WFS-100A Adsorptive Local Scrubber Abgasbehandlungsanlage

Shenzhen Wufei Technologie Co., Ltd. ist spezialisiert auf Forschung und Entwicklung, Entwurf und Herstellung von hochreinen Prozessgassystemen Elektronische Spezialgasprozessabgasbehandlungsgerätelocal scrubberWFS-100F-Adsorptionslokalscrubber-Abgasbehandlungsgeräte können mit Gasarten wie Halbleitern, Flüssigkristallen und Sondergasen verarbeiten, die im Ätzprozess und im chemischen Gasphase-Ablagerungsprozess verwendet werden, hauptsächlich einschließlich SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O Warten Sie.