Vakuumbeschichtung (einschließlichPVDphysikalische Ablagerung,CVDChemische Ablagerung,ALDAtomschicht Ablagerung usw.) ist ein zentrales kombiniertes Feld der Vakuumtechnologie und der Materialwissenschaft,Vakuumventile als Vakuumsystem “Durchfluss- und Isolationskontrollkern”Das wirkt sich direkt auf die Vakuumstabilität des Beschichtungsprozesses, die Reinheit der Membranschicht, die Produktivität und die Lebensdauer der Anlage aus. Die folgenden Anwendungsszenarien, Auswahlanforderungen und typische Konfigurationen für die Detaillierung der Zerlegung von Vakuumventilen aus dem gesamten Prozess des Beschichtungsprozesses entsprechen genau den praktischen Anforderungen der Industrie:

I. Kerntechnische Anforderungen der Vakuumbeschichtungsindustrie an Vakuumventile

Vakuumbeschichtung ist erforderlich 高真空（10⁻³~10⁻⁵ Pa）/超高真空（10⁻⁶~10⁻⁹ Pa） In der Umgebung durchgeführt und die Anforderungen an die Gasreinheit, die Partikelverschmutzung und die Temperaturkompatibilität sind streng, so dass das Ventil:

1.Ausgezeichnete Dichtung: Verzichtsrate≤10⁻ ² Pa・m³/s(Hochvakuumszenen erforderlich)≤10⁻¹⁵ Pa・m³/sVermeiden Sie das Eindringen von Luft und Wasserdampf zur Oxidation und Vermischung der Membranschicht;

2.Niedrige Entgassung und hohe ReinigkeitDas Material erfordert einen niedrigen Dampfdruck (z.B.316LEdelstahl poliert, Titanlegierung), Dichtungen mit Fluor Gummi (VitonPerfluorkautschuk (Kalrezoder Metalldichtung, um die eigene Gasfreisetzung zu reduzieren (H₂OundCO₂Partikelproduktion).≤1Einen/ m³(Partikelgröße)≥0,1 μm）；

3.Genauigkeit der DurchflussregelungEinige Szenarien erfordern eine lineare Durchflussregelung (z. B. Reaktionsgaseneintritt, Vakuumgradienteinregelung), die Durchflussleitbarkeit (CEin Pumpsystem muss angepasst werden (in der RegelC = 100 ~ 1000 L / s）；

4.Temperatur- und KorrosionsbeständigkeitHeizungsumgebung für den Beschichtungsprozess (≤400℃teilweiseALDProzess bis800℃Ionen und Reaktionsgase (z.B.CF₄undO₂undNH₃Korrosion;

5.Hohe Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer: Erfüllung der Anforderungen an kontinuierlichen Betrieb der Produktionslinie, Schaltlebensdauer≥10⁶Zweites (Vakuum-Trennventil), Einstellung der Lebensdauer≥10⁴Zweites (Durchflussregelungsventil).

II. Vakuumbeschichtung Vollprozess Ventil Anwendungsszenarien und Auswahl

1. Vakuumsystempumpe und Kammerizolation

⑴Kernrolle: Umschaltung der Beschichtungskammer vom atmosphärischen Druck zum Zielvakuum sowie Isolationsschutz der Kammer und des Pumpsystems.

⑵Typische Ventiltypen:

lVakuumventil (Türventil): für Beschichtungskammern und Molekularpumpen/Hauptisolierung zwischen Diffusionspumpen, gekennzeichnet durch eine große Durchflussleitung (C≥500 L/sZuverlässige Dichtung, empfohlene Modelle:Pfeiffer DUO 65 M(Hochvakuum, Metalldichtung, Leckage)≤10⁻ ³ Pa・m³/s),CKD KVSerie (pneumatischer Antrieb, geeignet für schnelle Isolation);

lSchmetterlingsventil: Anpassung zum groben Pumpen/Vorpumpe (vom Atmosphärendruck bis10⁻³ PaKompakte Konstruktion und schnelle Schaltgeschwindigkeit (≤1Sekunden), wird empfohlen, ölfreies Schmierdesign (z.B.Busch DVMSerie), um Ölverschmutzung Kammern zu vermeiden;

lHochvakuumventil: fürALDHohe PräzisionPVDIn ultrahochvakuum-Szenarien, etwa mit magnetischen Flüssigkeitsdichtungen oder metallischen Wellenrohrsdichtungen, sorgen Leckagefreie für typische Anwendungen: Verbindungsleitungen zwischen Kammern und Ionenpumpen.

2. Prozessgassteuerung

⑴KernrollePräzise Steuerung von Reaktionsgasen (CVD(Spritzgas)PVD(2) Der Durchlauf und das Verhältnis des Trägergases beeinflussen direkt die Membranschichtzusammensetzung und die Dickeneinheitlichkeit.

⑵Typische Ventiltypen:

lMassenflussregelung (MFC(Unterstützungsventil)：MFCEingebautes Nadel- oder Kugelventil erfordert eine hochpräzise Durchflussregelung (wiederholbar)≤± 0,5% F.S.Starke Korrosionsbeständigkeit, Gasanpassung:ArundN₂undO₂undCF₄undSiH4Empfohlene Marken:MKS 1179ASerie,Horiba STEC SEC-Z500Serie;

lPneumatisches Filmventil: für die Reaktion Gas Hauptwegschalter, mit korrosionsbeständiger Dichtung (wie Hash Legierung Ventil Sitz), um zu vermeiden, dass Gaskorrosion verursacht Dichtung Ausfall, geeignetCVDkorrosiven Gaskreislauf des Prozesses;

lEckventil: Anpassung zur schnellen Unterbrechung von Spritzgas, Reaktionszeit≤50msDamit der Gasdruck während der Beschichtung stabil ist.

3. Verbindungen zu Beschichtungskammern und Übertragungssystemen

⑴Kernrolle: Verwirklichung des Wafers/Werkstücke in Vakuumtransportkammern (LastversperrungDie Isolierung und die Umschaltung der Übertragungskanäle zwischen der Beschichtungshalle erfordern keine Partikelverschmutzung.

⑵Typische Ventiltypen:

lVakuum-Isolierventil (Schiebeventil): Verwenden Sie eine horizontale Dichtstruktur, ohne Reibungspartikel, empfohlene Modelle:SMC XLGSerie (Reinraum)Klasse 1für Halbleiterbeschichtungen geeignet),Nor-Cal AVSerie (Metalldichtung, Ultrahochvakuumkompatibel);

lSchnellvakuumventil: fürLastversperrungAtmosphäre der Kammer/Vakuumschalter, Pumpzeit≤30Sekunden (vom Luftdruck bis10⁻³ PaAutomatische Steuerung mit Drucksensoren zur Steigerung der Produktivität.

4. Abgasbehandlung und Hilfssysteme

⑴KernrolleBei der Beschichtung entstehende giftige Abgase (z.B.Cl₂undHF(Metalldampf) sicher in die Behandlungsanlage exportiert werden, um Leckverschmutzung zu vermeiden.

⑵Typische Ventiltypen:

lKorrosionsbeständiges Vakuumventil: Ventilkörper mit Hash-Legierung, Monell-Legierung, Dichtung mit Perfluorkautschuk, empfohlenes Modell:Swagelok SS-6P4Serie (Nadelventile für korrosive Gase),Celerity LebenslaufSerie (Kugelventil, Temperaturbeständig)≤200℃）；

lSicherheitsventile/Druckentlastungsventil: zum Schutz vor Kammerdrucküberlastung und zur Einstellung der Druckgenauigkeit ±5%Um die Schaden der Kammer durch Druckmutationen zu vermeiden, wird die Auswahl einer Federstruktur empfohlen (z.B.Pfeiffer PR 400).

Unterschiede in der Ventilkonfiguration verschiedener Beschichtungsprozesse

Branchenanwendungstrends und Auswahlempfehlungen

1.Der Trend der Hochvakuumierung: mitALDHohe PräzisionPVDVerbreitung anderer Prozesse, Ultrahochvakuumventile (Leckage)≤10⁻¹⁵ Pa・m³/sDer Anteil der Anwendung erhöht sich, bevorzugt durch Metalldichtungen (wie Kupfermatten, Nickelmatten) ersetzt Gummidichtungen;

2.Intelligente Integration: Ventil muss einen Positionssensor integrieren, Druckrückkopplungsmodul, UnterstützungPLCVerbindungssteuerung für Vakuumgehalt-Verkehr-Verschlossene Regelung des Ventilzustands, die sich an die automatisierte Produktionslinie anpasst;

3.Maßgeschneiderte AnforderungenFür Hochtemperaturbeschichtungen (z.B.400℃Wählen Sie ein Temperaturventil (z.B.InconelVentilkörper, Metall Wellenrohr Dichtung), um die Dichtung Alterung zu vermeiden;

4.KostenkontrolleZivilbeschichtungen können kostengünstige Gummi-Dichtungsventile (wie Fluor-Gummi) verwenden, Halbleiterbeschichtungen müssen Sauberkeit und Korrosionsbeständigkeit vorrangig gewährleisten, Metalldichtungen oder Perfluor-Gummi-Dichtungsventile wählen.

Für spezifische Beschichtungsprozesse (z. B. für ein bestimmtes Modell)PVDAusrüstung,ALDEmpfohlene Ventilmodelle und Markenkonfigurationen für Hohlräume) oder Medien (z. B. spezifische Korrosionsgase) können die Anforderungen ergänzen und präzisere technische Lösungen liefern!

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen für industrielle und wissenschaftliche Kunden in Bezug auf Durchfluss-, Druck-, Vakuum- und Steuerungsprüfung und Vertrieb in den USAALICAT、 Die Marken Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan bieten unseren Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf abzielen, die Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und den Forschungs- und Innovationsfortschritt der Kunden zu fördern.