Kondensatives Metallfilm Vakuummeter

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Das kapazitive Metall-Dünnfilm-Vakuummeter (Thermometer) der Domain Technologie verwendet ein einseitiges Doppelelektroden-Differenzkondenztentwurf, das dem Prozessgas ausgesetzt ist, ist ausschließlich eine Inconel/Incoloy-Legierung.

Produktdetails

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter(Wärme)

Temperiertes kondensatives Metall-Dünnfilm-Vakuummeter mit einseitigem Doppelelektroden-Differenzkondenztentwurf, das Material, das dem Prozessgas ausgesetzt ist, istInconel / IncoloyLegierungen, ultraempfindliche Frontend-Schaltungen und * Algorithmen, die eine hohe Empfindlichkeit und Messgenauigkeit unter Arbeitsdruck garantieren, reagieren schnell, leistungsstabil und korrosionsbeständig sind, und einzigartige Temperaturkompensationsalgorithmen helfen, das Produkt schnell zu stabilisieren. Angebot1Torrbis1000TorrVollständiger Bereich mit niedrigen Kosten und hoher LeistungEigenschaftenFür raue Produktionsumgebungen wie Beschichtungsindustrie, Halbleiter- und Plasmaanwendungen，Für sieSie bieten eine stabile Leistung.

Vorteile

1.Temperaturkompensationsförmige Metallfilm-Differenzkondenzisionsspannungssensoren

lHochempfindlich

lHohe Präzision und Wiederholbarkeit

lHohe Langzeitstabilität

lSchneller Arbeitszustand

2.Alle Sensoren sind robust und korrosionsbeständigInconel合金

lGasfrei, Messergebnisse unabhängig von der Gaszusammensetzung

lZulässig mit korrosiven oder schmutzigen Gasen

lVakuummeter-Material verunreinigt den Prozess nicht

3.Reiche Ausgangssignale

lEinfache Integration, reiche Schnittstellen für alle Systemintegrationsanforderungen

lUnabhängigTyp CDiagnose, Debugging und Konfiguration

4.Druckauslöser-Ausgangsfunktion

lDruckauslösesignal über Relais

Kondensatives Metallfilm Vakuummeter(Wärme)

Technische Parameter

Indikatoren	Spezifikationen
Vollständiger Maßstab	1Torr, 10Torr, 100Torr, 1000Torr，定制
Genauigkeit	± 0,5 % der Messwerte
Auflösung	0,001%FS
Null Temperaturkoeffizient% Vollbereich / ℃	0.015%
Temperaturfaktor des Messbereichs% der Messung / ℃	0.02%
Empfohlener Lesebereich	0,005V bis 10V@FS
Empfohlene Kontrolle des Druckbereichs	0,05V bis 10V@FS
Optionen für die interne Temperatur des Gerätes	Nicht-konstanter, Temperaturkompensationsalgorithmus
Vorwärmzeit	30 Minuten
Umgebungstemperatur	0bis40℃
Triggerfunktion	unterstützenZwei-Wege-Single-Messer-Doppelschalter, Verteilung kann eingestellt werden0,1% ~ 100% FS beliebiger Druck, Relais Kapazität 0.6A@30VDC
Fehlerausgabefunktion	Optional, Ausgang für Thermostat- und Gerätefuhler über Relais
Ausgabe	0-10VDC analoger Ausgang, > 10K Ohm; RS422 Ausgang (RS485 optional)
Elektrische Steckverbinder	D-Sub， 15 Fuß, Nadelstecker; Der M8,7Füße, Loch Steckdose
Eingangsstromversorgung	± 15 VDC (± 5%), 24 VDC (± 5%) oder 20 ~ 26 VDC;5W
Überdruckbegrenzung	45Psia
Materialien, die Prozessgasen ausgesetzt sind	Gestalten fürMaterial 316L, der Rest aus Inconel- und Incoloy-Legierungen
Reaktionszeit des Sensors	2Fünf Millisekunden.
Kalibrierungsrichtung	Standardvertikale Kalibrierung, horizontale Kalibrierung optional
Innenvolumen	5,1 ml (ohne Probenaufnahme)

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Das Unternehmen konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen im Zusammenhang mit Durchfluss-, Druck-, Vakuum-Erkennung und Steuerung für industrielle und wissenschaftliche Kunden. Das Unternehmen vertreibt Marken wie ALICAT in den USA, Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan. In Kombination mit den Produkten des Agenten bieten wir Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf ausgerichtet sind, die Forschungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und die Forschung und Innovation der Kunden zu fördern.

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