UV-Gravur

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Direktgravierbearbeitungsgeräte, inländische Direktgraviergeräte, UV-Lithographie _ AOD: Laser-Direktgraviergeräte werden hauptsächlich für die Übertragung von Mikrostrukturmustern ohne Maske verwendet, um diffraktionsoptische Komponenten und mikroelektromechanische Systeme vorzubereiten. Verschiedene Substrate für die Beschichtung mit photogravierenden Kolloden (z. B. Glas, Siliziumflatten oder andere Flachmaterialien) werden maskelos direkt belichtet und als diffraktionsoptische Komponenten, Mikroelektromechanische Systembearbeitungsplattformen eingesetzt.

Produktdetails

UV-Gravur_AODLaser-Direktschreibungsgeräte werden hauptsächlich für die Transfer von Mikrostrukturmustern ohne Maske-Direktbelichtung verwendet, um diffraktionsoptische Komponenten und mikroelektromechanische Systeme vorzubereiten. Verschiedene Substrate für die Beschichtung mit photogravierenden Kolloden (z. B. Glas, Siliziumflatten oder andere Flachmaterialien) werden maskelos direkt belichtet und als diffraktionsoptische Komponenten, Mikroelektromechanische Systembearbeitungsplattformen eingesetzt.

UV-Gravur_AODDirekte Leistungsparameter schreiben
Kopf schreiben	Hohe Auflösung	100×	50×	20×	10×	5×
Mindestgröße (μm)	0.25	0.3	0.6	1	2	4
Rauheit (3σ, nm)	50	60	70	80	110	160
CD-Homogenität (3σ, nm)	50	60	80	130	180	250
Genauigkeit 100 x 100 mm² (nm)	300	300	500	500	800	1000
Schreibgeschwindigkeit mm²/min	5	15	40	150	600	2000
100×100mm² Schreibzeit (min)	3000	740	255	72	20	7
Systemeigenschaften
Lichtquelle	405nm oder 375nm
Grundplattengröße	Maximal 9 Zoll
Substratdicke	0,1 mm ~ 15 mm
Maximale Belichtungsfläche	200 × 200mm²
Temperaturstabilität	±0.1°
Graustufen	4096
Erweiterbarkeit	Unterstützung für Multi-Channel-Erweiterungen
Featured Funktionen
Skriptierter Schreibmodus	Bereitstellung einer skriptierten Programmierschnittstelle zur Unterstützung benutzerdefinierter Bearbeitungsstrukturen
Schreib- und Schneidsoftware	Unterstützung für JPG, TIFF, GDS und andere Formate
Echtzeit-Autofokus	Optischer Fokus
Autofokusbereich	100 μm
Systemteile
Objektive	5x, 10x, 20x, 50x, 100x, optionale hochauflösende Objektive
Systemgröße
Länge Breite Höhe	1320mm × 1320mm × 2000mm
Gewicht	1100kg
Installationsbedingungen
Elektrische Bedingungen	230VAC ± 5%, 50 / 60Hz, 16A
Umgebungstemperatur	Temperatur: 21 ± 1 ° C, Luftfeuchtigkeit: 50% ~ 70%, keine Kondensation
Druckluft	6-9bar, ± 0,5 bar
Umweltbeleuchtung	Gelbes Licht
Reinigungsstufe	Tausende Reinigungszimmer

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