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Agilent Technologies (China) Co., Ltd
Agilent Spektrophotometer: "Optischer Motor" für die Leistungsprüfung optischer Komponenten
Datum:2025-10-29Lesen Sie:0
Mit fortschrittlichen Prozessknoten nimmt die 193nm ArF-Quasimolekularlasergravur in der Halbleiterherstellung immer wichtiger zu. Sein Inneres enthält eine Vielzahl von hochpräzisen optischen Komponenten wie Projektionslinsen, Maskenplatten, Polarisatoren, Reflexoren, Spiegel usw. Die optischen Eigenschaften dieser Komponenten bestimmen direkt die Auflösung, Gleichmäßigkeit und Effizienz des Chipmusters.
Wie kann die Durchlässigkeit, Reflexivität, Polarisationsreaktion und Winkelabhängigkeit dieser Komponenten während der Entwicklung und der Serienproduktion genau bewertet werden?Die UV-Spektrometer der Serie Cary4000/5000/6000i/7000 von Agilent sind die ideale Lösung für diese Herausforderung.
Im Folgenden finden Sie die üblichen optischen Komponenten in Gravieren und ihre Prüfanforderungen:
Durchlässigkeitsprüfung von Linsen, Fenstern, Masken usw.
45° Reflexionstest für Spiegel
Lichtdämpfungsverhältnis-Test von Polarisatoren und Reflectoren
Diese Testprojekte und Anforderungen stellen hohe Anforderungen an die Testfähigkeit des Spektrophotometers, die Testschwierigkeit spiegelt sich hauptsächlich in:
193 nm gehören zum Deep Ultraviolet (DUV) Bereich und kleine Umweltveränderungen und Probenverschmutzung beeinflussen die Absorption von Licht in diesem Band, so dass der Testprozess hohe Anforderungen an die Stabilität der Geräte stellt.
Kleine Fehler in Indikatoren wie Durchlässigkeit, Reflexivität, Lichtdämpfungsverhältnis der Gravurelemente können zu Musterverzerrungen oder Prozessfehlern führen, so dass die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Prüfgeräte hohe Anforderungen stellen.
Der 193 nm große Winkeltest erfordert die Einführung eines Polarisators, aber das Polarisatormaterial in diesem Band ist teuer, schwierig zu verarbeiten und anfällig für Verschmutzung.
Agilent Cary4000/5000/6000i/7000 UV-Zone mit Deuteriumlichtquellen, die einen Wellenlängenbereich von bis zu 175 nm abdecken, mit einem Photoelectromultiplier-Tube-Detektor (PMT), der eine ultrahochempfindliche Reaktion in niedrigen Banden gewährleistet; Gleichzeitig verwendet das Gerät ein Doppelstrahldesign, das die Schwankungen der Lichtquelle und die Umgebungsstörungen in Echtzeit korrigieren kann, um die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Prüfung effektiv zu verbessern; Darüber hinaus können Anwender tiefviolette Polarisationszubehör mit UMA-Zubehör anpassen, um Reflexionsmessungen und Lichtdämpfungsverhältnisse bei großwinkliger s/p-Polarisation zu ermöglichen.
Bild links: Agilent Cary4000/5000/6000i/7000
Bild rechts: Agilent Cary7000
Testfähigkeit der Agilent Cary-Serie UV-Spektrophotometer im niedrigen Band:
Host-Test-Quartz: 190-270 nm, 0° Durchlässigkeit, 10 wiederholte Messungen.
Bei 10 Tests bei 193 nm betrug der Maximum-Minimum-Unterschied 0,02 % T.
Host-Test-Quartz 0° Durchlässigkeit 10-mal wiederholbare Ergebnisse
Vollautomatisches Multi-Winkel-Transmittenz- und Absolut-Reflexivitätszubehör (UMA) mit maßgeschneidertem UV-Polarisator-Test-Aluminiumspiegel: 190-380 nm, 45° Absolut-Reflexivität.
Bei großen Winkeln haben Rp und Rs ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis bei 193 nm.
UMA Zubehör Test Aluminium Spiegel 45° absolute Reflexivität Ergebnis
Heute, wo sich fortschrittliche Prozesse ständig entwickeln, hat sich die Leistungsprüfung von optischen Komponenten von „optional“ zu „kritisch“ entwickelt.Die Spektrophotometer der Serie Cary4000/5000/6000i/7000 von Agilent spielen eine wichtige Rolle bei der Präzisionsmessung und -analyse mit hoher Präzision, hoher Effizienz und voller Funktionalität, die die Entwicklung von Photogravierkleben, die Auswahl von optischen Komponenten, die Beurteilung der Materialalterung und die Überprüfung der Beschichtungskonsistenz unterstützen.Da sich die Halbleiterherstellungstechnologie weiter entwickelt, wird die Nachfrage nach der Messanalyse optischer Komponenten immer feiner werden, und die Agilent Cary-Serie wird diesen Prozess weiterhin solide technische Unterstützung bieten.