Laserinterferenzmessung bezieht sich auf den Laser als Lichtquelle, auf die Laserwellenlänge oder die Laserfrequenz als Benchmark, die Präzisionsmessmethode mit dem Lichtinterferenzprinzip, mit berührungsloser Messung, hoher Empfindlichkeit und hohem Grad. Laserinterferometer werden in der Regel für die Messung von Verschiebung, Länge, Winkel, Oberflächenbasis, Veränderungen des Brechungskoefficients des Mediums verwendet. Die häufig verwendeten Interferometer sind das Michaelson-Interferometer, das Mach-Zeder-Interferometer, das Fischo-Interferometer, das Tyman-Green-Interferometer usw. Laserinterferometer sind eines der effektiven Mittel zur Erreichung von ultrapräzisen Messungen und Messungen auf der Mikronanoskala, die in vielen Bereichen eine äußerst wichtige Rolle spielen. Vor kurzem hat das Forschungsteam von Li Yan, dem Professor der Tsinghua Universität und Direktor des akademischen Ausschusses der Abteilung für Präzisionsinstrumente, unter der Unterstützung von Projekten wie dem nationalen wichtigen wissenschaftlichen und technologischen Spezialprojekt "Ausrüstung für die Herstellung von integrierten Schaltkreisen in sehr großem Umfang und komplette Prozesse", das Projekt "Hochgeschwindigkeits-Mehrachsen-Laserinterferenzmesstechnik und -instrumente mit hoher Auflösung" abgeschlossen, um eine Reihe von kritischen technologischen Engpässen zu durchbrechen und neue Messmethoden, Systeme und Instrumente zu bilden. Laut Direktor Li hat das Projekt ein hochgeschwindigkeits-, mehrachsiges und hochauflösendes Laser-Interferenzmesssystem mit hoher Messgeschwindigkeit, großer Reichweite und hoher Auflösung von Interferometer-Komponenten und Signaldetektion bis hin zu einer vollständigen Kette, die selbst entwickelt wurde. Derzeit wurde das von dem Projektteam entwickelte Doppelfrequenz-Laserinterferometersystem für die Graviermaschine in der Forschung und Entwicklung von Prototypen von Werkstücken für die Graviermaschine in China angewendet, insgesamt mehr als 50 Sets. Diese Forschungsergebnisse erfüllen die Präzisionsmessanforderungen von Photograviermaschinen mit Doppelwerkstücken, verringern die Abhängigkeit von ausländischen Interferometern, verringern das Forschungs- und Entwicklungsrisiko, das durch die Exportbeschränkungen ihrer Produkte in China verursacht wird, und haben eine positive Rolle bei der Sicherstellung der reibungslosen Umsetzung von Photograviermaschinen mit Doppelwerkstücken gespielt. Darüber hinaus wurde das von dem Projekt entwickelte Infravarianzinterferometer mit einer nachverfolgbaren Sub-Nano-Auflösung auch in der Vergleichsprüfung der Forschung und Entwicklung von Lasermesssystemen mit mehreren Dimensionen angewendet. Das Sub-Nano-Auflösungs-Rückverfolgbar-Differenz-Interferometer kann die Ursache eines nicht-linearen Fehlers des Lasermehrdimensionalen Messsystems ermitteln und mit speziellen Schaltungen korrigieren, um die Leistung des entsprechenden Lasermehrdimensionalen Messsystems zu verbessern. Die von dem Entwicklungsteam vorgeschlagene neue Methode zur nachverfolgbaren Interferenzmessung hat dazu beigetragen, die Moore-Einheit mit der Avogadro-Konstante neu zu definieren. Es ist erwähnenswert, dass in der Vergangenheit China keine Kerntechnologie für die Forschung und Entwicklung von Laserinterferenzmessgeräten beherrscht hat, aber der Erfolg dieses Projekts hat die ausländischen Einschränkungen und Monopole für unsere Laserinterferenzmessgeräte gebrochen und unsere Laserinterferenzmesstheorie und -technologie bereichert, was bedeutet, dass die Forschung und Entwicklung unserer Ausrüstung und -instrumente in der Zukunft eine stabile Leistung haben und nicht von ausländischen Mess- und Rückverfolgungsfähigkeiten unterworfen sind. Insgesamt haben diese Ergebnisse erhebliche technische, wirtschaftliche und soziale Vorteile. Die Laserinterferenzmesstechnologie ist ein wichtiger Weg zur Sicherstellung der nachverfolgbaren Nanometermessung und ist auch der Schlüsselmessungstest-Technologie, die Chinas in Richtung eines starken Messlandes und eines starken Herstellers fördert. Ich glaube, dass mit der kontinuierlichen vertieften Forschung des Forschungs- und Entwicklungsteams die Laserinterferenzmesstechnik in unserem Land weiter fortschreitet und mehr Vorteile für unser Land bringt.