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Raum L02, 1. Stock, Gebäude 5, 3, Yaojia Road, Liangsu Street, Yuhang District, Hangzhou
Hangzhou Shuiquan Vakuumausrüstung Co., Ltd.
Raum L02, 1. Stock, Gebäude 5, 3, Yaojia Road, Liangsu Street, Yuhang District, Hangzhou
WAU WurzelpumpeKernmodell und technische Parameter
WAU WurzelpumpeTechnische Vorteile
1. Effiziente Energieeinsparung
Luftgekühltes Design erfordert kein externes Kühlwasser und verbraucht 40% weniger Energie als herkömmliche Wasserkühlpumpen
Geschwindigkeitsregelungskompatibilität (z.B. WAU 251 auf 4.200 U/min), 50% höhere Anpassung
2. Ölfreie Dichtung
Canned Motor isoliert Schmierölverschmutzung und erfüllt hohe Reinheitsprozessanforderungen wie Halbleiter und Photovoltaik-Beschichtungen
Fluor-Gummi-Dichtungen widerstehen sauerstoffhaltigen/korrosiven Gasen (z. B. Ätzgasen im CVD-Prozess)
3. Modulare Wartung
Getriebe und Pumpenholm isoliert, Schmieröl ist frei von Medien, Austauschzyklus verlängert auf 4.000 Stunden
Schnelle Vertikal-/Horizontalschaltung spart Platz für das Gerätelayout
Wartung und Fehlerverhütung
1. Obligatorische Wartung
Ersatzlager und mechanische Dichtung pro 2.000 Betriebsstunden mit Original-Schmieröl LVO 100/210
5% Säure-Alkali-Flüssigkeit zur Reinigung der Pumpenhalle, Partikelschleifmittel deaktiviert
2. Betriebsverbot
Eine kontinuierliche Druckdifferenz > 100 mbar kann zu einer Überhitzungsdeformation des Rotors führen
Durchlaufventil Öffnungszeit ≤3 Minuten, um Motorüberlastung zu vermeiden
3. Optionen zum Upgrade
Magnetfestigungslager: 40% geringer mechanischer Verlust und Wartungsfreier Zyklus von über 8.000 Stunden