I. Einleitung

Auf dem Gebiet der modernen Vakuumtechnologie werden Molekularpumpen aufgrund ihrer Fähigkeit, eine Hochvakuum- und sogar eine sehr hohe Vakuumumgebung zu erreichen, weit verbreitet in der Halbleiterherstellung, der Materialforschung, der Oberflächenanalyse, der Herstellung von optoelektronischen Geräten und Vakuumbeschichtungen. In diesem Dokument werden die spezifischen Parameter eines bestimmten Modells von Molekularpumpen (z. B. Einstartsteuerung mit einem Klick, TURBOVAC 90i Molekularpumpe, Grenzvakuum 10-8 Pa, Systemleckage 1 x 10-10 Pa·m³/s usw.) in drei Dimensionen aus technischen Merkmalen, typischen Anwendungsszenarien und Anwendungsfällen eingehend analysiert.

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Technische Merkmale der Molekularpumpe

Diese Molekularpumpe verfügt über eine leistungsstarke Vakuumpumpungskapazität, die wichtigsten technischen Parameter sind wie folgt:

• Steuerung: Ein Klick zum Start, einfache Bedienung, Senkung der Schwelle

• Molekularpumpe: TURBOVAC 90i, Pumpgeschwindigkeit 90 L/s, für hohe Vakuumanforderungen

• Vorderpumpe: Bipolare Rotationsölpumpe (optional 1,2 m³/h schwebende Wirbeltrockenpumpe)

• Vorpumpgeschwindigkeit: 2 m³/h

• Kompositvakuummeter: PTR90 (Messbereich von Atmosphäre bis 5 x 10-7 Pa)

• Endvakuumgehalt: 10-8 Pa

• Schnittstellen: KF40 (optional KF25, KF16)

• Kühlungsart: Luftgekühlt, geeignet für verschiedene Laborumgebungen

• Systemleckage: 1×10−10 Pa·m³/s, ausgezeichnete Stabilität und Dichtung

• Stromversorgung: 220V 50Hz

• Größe und Gewicht: 400 x 340 x 260 mm, 18 kg, bessere Tragbarkeit

Diese Eigenschaften machen sie zur idealen Wahl für Forschung, Industrie und Hochvakuumgeräte.

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Hauptanwendungsszenarien von Molekularpumpen

Halbleiter- und Mikroelektronikherstellung

Halbleiterprozesse wie Ablagerung (PVD, CVD), Ionengravierung, Oberflächenreinigung usw. erfordern eine Hochvakuumumgebung, um Partikelverschmutzung und chemische Reaktionsstörungen zu vermeiden.
Mit einem Vakuumgrenzwert von 10-8 Pa bieten die Molekularpumpen zuverlässige Vordervakuumbedingungen für die Lithographie, die Filmabscheidung und die Wafer-Bearbeitung.

Anwendungsfälle:
Eine Wafer-Fabrik verwendet diese Molekularpumpe bei der Entfernung von Klebstoffen in Kombination mit der kontaktbasierten Reinigungskammer, um die Prozesseffizienz durch schnelle Entleerung zu erhöhen und die Wafer-Oberflächenreinigkeit zu verbessern.

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Materialwissenschaft und Oberflächenanalyse (XPS, AES, SIMS)

Die Oberflächenanalysetechnik stellt hohe Anforderungen an den Vakuumgehalt dar und kann das Elektronenspektrum, das Ionensignal und die Detektionsempfindlichkeit beeinträchtigen, wenn zu viele Restgase in der Kammer vorliegen.

Merkmale der Molekularpumpe:

• hohe Pumpgeschwindigkeit (90L/s)

• Ultra niedrige Leckage (1×10−10 Pa·m³/s)

• Endvakuum bis zu 10-8 Pa

Ideal geeignet als eigenständige Vakuumquelle oder als ergänzende Pumpengruppe für Materialforschungsanlagen.

Anwendungsfälle:
Eine Hochschule für Materialien nutzt diese Molekularpumpe als Backup-Vakuumsystem für XPS (Röntgenoptoelektronisches Energiespektrometer), um während der Wartungszeit des Instruments ein zusätzliches Vakuum zu pumpen, um die Stabilität und Wiederholbarkeit der Analyseergebnisse zu gewährleisten.

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3. Entwicklung von optischen Geräten (OLED, Laser, Lichtdetektoren)

Der Prozess der Herstellung von photoelektrischen Folien umfasst eine Vielzahl von empfindlichen Materialien, die eine sauerstoffarme und wasservereinigende Umgebung erfordern.

Die Molekularpumpe:

• Luftgekühltes Design für langlebige Stabilität

• Kleine Größe für eine einfache Integration in den Verdampfungsraum

• Hoch anpassbare Schnittstelle KF40

Besonders geeignet für Verdampfungsanlagen in Laborklasse und Prototypentwicklungslinien.

Anwendungsfälle:
Bei der Entwicklung eines neuen Infrarot-Detektors nutzte ein Forschungsinstitut diese Molekularpumpe, um die Verdampfungskammer zu unterstützen, um sicherzustellen, dass das Kammervakuum während der Dünnfilm-Ablagerung bei 10-7 Pa gehalten wird, was die Massenproduktivität des Geräts erhöht.

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4. Vakuumbeschichtungsanlagen (harte Beschichtung, optische Beschichtung)

Wenn während des Beschichtungsprozesses zu viel Gas in der Hülle vorhanden ist, kann dies zu einer verminderten Haftung der Membranschicht und schweren Oxidationsproblemen führen.

Molekularpumpen mit:

• Hohe Pumpgeschwindigkeit

• Stabile Luftkühlung

• Schneller Start der Vorpumpe
  Die Vakuumpumpungszeit wird deutlich verkürzt und die Beschichtungseffizienz verbessert.

Anwendungsfälle:
Eine optische Beschichtungsfabrik verwendet eine Molekularpumpe für den Bodenpumpungsprozess der Beschichtung von Spiegeln, die die Leerzeit um 30% verkürzt als das ursprüngliche System und die Gesamteffizienz der Produktionslinie um 15% erhöht.

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5. Allgemeines Hochvakuumsystem im Forschungslabor

Für:

• Massenspektrometer (MS)

• Vakuumofen

• Ionenstrahlsputterung

• Plasma-Versuchseinrichtung

• Kryotemperatur-Probenraum

Seine One-Click-Startfunktion und seine solide Vakuumleistung machen es ideal für eine Vielzahl von interdisziplinären Studien.

Anwendungsfälle:
Das Physik-Labor nutzt diese Molekularpumpe, um eine unabhängige Prüfkammer für die elektrische Messung von Materialien in einer Tieftemperaturumgebung (LHe) aufzubauen, deren hohe Stabilität die Vakuumverlässigkeit für langfristige Versuche gewährleistet.

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Zusammenfassung der typischen Anwendungsfälle

Aus diesen Fällen können wir sehen, dass diese Molekularpumpe aufgrund ihrer kleinen Größe, hohen Pumpgeschwindigkeit, einfachen Bedienung und Vakuumstabilität besonders geeignet ist, in Anwendungen wie Forschungsanlagen, Halbleiterprozessmodulen und Photoverdampfungssystemen integriert zu werden. Ganz gleich, ob es sich um eine industrielle Produktionslinie oder ein Forschungslabor handelt, sie bietet mit einer stabilen Vakuumkapazität eine zuverlässige Garantie für Experimente und Produktion.

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V. Schlussfolgerungen

Als Kernbauteil eines Hochvakuumsystems beeinflussen die Leistungen von Molekularpumpensetzen die Arbeitsstabilität und Prüfgenauigkeit der Anlage direkt. Mit der TURBOVAC 90i-Molekularpumpe, der hochstabilen Vorpumpe, der ultra-niedrigen Dichtstruktur und der Einstartsteuerung mit einem Klick ist diese Molekularpumpe einfach zu bedienen, tragbar und professionell und kann in den Bereichen Halbleiter, Materialwissenschaft, Optoelektronik, Vakuumbeschichtung und wissenschaftliche Experimente eingesetzt werden.

Sie verbessert nicht nur die Betriebseffizienz von Hochvakuumsystemen, sondern bietet auch eine solide Grundlage für Forschung und industrielle Innovation.