Verwenden Sie die Unterschiede in den spektralen Eigenschaften der verschiedenen chemischen Zusammensetzung der Oberfläche des Objekts, erfassen Sie durch ein Bildspektrometer die Auflösung des untersuchten Objekts in einem bestimmten spektralen Reaktionsbereich in der Verteilung der reflektierten Lichtintensität oder der Fluoreszenz-Intensitätsverteilung auf nanoskala, so dass die physikalischen Raumpositionsinformationen mit den optischen Informationen übereinstimmen. "Die Form-Prüfung und die Prüfung der materiellen Bestandteile kombinieren"