Hochvakuum-Wärmeverdampfung-Kohlenstoffbeschichtung verfügt über kontinuierliche Verdampfung und Impulsverdampfung zwei Kern-Betriebsmodus, seine Konstruktion durch die präzise Steuerung des Verdampfungsprozesses verschiedene Prozessanforderungen zu erfüllen, spezifisch wie folgt:

I. Hochvakuum-Wärmeverdampfung-Kohlenstoffbeschichtung kontinuierlicher Verdampfungsmodus

1. Grundsatz:

Die Kohlenstoffquelle, wie z. B. hochreine Kohlenstoffasern oder Kohlenstoffstänge, wird durch eine konstante Leistung erhitzt, um sie kontinuierlich zu schmelzen und stabil zu verdampfen, wodurch ein gleichmäßiger Dampfstrom im Vakuumkammer entsteht. Gasförmige Kohlenstoffatome oder -moleküle verbreiten sich in linearer Bewegung auf die Grundfläche und kondensieren schichtweise zu dichten Festkörpern. Dieser Modus basiert auf einem geschlossenen Temperaturregelsystem, das eine konstante Verdampfungsgeschwindigkeit aufrechterhalt und die Leistungsschwankungen innerhalb von ±1% kontrolliert.

2. Eigenschaften:

Hohe Effizienz und Stabilität: Geeignet für eine große Anzahl von Beschichtungen oder Szenarien, die eine schnelle Folie erfordern, wie z. B. die Vorbereitung von SEM-Probenleiterschichten.

Gleichmäßige Membranschicht: Dampfströme bedecken kontinuierlich den Boden, reduzieren die lokalen Dickendifferenzen und gewährleisten die Konsistenz der Membranschicht.

Vereinfachung des Prozesses: Kein häufiger Start und Stopp der Heizquelle, der Betriebsprozess ist einfacher.

3. Anwendungsszenarien:

Bereiten Sie TEM-Unterstützungsmembranen vor, die ultradünne Schnitte oder Nanopartikel tragen.

Oberflächenanalyse als Schutzschicht oder Leitschicht (z. B. Röntgenspektrometrie EDS-Analyse).

Bedarf an serienmäßigen Beschichtungen in der Industrie (z. B. Leitschichten für elektronische Komponenten).

II. Hochvakuum-Wärmeverdampfung-Platiergerät Impulsverdampfung-Modus

1. Grundsatz:

Durch intermittente Heizung wird die Verdampfung der Kohlenstoffquelle durch ein Impulssignal gesteuert. Während jedes Impulszyklus erwärmt sich die Kohlenstoffquelle schnell auf eine Verdunstungstemperatur und setzt gasförmige Partikel frei, die anschließend aufgehoben werden, um die Grundoberflächenteilchen vollständig abzulegen. Durch die Einstellung der Impulsfrequenz und des Leerverhältnisses können die Membransticke und die Partikelgröße präzise gesteuert werden.

2. Eigenschaften:

Feinregelung: geeignet für die Herstellung von ultradünnen Kohlenstofffolien oder Nanostrukturen, die Membrandicke kann mit einer Genauigkeit von Nanometern kontrolliert werden.

Verringerung von Wärmeschäden: Die intermittente Erwärmung reduziert den Anstieg der Grundtemperatur und verhindert die Auswirkungen hoher Temperaturen auf empfindliche Materialien.

Partikelverfeinerung: Impulsverdampfung reduziert die Kollision von gasförmigen Partikeln und bildet kleinere Membranpartikel.

3. Anwendungsszenarien:

Die Optimierung der Oberflächencharakteristik der Probe in der EBSD-Analyse erfordert ein hochauflösendes Kohlenstoffmembranverstärktes Signal.

Die Beschichtung von Zellproben im Bereich Biomedizin erfordert eine minimale thermische Wirkung.

Beschichtungen optischer Komponenten (z. B. Anti-Reflexionsfolien) erfordern eine genaue Kontrolle der optischen Leistung der Membranschicht.

3. Hochvakuum-Wärmeverdampfung Carbonator Modus Auswahl Basis

1. Anforderungen an die Schichtdicke:

Der kontinuierliche Modus eignet sich für die Herstellung von dickeren Membranschichten (z. B. μm-Grad) mit höherer Effizienz.

Der Impulsmodus eignet sich für ultradünne Schichten (z. B. auf nm-Ebene) mit besserer Genauigkeit.

Eigenschaften des Grundmaterials:

Hochtemperaturbeständige Materialien (z. B. Metalle) können im kontinuierlichen Modus ausgewählt werden, um die Prozesszeit zu verkürzen.

Wärmeempfindliche Materialien (z. B. Polymere, Bioproben) benötigen einen Pulsmodus, um Verformungen zu vermeiden.

Komplexität des Prozesses:

Einfache Beschichtungsaufgaben (z. B. Leitschichten) vereinfachen den Betrieb im kontinuierlichen Modus.

Anforderungen an hohe Präzision, wie z. B. Nanostrukturen, ermöglichen eine feine Steuerung im Pulsmodus.

4. Unterstützung von Hochvakuum-Wärmeverdampfungs-Platiergeräten

1. Vakuumsystem: Turbomolekularpumpe + Rotationspumpenkombination, Endvakuum, Arbeitsvakuum, um sicherzustellen, dass der Verdampfungsprozess keine Verschmutzung hat.

2. Verdunstungsquelle-Management: 4 hochreine Kohlefaser-Verdunstungsquellen können abwechselnd arbeiten, um den Unterbrechungszustand automatisch zu erkennen und die Lebensdauer zu verlängern.

3. Probe Tisch Steuerung: Unterstützung für manuelle / automatische Drehung, hohe Geschwindigkeit / niedrige Geschwindigkeit zwei Gange verstellbar, um mehrwinkliche gleichmäßige Ablagerung zu erreichen.

4. Sicherheitsschutz: Vakuumschutz, Überstromschutz, Überdruckschutz usw., um außergewöhnliche Arbeitsbedingungen zu verhindern, die Geräte beschädigen.