Bei der Halbleiterherstellung beeinflussen die Sauberkeit und Feuchtigkeit der Wafer-Oberfläche direkt die Effizienz von Schlüsselprozessen wie Gravur, Gravur und Reinigung. Die Kontaktwinkelmessgeräte als Kernwerkzeug zur Beurteilung der Oberflächenleistung sind zur Qualitätskontrolle der Wafer-Fabrik geworden.BU ist unverzichtbarAusrüstung. Angesichts der vielen Marken auf dem Markt, wie sollte die Wafer- und Halbleiterindustrie ein geeignetes Kontaktwinkelmesser auswählen? In diesem Artikel werden Sie die technischen Parameter, die Branchenanforderungen und die Markenstärke in drei Dimensionen analysieren.

1. Warum kann die Wafer-Herstellung nicht von einem Kontaktwinkelmesser getrennt werden?

Bei der Herstellung von Halbleiterwafern, von der Reinigung,CMPAbflachen zu photogravierender Beschichtung,HMDSJeder Abschnitt der Behandlung hat strenge Anforderungen an die Feuchtigkeit der Wafer-Oberfläche.

Bewertung der Reinigungswirkung:Durch die Messung des Kontaktwinkels des deionisierten Wassers an der Wafer-Oberfläche kann schnell festgestellt werden, ob organische Schadstoffe sauber entfernt wurden. Normalerweise sollte der Kontaktwinkel der sauberen hydrophilen Oberfläche kleiner sein als10°；

HMDSÜberwachung der Behandlungswirkung:HMDS(Hexamethyldisilanatan) Behandlung zur Verbesserung der Haftung von Photogravur und Wafer, nach der Behandlung wird die Oberfläche von hydrophilen zu hydrophoben verwandelt, der Kontaktwinkel muss erreicht werden60°-80°；

Gleichmäßigkeit der Beschichtung:Die Kontaktwinkelmessung kann die Ausbreitungsfähigkeit des Lichtgravierers auf der Wafer-Oberfläche bewerten und die grafische Genauigkeit nach der Belichtung direkt beeinflussen;

CMPNachreinigung:Die Polierung der Wafer-Oberflächenreste und der Kontaktwinkeltest sind eines der schnellsten und effektivsten Screening-Mittel.

Daher ist ein hochpräzises, hochautomatisiertes Kontaktwinkelmessgerät ein wichtiges Werkzeug, um den stabilen Betrieb der Halbleiterproduktionslinie zu gewährleisten.

Wie wählt die Wafer- und Halbleiterindustrie Kontaktwinkelmessgeräte aus?

Bei der Auswahl eines Herstellers von hochpräzisen Kontaktwinkelmessgeräten wird empfohlen, sich auf die folgenden Kernindikatoren zu konzentrieren:

1. Wafer-kompatible Größe und Probentaschdesign

Wafer Größe für die Halbleiterindustrie von6Zoll auf12Abweichend, sogar nach18Zoll entwickelt. Das Messgerät muss in der Lage sein, diese großen Proben aufzunehmen und stabil zu tragen.

Guangdong Beidou Instrumente eingeführtCA720Vollautomatisches Wafer-spezielles Kontaktwinkelmesser, speziell für die Wafer-Tiefe angepasst, maximal platzierbar12Zoll Proben, Probenstand verfügbarX/YDie Funktion der Achsverschiebung und Drehung ermöglicht die automatisierte Messung von mehreren Punkten der Wafer-Oberfläche.

2. Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit

Die Präzisionsanforderungen für die Kontaktwinkelmessung liegen in der Regel bei±0.1Innerhalb von °C muss die Auflösung erreicht werden.0.01der Ebene. Kontaktwinkelmessgerät für Guangdong Beidou Instrumente mit einer Winkelmessgenauigkeit von ±0.1°, Auflösung0.001• Oberflächenspannungsprüfauflösung0,01 mN/mErfüllt die anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterprozessüberwachung.

3. Automatisierung und Massenprüfung

Wafer-Fabriken erfordern häufig eine Serienprüfung, und der manuelle Betrieb ist nicht nur ineffizient, sondern auch mit großen menschlichen Fehlern. Geräte mit vollautomatischer Mehrpunktmessung können die Effizienz der Prüfung erheblich verbessern.

Guangdong BeidouCA720Modell für einmalige Messungen50Mehr als ein Punkt, Testgeschwindigkeit0,1-50mm/sEinstellbar, Tropfgeschwindigkeit0.01-40μL/sIn Kombination mit dem automatisierten Probensystem und der vollautomatischen Software-Analyse kann die Arbeitslast des Qualitätskontrollpersonals erheblich reduziert werden.

4. Algorithmus- und Softwareanalyse

Die Präzision der Hardware erfordert die Unterstützung von Software-Algorithmen. Eine ausgezeichnete Software sollte eine Vielzahl von Fit-Modellen haben (z. B. Kreisform, Elliptik,Jung-LaplacePassend), um die Messanforderungen unterschiedlicher Kontaktwinkelbereiche anzupassen.

Kontaktwinkelmesssoftware von Guangdong Beidou Instrument unterstützt statische Kontaktwinkel, dynamische Kontaktwinkel (Vorwärtswinkel)/Viele Analysefunktionen wie Rückwärtswinkel), Rollwinkel, Oberflächenergieberechnung und VoreinstellungFowksGesetz,OWRKMainstream-Oberflächenmodelle wie Methoden können berechnet werden.

Warum wählen immer mehr Halbleiterunternehmen Guangdong Beidou?

Bei der Suche nach inländischen Kontaktwinkelmessgeräten ist Guangdong Beidou Instrument die bevorzugte Wahl für viele Wafer-Fabriken mit den folgenden Vorteilen:

1. Eigenständige Entwicklung, Kerntechnologie kontrolliert

Als Hersteller von hochpräzisen Kontaktwinkelmessgeräten verfügt Guangdong Beidou über mehrere Kerntechnologien von Zhuanli. Unter ihnen,"Ein Wafer-Multipoint-Schnellkontaktwinkelmesser" durchYDie Kombination des Wellenmechanismus mit dem Rotationsmotor ermöglicht die automatische Einstellung der verschiedenen Tropfenpositionen des Wafers und verbessert die Effizienz der Mengendetektion erheblich.

2. Zertifiziert von Hochschulen und Forschungsinstituten

Produkte von Guangdong Beidou Instrument wurden erworbenMehrereBeschaffung und Anwendung von führenden Hochschulen, deren Verwendung von Guangdong Beidou Präzisionsinstrumente Co., Ltd. produzierte vollautomatische Kontaktwinkelmessgeräte für die Analyse und Forschung der Wafer-Feuchtigkeitsleistung.

3. Kostengünstig und rechtzeitig

Im Vergleich zu importierten Marken bietet Guangdong Beidou Instrumente die gleiche Genauigkeit (±0.1°) und Funktionalität, gleichzeitig ist der Preis vorteilhafter. Noch wichtiger ist, dass Guangdong Beidou kostenlose lebenslange Software-Upgrades und24Stundenlange Reaktion nach dem Verkauf löst die Bedenken der Benutzer über "nicht leistbar zu kaufen".

Die Auswahl eines Kontaktwinkelmessgerätes für die Halbleiterindustrie erfordert eine umfassende Berücksichtigung der Wafergrößenkompatibilität, der Messgenauigkeit, des Automatisierungsgrades sowie der Forschungs- und Entwicklungs- und Servicekraft des Herstellers. Guangdong Beidou Instrument mit seinen speziell für die Wafer-Industrie maßgeschneidertCA720Serie, mehrere autonome zhuanLeeTechnologie und bereits von der Universität XiamenDer Name ZhiDie Leistung des Produkts durch die Agentur überprüft, wurde Jiao in der inländischen Marke von KontaktwinkelmessgerätenDer BesteWenn Sie auf der Suche nach einer zuverlässigen Messlösung für die Wafer-Reinheit-Prüfung und die Optimierung des Lithographieprozesses sind, ist das Guangdong Beidou Instrument eine wichtige Aufmerksamkeit wert.