In Spitzenbereichen wie Optoelektronik, Bildtechnik und Künstliche IntelligenzMikrolinsen-Array-BearbeitungsprozessDie hohen Anforderungen, die sich auf Leistung und Anwendungserweiterung beziehen, werden im Folgenden die wichtigsten Punkte in vielfältiger Hinsicht analysiert.

Die Materialauswahl ist grundlegend und muss optische Eigenschaften und mechanische Stabilität berücksichtigen. Quartz mit ultrahoher Durchlässigkeit und niedrigem Brechungskoeffizient ist die ideale Wahl für das UV- bis nahe Infrarotband, das Licht genau fokussieren und die Farbdifferenzstörungen reduzieren kann; Polymethylacrylat-Methylester (PMMA) ist aufgrund seiner guten Formbarkeit, seines leichteren Gewichts und seines moderaten Brechungsverhältnisses für Infrarotbildgebung und leichte Anforderungen geeignet, um die Massenverbereitung zu fördern. Nach der Auswahl des Materials kann die Reinheit streng kontrolliert werden und Spuren von Verunreinigungen das Licht streuen und die Gleichmäßigkeit des Arrays verringern.

Die Präzisionssteuerung durchläuft den gesamten Bearbeitungsprozess, und die Größentoleranz ist fast "millimetrisch". Die Abweichung des Durchmessers einer einzelnen Mikrolinse muss auf Submikrometer-Ebene kontrolliert werden, um sicherzustellen, dass das Array eng und gleichmäßig angeordnet ist, sonst ist der optische Weg gestört, die Bildverzerrung oder die Kopplungseffizienz abrupt abnimmt; Oberflächenrauheit erfordert auch bis zu Nanometern, glatte Oberfläche, um die Lichtbrechung zu gewährleisten, die Reflexion folgt der Konstruktionsbahn, um die Streuungsverluste zu reduzieren, was eine große Herausforderung für die Auflösung der Bearbeitungsanlage und die Prozessstabilität darstellt.

Der Prozess-Link ist mit einem Ring verbunden, die Lithographie verwendet tiefe UV-Lithographie, um das Entwurfsmuster genau auf die Basis zu übertragen, die Auflösung kann unter 100 Nanometer liegen, um die Protolinie der Mikrolinse zu skizzieren; Anschließend Ätzprozess Relais, trockene Ätzverfahren in allen Richtungen gut, kann vertikal Ätzmaterial, um sicherzustellen, dass die Linse Seitenwand steil, Nass Ätzverfahren ist durch chemische Lösung selektive Korrosion, weichen Rand oder Krümmung anpassen, beide in Verbindung mit der idealen Form der gebogenen Oberfläche zu schnitzen. Die Schmelzformung ist auch von entscheidender Bedeutung, um die Temperatur und die Zeit genau zu kontrollieren, um das Material im festen Zustand umzugestalten, Krümmungsfehler zu korrigieren und eine hochpräzise optische Oberfläche zu bilden.

Erkennung von Links-Atomkraftmikroskop Touch-Scan, dreidimensionale Oberflächenkonturen zeichnen, Rauheit und Krümmungsradius quantifizieren; Das optische Inspektionssystem simuliert den tatsächlichen Lichtweg, projiziert paralleles Licht, analysiert den Fokus, die Diffraktionseffekte und gibt in Echtzeit Feedback zu Bearbeitungsfehlern, um rechtzeitige Wiederarbeitung des Ofens zu ermöglichen. Von der Materialauswahl über die feine Bearbeitung bis hin zu strengen Prüfungen ermöglicht die Verarbeitung von Mikrolinsenarrays die Technologie Schritt für Schritt in Richtung höherer Leistungsdimensionen.