Kondensatives Metallfilm Vakuummeter

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter(Hochtemperatur)

Hochtemperaturkondensatives Metallfilm-Vakuummeter mit einseitigem Doppelelektroden-Differenzkondenztentwurf, das Material, das dem Prozessgas ausgesetzt ist, istInconel / IncoloyLegierung, ultra-empfindliche Front-End-Schaltung und * Algorithmus, die eine hohe Empfindlichkeit und Messgenauigkeit unter Arbeitsdruck garantiert, schnell reagiert, stabile Leistung, starke Korrosionsbeständigkeit, bietet150℃bis200℃Zwei Hochtemperatur-Versionen verbessern die Auswirkungen von Ablagerungen auf die kondensative Folie erheblich und bieten1Torrbis1000TorrVollständiger Bereich mit ausgezeichneter Leistung für anspruchsvolle Halbleiter、PlasmaundReinigung von gefährlichen Materialien usw.Gebiet, ja.Ideal für die präzise Messung und Steuerung des Gesamtdrucks.

Vorteile

1.Differentielle kapazitive Spannungssensoren für Metallfolien mit hoher Temperatur

lHochempfindlich

lHohe Präzision und Wiederholbarkeit

lHohe Langzeitstabilität

2.Alle Sensoren sind robust und korrosionsbeständigInconel合金

lGasfrei, Messergebnisse unabhängig von der Gaszusammensetzung

lZulässig mit korrosiven oder schmutzigen Gasen

lVakuummeter-Material verunreinigt den Prozess nicht

3.Reiche Ausgangssignale

lEinfache Integration, reiche Schnittstellen für alle Systemintegrationsanforderungen

lUnabhängigTyp CDiagnose, Debugging und Konfiguration

4.Fehlerausgabefunktion/Druckauslöser-Ausgangsfunktion

lAusgang über Relais: Thermostat- und Gerätefahler/Druck auslösende Signale

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter(Hochtemperatur)

Technische Parameter

Indikatoren	Spezifikationen
Vollständiger Maßstab	1Torr, 10Torr, 100Torr, 1000Torr，定制
Genauigkeit	± 0,5 % der Messwerte
Auflösung	0,001%FS
Empfohlener Lesebereich	0,005V bis 10V@FS
Empfohlene Kontrolle des Druckbereichs	0,05V bis 10V@FS
Optionen für die interne Temperatur des Gerätes	150℃，200℃
Vorwärmzeit	4 Stunden
Umgebungstemperatur	15 bis50℃
Triggerfunktion	Optional, 2-Wege-Single-Messer-Doppelschalter, Verteilung einstellbar0,1% ~ 100% FS beliebiger Druck, Relais Kapazität 0.6A@30VDC
Fehlerausgabefunktion	Optional, Ausgang für Thermostat- und Gerätefuhler über Relais
Ausgabe	0-10VDC analoger Ausgang, > 10K Ohm; RS422 Ausgang (RS485 optional)
Elektrische Steckverbinder	D-Sub， 15 Fuß, Nadelstecker; M8 Luftstecker, 5 Fuß, Lochstecker
Eingangsstromversorgung	± 15 VDC (± 5%), 24 VDC (± 5%) oder 20 ~ 26 VDC; Spitze50W@150℃，70W@200℃
Überdruckbegrenzung	45Psia
Materialien, die Prozessgasen ausgesetzt sind	Gestalten fürMaterial 316L, der Rest aus Inconel- und Incoloy-Legierungen
Reaktionszeit des Sensors	50 Millisekunden.
Kalibrierungsrichtung	Standardvertikale Kalibrierung, horizontale Kalibrierung optional
Innenvolumen	5,1 ml (ohne Probenaufnahme)

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen für industrielle und wissenschaftliche Kunden in Bezug auf Durchfluss-, Druck-, Vakuum- und Steuerungsprüfung und Vertrieb in den USAALICAT、 Die Marken Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan bieten unseren Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf abzielen, die Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und den Forschungs- und Innovationsfortschritt der Kunden zu fördern.