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lu.yan@leboscience.cn
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13584134215
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Jiangsu Jiangyin Jinshan Road, 201, Zhongzhi Industriepark, Gebäude A, 5. Stock, Süden
Jiangsu Leibo Scientific Instrument Co., Ltd
lu.yan@leboscience.cn
13584134215
Jiangsu Jiangyin Jinshan Road, 201, Zhongzhi Industriepark, Gebäude A, 5. Stock, Süden
Bei der Beschichtung mit hoher Drehgeschwindigkeit sind herkömmliche Geräte anfällig für ungleiche Filmdicken und große Temperaturschwankungen.Die Homogenisierungskammern von Rebokometer sind speziell konstruiert, um eine ausgezeichnete Homogenität im Nanodruckprozess aufrechtzuerhalten:
A. Gleichmäßigkeit:8 Zoll Wafer,BKMDaten erreichbar±1.1%.
4-Zoll-Wafer-BKM-Daten: ± 0,49% innerhalb der Scheibe, ± 0,55% zwischen den Scheiben.
6 Zoll WaferBKM Daten± 0,76% innerhalb der Folie, ± 0,91% zwischen den Folien.
8 Zoll WaferBKM Daten± 0,92% innerhalb der Folie, ± 1,10% zwischen den Folien.
B. Gleichmäßigkeit der Platte:8/12 Zoll im runden Bereich,BKMDaten erreichbar≤±1%(Temperaturauflösung: 0,1 ℃,Temperaturgenauigkeit: ± 0,2 ° C,Linearer Erwärmungsbereich: 0,5 ℃ / min ~ 10 ℃ / min, im linearen Bereich)






AC200 Homogenisierungsmaschine (kundenspezifische Maschine)
Für die AZ 5214E ist die 8-Zoll-Flüssigkeit 2 µm dick und die Rebecco AC200 Homogenizer kann eine hervorragende Homogenität aufrechterhalten:
Gleichmäßigkeit im Film:BKM 0,54%,Gleichmäßigkeit:1.14%.

4 Zoll Wafer Gleichmäßigkeit: ± 0,39%

8-Zoll-Wafer-Gleichmäßigkeit: ± 1,3%

1. Anwendung der KammerHDPE Material(Säure- und Alkalibeständigkeit besser als PP).
2. Auswahl von Plastik-TragplattenPPS Material(Chemische Korrosionsbeständigkeit ist besser als PP, eine bessere Isolierung unter hohen Temperaturen und hoher Luftfeuchtigkeit als PP, mit guten schweren Verbrennungseigenschaften).
3. Der Spindelmotor verwendet einen hochpräzisen Servomotor, in Verbindung mit dem Selbstkontrollalgorithmus, auch bei hohen Drehzahlen (10000 U/min)Stabil bleibenAbweichungen von weniger als 1 rpmundStabile Beschleunigungsausgabe.
4.Antiblockierendes DesignGroße FlüssigkeitsflaschenVerlängerte Wartungszeiten(Die gleiche Frequenz, die wir am 1. Januar verwenden).
5.Ablauf und Entlüftung unabhängig getrenntVermeiden Sie Verschmutzung Auswirkungen auf die Pumpleitung.
6.Gerät kann geöffnet/geschlossen werdenAnpassung an mehr Anwendungsumgebungen.
7.Standard mit ölfreier VakuumpumpeDer Aufbau eines Vakuums braucht keine Druckluft mehr.
8. Flache UI-Design,Ein-Klick-BetriebsmodusEs ist sehr einfach zu bedienen und beinahe keine operativen Lernkosten.
9. Auswahl des MedikamentventilsErste Linie Importmarken CKD, KojimiSo ist die Zufuhr und die Absaugung stabil und zuverlässig (kundenspezifische Modelle).
10.Halbautomatischer SchwingarmEntworfen, um eine Vielzahl von Tropfenmethoden (kundenspezifische Modelle) zu erreichen.
11. familiäre einheitliche Stil Design, Gehäuse Spritzgießen Prozess,Korrosionsbeständigkeit.

