Kondensatives Metallfilm Vakuummeter

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Das kapazitive Metall-Dünnfilm-Vakuummeter (beheizter Typ) der Domain Technologie verwendet ein einseitiges Doppelelektroden-Differenzkapazitiv-Design, das dem Prozessgas ausgesetzt ist, ist ausschließlich eine Inconel/Incoloy-Legierung.

Produktdetails

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter（Heizung）

Beheiztes kondensatives Metall-Dünnfilm-Vakuummeter mit einseitigem Doppelelektroden-Differenzkondenztentwurf, das Material, das dem Prozessgas ausgesetzt ist, istInconel / IncoloyLegierung, ultra-empfindliche Front-End-Schaltung und * Algorithmus, die eine hohe Empfindlichkeit und Messgenauigkeit unter Arbeitsdruck garantiert, schnell reagiert, stabile Leistung, starke Korrosionsbeständigkeit, bietet von45℃bis120℃Mehrere thermostatische Versionen,0,1 Torrbis1000TorrDie gesamte Reihe umfasst eine ausgezeichnete Leistung und ist ideal für die präzise Messung und Steuerung des Gesamtdrucks bei anspruchsvollen Halbleitern und Plasma sowie bei der Reinigung von gefährlichen Materialien.

DMG100Die Drucksensoren der Serie verfügen über thermostatische Ausfälle und Ausrüstungsfehlerrelaisausgänge.

Vorteile

1.Thermostatischer Metallfilm-Differenzkondenzisionsspannungssensor

lHohe Empfindlichkeit

lHohe Präzision und Wiederholbarkeit

lHohe Langzeitstabilität

2.Alle Sensoren sind robust und korrosionsbeständigInconel合金

lGasfrei, Messergebnisse unabhängig von der Gaszusammensetzung

lZulässig mit korrosiven oder schmutzigen Gasen

lVakuummeter-Material verunreinigt den Prozess nicht

3. Reiche Ausgangssignale

lEinfache Integration, reiche Schnittstellen für alle Systemintegrationsanforderungen

lUnabhängigTyp CDiagnose, Debugging und Konfiguration

4.Fehlerausgabefunktion/Druckauslöser-Ausgangsfunktion

lAusgang über Relais: Thermostat- und Gerätefahler/Druck auslösende Signale

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter（Heizung）

Technische Parameter

Indikatoren	Spezifikationen
Vollständiger Maßstab	0,1 Torr，1Torr，10Torr，100Torr，1000Torr
Genauigkeit	≥1Torr ± 0,25%Lesungen,1Torr ± 0,50%Lesungen
Auflösung	0,001%FS
Empfohlener Lesebereich	0,005V bis 10V@FS
Empfohlene Kontrolle des Druckbereichs	0,05V bis 10V@FS
Optionen für die interne Temperatur des Gerätes	45℃，80℃，100℃
Vorwärmzeit	2Stunde≥1Torr；4Stunden <1Torr
Umgebungstemperatur	15bis40℃@45℃Innenthermostat
Triggerfunktion	Optional, 2-Wege-Single-Messer-Doppelschalter, Verteilung einstellbar0,1% ~ 100% FSBelieblicher Druck, Relais Kapazität0.6A@30VDC
Fehlerausgabefunktion	Optional, Ausgang für Thermostat- und Gerätefuhler über Relais
Ausgabe	0-10VDCanaloge Ausgabe,10KOhm;RS422Ausgabe (RS485Optional)
Elektrische Steckverbinder	D-Sub，15Füße, Nadelschlüsse;der M8Schifffahrt,5Füße, Loch Steckdose
Eingangsstromversorgung	±15VDC（±5%),24VDC（±5%oder20 ~ 26VDC;Spitze40W@100 ℃，35W@45 ℃
Überdruckbegrenzung	45Psia
Materialien, die Prozessgasen ausgesetzt sind	Gestalten für316LMaterial, der Rest istInconelundIncoloy合金
Reaktionszeit des Sensors	≥1Torr 25Millisekunden;1Torr 50Millisekunden
Kalibrierungsrichtung	Standardvertikale Kalibrierung, horizontale Kalibrierung optional
Innenvolumen	5,1 ml(keine Schnittstelle enthalten)

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen für industrielle und wissenschaftliche Kunden in Bezug auf Durchfluss-, Druck-, Vakuum- und Steuerungsprüfung und Vertrieb in den USAALICAT、 Die Marken Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan bieten unseren Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf abzielen, die Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und den Forschungs- und Innovationsfortschritt der Kunden zu fördern.

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