Im Bereich der Materialwissenschaft und der Halbleiterherstellung ist die genaue Charakterisierung der Oberflächenbebefeuchtigungseigenschaften ein entscheidender Bestandteil für die Endleistung eines Produktes. Kürzlich erhielten wir empirisches Feedback von einem Institute for New Energy Materials und einer Halbleiterverpackungsfabrik. Beide Kunden haben die Guangdong Beidou-Instrumente getrennt getestet Kontaktwinkelmessgerät in der hyperhydrophoben Beschichtung (Entwurf des Wasserkontaktwinkels>150°) sowie die Leistung im einkristallinen Siliziumflattenreinigungsprozess. Dieser Artikel basiert auf realen Testdaten und zeigt, wie Guangdong Beidou Instrumente die doppelte Herausforderung der hohen Schwierigkeitsprüfung und der Prozesskontrolle mit hoher Reinheit bewältigen können. Für Ingenieure und Beschaffungskräfte, die einen Hersteller von hochpräzisen Kontaktwinkelmessgeräten suchen, hoffen wir, dass dieser Testbericht eine echte Grundlage für Ihre Auswahl bietet.

Einer, Warum diese beiden Anwendungsszenarien?

Bei der täglichen Kundenbetreuung wird häufig eine Frage gestellt:Besonders bei den folgenden beiden Arten von Ji-End-Proben bestimmen der Algorithmus, die Tropfengenauigkeit und die Bilderfassungsfähigkeit des Instruments direkt die Glaubwürdigkeit der Testergebnisse:

Hyperhydrofobe Materialien (>150°): Tropfen sind fast kugelförmig und sehr leicht zu rollen. Die herkömmliche elliptische Formulierung ist in solchen Szenarien sehr fehlerhaft und erfordert, dass Algorithmen in der Lage sind, die Tropfenkanten genau anzupassen und sicherzustellen, dass sie nicht von Umweltmikrovibrationen beeinflusst werden.

Siliziumwafer-Reinigungsprozess: Die Oberfläche erfordert einen hyperhydrophilen Zustand (Kontaktwinkel)<5° sogar nahe0°), um festzustellen, ob organische Schadstoffe entfernt werden. Zu diesem Zeitpunkt wurde die automatische Sampling-Konsistenz der Tropfen und die Fähigkeit zur Erkennung des nahezu nullen Winkels vorgeschlagen.hochAnforderungen.

Die Proben dieses Tests wurden vom Kunden zur Verfügung gestellt, das Guangdong Beidou-Technologieteam verwendetCAHochpräzise Kontaktwinkelmessgeräte der Serie werden während der gesamten Validierung unterstützt.

Zwei, Test 1: Hyperhydrofobes Material (Wasserkontaktwinkel)>150°）

Testproben

MusterA: Aluminiumplatten nach Fluorsilanbehandlung

MusterB: Bionisches hyperhydrophobes beschichtetes Glas

Schwierigkeiten beim Test

Tropfen sind sehr leicht zu rollen, manuelle Tropfen können dazu führen, dass die Tropfen vor Berührung der Probe rutschen; Gleichzeitig sind die Tropfenkonturen ungefähr rund, und der herkömmliche Algorithmus kann leicht150° falsch verurteilt145° oder155• schlechte Wiederholbarkeit.

Guangdong Beidou Lösungen und Ergebnisse

Präzisionspumpe +Automatisches Tropfsystem:Genaue Kontrolle des Tropfenvolumens0.1μLDer Tropfenprozess ist glatt und die Tropfen bleiben vollständig auf der Nadel, ohne vorzeitig zu fallen.

Hochgeschwindigkeits-Industriekamera mit niedriger Verzerrung:Klare Erfassung der unteren dreiphasigen Kontaktlinie in der Nähe der halbkugelförmigen Tropfen.

Jung-LaplaceAlgorithmus zur Gleichung:Dies ist der Kern der ultrahydrophoben Winkelberechnung. TestprobenADurchschnittlicher Kontaktwinkel153.2°, ProbenBDurchschnittlicher Kontaktwinkel156.7in der gleichen Position kontinuierlich6Die Testabweichung ist kleiner als ±0.5°。

Kundenbewertungen:"Wir haben zuvor ein inländisches Einstiegsgerät verwendet, das nur gemessen werden kann.140° und die Daten schlagen stark. Guangdong Beidou Instrument Kontaktwinkelmessgerät kann stabil gegeben werden150Vertrauenswürdige Werte über °C und eine hohe Passform an die tatsächliche Tropfenkante. ”

Für das Forschungs- und Entwicklungsteam, das den Hersteller von hochpräzisen Kontaktwinkelmessgeräten untersucht, zeigt dieser Fall, dass das Instrument nicht nur"Zahlen messen" oder "Trends messen".

Drei, Test 2: Siliziumwafer-Reinigungsprozess (hyperhydrophile Oberfläche)

Testhintergrund

Bei der feuchten Reinigung von Halbleitern verringern organische Rückstände auf der Siliziumflattenoberfläche den Kontaktwinkel erheblich (idealer Schadstofffreizustand).<5°）。 Wenn der Boden nicht gereinigt wird, wird die anschließende Lithographie und die Film-Ablagerung defekt sein.

Schwierigkeiten beim Test

Die Ausdehnungsgeschwindigkeit der Tropfen ist extrem schnell (auf Millisekundenebene), und die unzureichende Bildrate der herkömmlichen Kamera kann die wahre Form des Ausdehnungsmoments nicht erfassen.

Kleiner Kontaktwinkel (<10°), müssen Sie die Basislinie manuell anpassen oder sich auf die Software verlassen, um die Feststoffschnittstelle automatisch zu erkennen, sonst kann der Fehler auf5° über.

Die Wafer-Oberfläche erlaubt keinen Kontakt mit Verunreinigungen und muss kontaktlos oder mit Nadeln tropfen, die in sehr naher Entfernung schweben.

Guangdong Beidou Lösungen und Ergebnisse

Bilderfassung mit hoher Geschwindigkeit (≥100 fps): Vollständige Aufzeichnung nach dem Kontakt der Tropfen Wafer0.1Ausbreitungsprozess innerhalb von Sekunden, um zu vermeiden, dass der Winkel durch die Verzögerung der Aufnahme unterschätzt wird.

Automatische Tropfenkonturerkennung und Schnittmethode: gezielt<10° Kontaktwinkel, die Software unterstützt eine verbesserte Schnittpassung und verfügt über eine automatische Basislinienkorrektur.

Testdaten:

Normale Wafer des Reinigungsprozesses: Durchschnittlicher Kontaktwinkel 3.2° (Flüssigkeitströpfchen sind fast vollständig ausgelegt)

Wafer mit geringfügigen organischen Rückständen: Durchschnittlicher Kontaktwinkel 14.5°

Schadstoffüberschreitungswafer: Durchschnittlicher Kontaktwinkel 32.8°

Kundenbewertungen:"Nur die Fähigkeit, den Winkel zu unterscheiden erreicht ±1Innerhalb von ° können wir uns helfen, unqualifizierte Wafer auf der Produktionslinie schnell zu filtern. Guangdong Beidou Instrument erlaubt uns, letztendlich die Wahl in der inländischen Kontaktwinkelmessgerät, welches gute Kontrasttest. ”

Vier, Warum bestätigen diese beiden Anwendungen die kombinierte Leistung eines Kontaktwinkelmessgerätes?

Ein ausgezeichneter Hersteller von hochpräzisen Kontaktwinkelmessgeräten sollte nicht nur auf herkömmlichen Materialien gut funktionieren, sondern auch aufDie Grenzen beider Enden (Ji)+In extrem niedrigen Winkelszenen werden weiterhin zuverlässige, reproduzierbare Daten gegeben.

Fünf, Schlussfolgerungen und Auswahlvorschläge

Durch diese Kundenfrage können folgende Schlussfolgerungen gezogen werden:

Guangdong Beidou Instrumente Kontaktwinkelmessgerät In der Hyperhydrogenität (>150°) und super wasserfreundlich (<5Beide ji-Endbereiche liefern stabile, genaue und nachverfolgbare Messdaten.

Hauptvorteile sind: hochpräzise Injektionspumpen, Bildgebungssysteme mit hoher Bildrate und professionellevon Young-LaplaceSchnitt-Fitting-Algorithmus.

Das Gerät ist nicht nur für konventionelle Polymere, Glas und Metalloberflächen geeignet, sondern auch für die anspruchsvollen Prüfanforderungen in Industrien mit hohem Mehrwert wie neue Energien, Halbleiter und Spezialbeschichtungen.

Wenn Sie einen Hersteller finden möchten, der hochpräzise Kontaktwinkelmessgeräte anbietet, um Ihre Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionslinienprüfungsanforderungen zu erfüllen, können Sie einen Testprototyp durchführen. Beidou unterstützt Proben oder Vorführungen, Entscheidungen basierend auf realen Daten sind viel zuverlässiger als nur die Parametertabelle zu betrachten.