Einer der häufigsten Fehler in der Molekularpumpe-Gruppe ist die Nichterfüllung des Vakuumgrades, der sich in der Anzeige des Vakuummeters zeigt, dass der Wert immer höher als der Zielwert ist und der für den Prozess erforderliche Hochvakuumzustand nicht erreicht werden kann. Die Gründe für das Problem sind drei: Erstens ist die Dichtung altert oder beschädigt, wie Flanschdichtungsringe durch lange Zeit hohe Temperatur, niedrige Temperatur abwechselnd Risse, die Luftleckage verursachen; Zweitens ist die Lufteinleitung oder die Leitung verstopft, Staub und Prozessrückstände behindern die Luftströmung; Drittens ist die Leistung der Molekülpumpe selbst abgeschwächt, die Rotorblatte verschleißt oder die Motordrehzahl mangelt. Bei der Diagnose kann zunächst ein Helium-Massenspektrometer verwendet werden, um die Dichtungsfläche zu prüfen, und wenn ein Heliumleck festgestellt wird, wird die Dichtung ersetzt; Überprüfen Sie die Zuluftleitung erneut und reinigen Sie Verstopfungen mit Druckluft; Wenn die ersten beiden Punkte keine Anomalien haben, müssen die Motordrehzahlen erkannt werden und der Rotor oder der Motor bei Bedarf ersetzt werden.

Ungewöhnliche Geräusche und Vibrationen sind auch ein Hochfrequenzstörer, der während des Betriebs scharfe Geräusche oder starke Zitterungen verursacht, die nicht nur die Lebensdauer des Geräts beeinflussen, sondern auch die zugehörigen Komponenten beschädigen können. Die Ursache des Fehlers ist meist ein mechanisches Ungleichgewicht, wie z. B. ein gestörtes Rotorgleichgewicht, ein mangelnder Verschleiß oder eine mangelnde Schmierung der Lager, oder möglicherweise eine lockere Verbindung der Pumpensette mit dem Boden. Die Diagnoseschritte sind wie folgt: Zuerst überprüfen Sie die Ausfallzeiten der Verbindungsschrauben und befestigen Sie mit dem Drehmomentschlüssel das Standardmoment; Zweitens demontieren Sie den Pumpenkörper, beobachten Sie, ob die Lagerkugeln Kratzer und Verschleiß haben, sofort ersetzen Sie bei Problemen und fügen Sie spezielles Hochtemperatur-Schmierfett hinzu; Wenn das Lager normal ist, muss der Rotor kinetisches Gleichgewicht kalibriert werden, um sicherzustellen, dass der Schwerpunkt bei seiner Drehung stabil ist.

Darüber hinaus sind Motorüberlastungsabfälle häufiger, plötzliche Ausfälle während des Betriebs der Geräte und ein Überlastschutzschalter in der Verteilerkaste. Dieser Fehler wird in der Regel durch übermäßige Belastung verursacht, z. B. durch das Festhalten des Rotors durch Fremdkörper in der Pumpenhohle, durch eine schlechte Motorkühlung, die zu einer hohen Temperatur führt, oder durch eine instabile Stromspannung. Bei der Prüfung schneiden Sie zuerst die Stromversorgung ab, drehen Sie den Rotor manuell und demontieren Sie den Pumpenkörper, um Fremdkörper zu reinigen, wenn es Kartons gibt; Überprüfen Sie, ob der Motorkühlventilator beschädigt ist und der Kühlkanal verstopft ist, und reinigen oder ersetzen Sie die Teile rechtzeitig; Gleichzeitig wird die Stromversorgungsspannung mit Multimetern erkannt, um sicherzustellen, dass sie sich im Nennspannungsbereich des Geräts befindet und gegebenenfalls eine Spannungsreglereinrichtung installiert.

Die Fehlerdiagnose und -behebung müssen dem Prinzip der "Erste Beobachtung des Phänomens, die Analyse der Ursache und die letzte präzise Behandlung" folgen und gleichzeitig regelmäßige vorbeugende Wartung durchführen, wie z. B. die Reinigung der Dichtungsfläche, die Überprüfung des Lagerzustands, die Kalibrierung der Motorparameter usw., um das Auftreten von Fehlern zu minimieren, den langfristigen stabilen Betrieb der Anlage zu gewährleisten und eine zuverlässige Unterstützung für die hochpräzise Produktion und Experimente zu bieten.