1. Vakuumleckage
Phänomen: Der Vakuumgehalt kann den eingestellten Wert nicht erreichen oder kontinuierlich sinken.
Gründe:
Dichtungsringe altern, rissen oder falsch installiert.
Die Rohrverbindung ist locker oder es gibt kleine Risse.
Die Vakuumkammerwand ist mit Nadellöchern oder Schweißfehlern versehen.
Lösung:
Prüfen Sie die Dichtungsringe regelmäßig und ersetzen sie alle 6-12 Monate.
Verwenden Sie ein Helium-Massenspektrometer, um Leckpunkte zu lokalisieren, die nach der Reparatur erneut erkannt werden müssen.
Druckprüfung der Vakuumkammer.
2. Abfallen der Membranschicht
Phänomen: Die Rückschicht der Beschichtung wird vom Substrat getrennt oder in Stücken abgeschieden.
Gründe:
Verschmutzung der Grundfläche (Ölverschmutzung, Wasserdampf, Staub).
Vor der Beschichtung wurde nicht ausreichend geröst.
Die Membranspannung ist zu hoch.
Lösung:
Stärkung der Grundreinigung.
Installieren Sie die Ionenquelle zur Reinigung vor der Beschichtung.
Optimierung der Prozessparameter.
Vakuumpumpe kann nicht gestartet werden
Phänomen: Nach dem Drücken des Startknopfes reagiert der Pumpenkörper nicht.
Gründe:
Stromausfälle (Spannungsausfälle, Kurzschlüsse).
Motorbeschädigung oder Überhitzungsschutz auslöst.
Ölverschmutzung oder unzureichender Ölstand in der Pumpe.
Lösung:
Überprüfen Sie die Stromleitung und die Spannungsstabilität.
Motor austauschen oder warten, bis der Pumpenkörper gekühlt ist.
Regelmäßig das Vakuumöl ersetzen, um den Ölstand über der Skala zu halten.
4. Plötzlicher Rückgang des Vakuums
Phänomen: Der Vakuumgrad im Betrieb fällt abrupt ab und kann die Prozessanforderungen nicht aufrechterhalten.
Gründe:
Pumpenausfall.
Verschmutzung im Vakuumkammer.
Der unzureichende Kühlwasserstrom führt zu einer Überhitzung des Pumpenkörpers.
Lösung:
Die Diffusionspumpe wird jährlich gereinigt und spezielles Öl ersetzt.
定期清理真空室。
Überprüfen Sie den Kühlwasserkreislauf, um sicherzustellen, dass der Durchfluss ≥5L / min ist.
5. Ungleichmäßiges Ablagerungsmaterial
Phänomen: Die Membransticke oder die Komponente verteilt sich nicht gleichmäßig auf dem Boden.
Gründe:
Ablagerungsquellenverschiebung oder unstabile Tiegeldrehzahl.
Die Basis ist nicht festgelegt oder blockiert.
Magnetfeld-/elektrische Störungen führen zu Strahlstrombewegungen.
Lösung:
Passen Sie die Position der Ablagerungsquelle an, um sicherzustellen, dass sie mit dem Zentrum der Basis ausgerichtet ist.
Verwenden Sie Werkzeugklammern, um den Boden zu befestigen, um eine Absperrung zu vermeiden.
Überprüfen Sie die Parameter der elektromagnetischen Spulen und optimieren Sie die Strahlbahn.
6. Foliendickenkontrolle fehlt
Phänomen: Die tatsächliche Membrandicke und die Einstellwertabweichung übersteigen ±5%.
Gründe:
Die Kalibrierung des Kristallmessers (Membrandickenmeter) ist fehlgeschlagen.
Die Position der Sonde ist verschoben oder kontaminiert.
Schwankungen der Prozessparameter (z. B. unstabile Verdampfungsgeschwindigkeit).
Lösung:
Kalibrieren Sie das Kristallgerät vierteljährlich mit einer Standardfoliendicke.
Reinigen Sie die Sonde-Oberfläche und verstellen Sie sie auf 5-10 cm vom Boden.
Stabilisieren Sie die Versorgungsspannung und vermeiden Sie Parametermutationen während der Verdampfung.
7. Gasverschmutzung verursacht Abnahme der Membran
Phänomen: Nadellöcher, Flecken oder verminderte Haftung in der Membranschicht.
Gründe:
Die Vakuumkammer ist nicht vollständig ausgegasen (Restdampf, Sauerstoff).
Luft beim Beschichtungsprozess.
Membran saugt Feuchtigkeit oder enthält Verunreinigungen.
Lösung:
Vor der Beschichtung wird das Vakuum auf ≤ 5 x 10-4 Pa gepumpt und entgasiert.
Überprüfen Sie alle Dichtungsschnittstellen und ersetzen Sie veraltete Dichtungen.
Vor der Verwendung des Membranmaterials muss das Gas im Vakuumkammer vorgeschmolzen werden.
8. Fehler des Heizsystems
Phänomen: Die Grundtemperatur kann den eingestellten Wert nicht erreichen oder schwankt zu stark.
Gründe:
Fehler des Heizelements oder schlechter Kontakt.
Die PID-Parameter des Temperaturreglers sind falsch eingestellt.
Positionsverschiebung oder Beschädigung des Thermoelements.
Lösung:
Überprüfen Sie die Heizdrahtverbindung und ersetzen Sie die Trennteile.
Neueinstellung der Temperaturparameter.
Passen Sie das Thermoelement an die zentrale Position der Basis und kalibrieren Sie es einmal im Jahr.
Fehler des elektronischen Steuersystems
Phänomen: Das Bedienfeld reagiert nicht oder die Parameter zeigen eine Anomalie an.
Gründe:
Die Steuerplatte ist feucht oder staubig.
Die Sensorverbindung ist losgelassen oder beschädigt.
Die Software stürzt ab.
Lösung:
Regelmäßig reinigen Sie den Schaltschrank mit trockener Druckluft.
Überprüfen Sie die Sensorleitung und ersetzen Sie fehlerhafte Komponenten.
Starten Sie das System neu oder installieren Sie die Steuerungssoftware neu.
10. Unregelmäßige Leitung / Strahlsystem
Phänomen: Kein Strahlenausgang oder große Strahlfluktuationen.
Gründe:
Lampen verbrennen oder altern.
Der Strahlstrombegrenzer ist nicht null oder der Potenziator ist fehlerhaft.
Hochspannungs-Elektrodenschutz Kurzschluss.
Lösung:
Wechseln Sie die neue Leitung und stellen Sie bei der Installation sicher, dass die Position in der Mitte ist.
Nach der Vorschmelzung wird der Strahlstrombegrenzer auf Null zurückgesetzt.
Überprüfen Sie die Isolierung der Schutzhülle und reinigen Sie die Kurzschlusspunkte.