Werkzeugtisches und der Schienenmontagefläche, um die Bearbeitungsgenauigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten.
Fall: Ein Luftfahrt-Komponentenunternehmen verwendet eine Plattform der Stufe 00, um den Fünf-Achs-Bearbeitungszentrum zu erkennen, um den Montagefehler von 0,02 mm auf 0,005 mm zu senken.
Optische Messung: als Messbenchmark für optische Komponenten (Objektiv, Prisma) in Verbindung mit einem Interferometer.
Beispiel: Eine optische Instrumentenfabrik kalibrierte ein Laserinterferometer mit einer Plattform der Stufe 00 und erhöhte die Messwiederholbarkeit von 0,5 μm auf 0,2 μm.
Halbleiterherstellung: Für das Wafer-Schneiden und die Ebenenkalibrierung von Graviertischen.
Fall: Eine 12-Zoll-Wafer-Fabrik verwendet eine Plattform der Klasse 00, um den Arbeitstisch der Graviermaschine zu erkennen, um die Genauigkeit der Gravierung von 3nm auf 1,5nm zu erhöhen.
Messprüfung: Als Kalibrierungsgrundpunkt für Messgeräte (Tausend, Prozentsatz), um die Messgenauigkeit zu gewährleisten.
Beispiel: Ein Messhaus kalibriert eine dreikoordinatenmessmaschine mit einer Plattform der Stufe 00, um die Messunsicherheit von (1+L/300) μm auf (0,8+L/500) μm (L ist die Messlänge, Einheit: mm) zu reduzieren.
Tägliche Reinigung:
Verwenden Sie ein staubfreies Tuch, um Isopropanol einzutauchen und das Reinigungsmittel zu vermeiden, das Partikel enthält.
Kontraindikationen: Es ist streng verboten, säure- und alkalische korrosive Flüssigkeiten zu verwenden, um Oberflächenschäden zu verhindern.