Kondensatives Vakuummeter

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Das Domain-Technologie-Kapazitivvakuummeter (PIRANI) kombiniert die Technologie der kapazitiven Keramikdünnfilmsensoren mit den Vorteilen von PIRANI-Sensoren in einem Produkt mit hoher Präzision und breiter Reichweite.

Produktdetails

Kondensatives Vakuummeter(Pilani)

Domain Technologie Pilani KondensionsvakuummeterKombinieren Sie die Vorteile der Sensortechnologie mit kapazitiven Keramikdünnfilmen und Pila-Sensoren in einem Produkt mit hoher Präzision und breiter Reichweite.

Messbereich3.8×10^-5Zurückbis1500 TorrDer grobe Vakuumsegment verwendet einen keramischen kondensativen Dünnfilmsensor, der eine hohe Messgenauigkeit und unabhängig vom Gastyp bietet. Verwendung von höheren VakuumsegmentenMEMSDer Pilani-Sensor. Geeignet für die Messung von neutralen und groben Vakuumbereichen und in vielen Anwendungen für Selbstsperrregelung, Systemsicherheitsschlüsse, Vorvakuumdruckmessung und präzise Druckmessung und -steuerung. Der Druck wird im mittleren Vakuumbereich kontrolliert, um den Preis-Leistungsverhältnis zu verfolgengutAuswahl.

Vorteile

1.Kompositdrucksensor

lhohe Präzision(10Torr-1500Torr)Weniger als Lesungen0.5%),Es hat nichts mit der Gaszusammensetzung zu tun.

lBreite Reichweite(3.8×10－5Torrbis1500Tor)

2.Hoher Preis-Leistungsverhältnis

3.Reiche Ausgangssignale

lEinfache Integration, reiche Schnittstellen für alle Systemintegrationsanforderungen

lUnabhängigTyp CDiagnose, Debugging und Konfiguration

4.Druckauslöser-Ausgangsfunktion

5.Druck-Echtzeit-Bildschirm-Anzeige

Kondensatives Vakuummeter(Pilani)

Technische Parameter

Indikatoren	Spezifikationen
Messbereich	3.8×10^-5Torr bis 1500 Torr
Genauigkeit	3.8×10^-5 - 1×10^-⁴Torr-Messwert ±50 % @Stickstoff/Luftkalibrierung; 1×10^-4- 20 Torr Genauigkeit ± 15% @ Stickstoff / Luft Kalibrierung; 0,05 - 10Torr Genauigkeit ± 10 % @ unabhängig von der Gasart (optional); 10 - 1500 Torr Genauigkeit ± 0,5 % @ unabhängig von der Gasart (optional);
Auflösung	0,001%FS
Optionen für die interne Temperatur des Gerätes	Nicht-konstanter, Temperaturkompensationsalgorithmus
Vorwärmzeit	10 Minuten
Umgebungstemperatur	0bis40℃
Triggerfunktion	unterstützen
Ausgabe	Konfigurierbar0-10VDC analoger Ausgang, > 10K Ohm; RS422 Ausgang (RS485 optional)
Elektrische Steckverbinder	FCC68 8 Stift(Optional)D-Sub 9-polige Steckdose); M8 Luftstecker, 5 Fuß, Lochstecker
Eingangsstromversorgung	9 ~ 36VDC;3W
Überdruckbegrenzung	2000 Torr
Materialien, die Prozessgasen ausgesetzt sind	316LAluminiumkeramik, Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Aluminium, Glas, Gold, Gummi
Reaktionszeit des Sensors	≥20 Torr für 25 Millisekunden; < 20 Torr 50 Millisekunden
Kalibrierungsrichtung	Beliebliche Richtung
Innenvolumen	11 ml (ohne Probenaufnahme)

Pilani VakuummeterbasierendWärmeleiterprinzipDurch die Messung der Wärmeverlustrate des Heizdrahtes in der Vakuumumgebung (mit der Gasmolekulardichte)/Widerstands- oder Temperaturänderungen, die durch Druckänderungen ausgelöst werden, ermöglichen eine indirekte Messung des Vakuumdrucks.

Hangzhou Domain Technologie Co., Ltd.Konzentriert sich auf die Bereitstellung von technischen Dienstleistungen und Lösungen für industrielle und wissenschaftliche Kunden in Bezug auf Durchfluss-, Druck-, Vakuum- und Steuerungsprüfung und Vertrieb in den USAALICAT、 Die Marken Vogtlin in der Schweiz, MKS in den USA und EBARA in Japan bieten unseren Kunden qualitativ hochwertige Durchfluss- und Drucküberwachungslösungen, die darauf abzielen, die Forschungs- und Entwicklungs- und Produktionseffizienz der Kunden zu verbessern, den Herstellungsprozess der Kunden zu verbessern und den Forschungs- und Innovationsfortschritt der Kunden zu fördern.

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