Im Halbleiterherstellungsprozess bestimmt Gravur als Schlüsselprozess die Präzision der Leistung des Chips direkt. Traditionelle Messmethoden sind bei komplexen Gravurprofilen oft unruhig, und das Aufkommen des optischen 3D-Profilers Sensofar S neox bietet eine bahnbrechende Lösung für diese Herausforderung.

Der Gravierungsprozess führt zur selektiven Entfernung von Chipmaterial durch Nass- oder Trockengegravierung, um die Schaltungsmerkmale zu gestalten. Dabei werden die Gleichmäßigkeit der Gravurtiefe und die Winkelgenauigkeit der Seitenwand zu entscheidenden Parametern, die die Leistung der Geräte beeinflussen. Insbesondere wenn die Gerätegröße immer kleiner wird, werden die Anforderungen an die Messgenauigkeit immer höher.

Das optische 3D-Profilmesser Sensofar S neox verfügt über eine 50x-Interferenz-Objektivmesstechnik, die die dreidimensionalen Profilinformationen eines Gravurprofils präzise erfasst. Diese berührungslose, hochauflösende Messmethode bietet den Herstellern eine effektive Prozessüberwachung.

Mit der SensoPRO-Software von First Jin ermöglicht das System eine hochautomatisierte Analyse auf Nanoskala, die die Effizienz und Genauigkeit der Messung erheblich verbessert. Dieser technologische Durchbruch ermöglicht es, dass die Gravungseigenschaften den Anforderungen an die Größentoleranz strikt entsprechen und eine zuverlässige Datenunterstützung für die Prozessoptimierung bieten.

Das S neox Optical Profiler integriert vier Technologien: Kofokussierung, Interferenz, Ai Multifocal Surface Overlay und Membrandickenmessung zu einer kompletten Messlösung. Diese multitechnologische Integration ermöglicht es, eine Vielzahl komplexer Messszenarien zu bewältigen.

Fokussierte TechnologieDie meisten GaoDie horizontale Auflösung von 0,14 μm erfüllt die anspruchsvollen Anforderungen an kritische Messgrößen.InterventionstechnikSo können Höhenmessungen in AE-Auflösung realisiert werden, die sich besonders für die Charakterisierung glatter und kontinuierlicher Oberflächen eignen.

Sensofar hat eine tiefgreifende Optimierung der Benutzererfahrung durchgeführt. Die SensoSCAN-Software bietet eine klare und intuitive Bedienungsoberfläche, mit der der Benutzer mit nur einem Klick automatische Messungen durchführen kann. Das System kann intelligent die Beleuchtungsbedingungen und den Messbereich identifizieren und qualitativ hochwertige Ergebnisse innerhalb von Sekunden erzielen.

Die Unterstützung von automatischen Messmodulen ermöglicht es den Anwendern, individuelle Programmierungen zu realisieren und Qualitätsmanagement- und Prüfziele zu erreichen. Durch die automatische Positionserkennung des Bildes wird eine vollautomatische Messung ohne menschliches Eingreifen realisiert und die Effizienz der Erkennung erheblich verbessert.

Diese Technologie hat in mehreren Bereichen starke Vorteile:

Mikroelektronikherstellungin der Lage, die Anfangsabweichung des Nano-Drucksensors schnell und beschädigungslos zu messen;

PräzisionsbearbeitungBereich, um die Parameter der Schneidkante komplexer Werkzeuge genau zu messen;

Medizinische AusrüstungIndustrie zur Unterstützung der Oberflächenmorphanalyse von Zahnimplantaten.

Sensofar hält sich stets an die höchsten GAO-Qualitätsstandards und alle Geräte entsprechen den ISO25178-Standards. Das System verwendet nachverfolgbare Standardblöcke zur Korrektur, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Messdaten zu gewährleisten. Dieses strenge Qualitätskontrollsystem bietet eine zuverlässige Messsicherheit für Forschung und industrielle Produktion.

Mit der Entwicklung der Halbleitertechnik werden die Anforderungen an die Messgenauigkeit weiter steigen. Das optische 3D-Profilmesser Sensofar S neox setzt durch technologische Innovationen einen neuen Branchenstandard für die Gravurprofilmessung und hilft der Fertigung, sich in eine präzisere und intelligentere Richtung zu bewegen.

Dieses Instrument stellt nicht nur das höchste Niveau der aktuellen optischen Messtechnik dar, sondern bildet auch eine solide Grundlage für die zukünftige Entwicklung der Mikronanoproduktion. Seine hervorragende Leistung und zuverlässige Leistung machen ihn zur idealen Wahl für die Qualitätskontrolle in Forschungseinrichtungen und Unternehmen.