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Hangzhou Yuzhiquan Präzisionsinstrumente Co., Ltd.
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Hangzhou Yuzhiquan Präzisionsinstrumente Co., Ltd.

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Doppelphotonen-Aggregation

VerhandlungsfähigAktualisieren am02/10
Modell
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Hersteller
Produktkategorie
Ursprungsort
Übersicht
Doppelphotonen-Polymerisierung 3D-Bearbeitung, Doppelphotonen-Polymerisierung_MPD: Echte dreidimensionale, maskenfreie Photogravur, die die Herstellung von 3D-Strukturen in hohem Freiheitsgrad mit einer Mindestgröße von bis zu 50 nm ermöglicht.
Produktdetails

Doppelphotonen-Aggregation_MPD: Echte dreidimensionale Maskenfreie Photografie, die eine hohe Freiheitsgrad für die Herstellung von 3D-Strukturen in der Nano-Größe mit einer Mindestgröße von bis zu 50 nm ermöglicht. Bietet eine ausgezeichnete Präzisionslösung für die Forschung und Entwicklung in mehreren Bereichen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, Mikro-Nano-Optik, Mikro- / Nano-Fluid-Chips, On-Chip-Lichtvernetzung, Mikromaschinen usw.

Doppelphotonen-Aggregation_MPDParameter:

Systemparameter

MPD-100 Unterreihe

MPD-1000 Unterreihe

MPD-2000 Unterreihe

Horizontale Mindestgröße (nm)

XY ≤80

XY ≤80

XY ≤50

Horizontale Mindestzyklus/Auflösung (nm)

XY ≤300

XY ≤300

XY ≤200

Genauigkeit (nm)

≤ 200

Höchste Oberflächenrauhe (nm)

≤5

Hinweis: Die oben genannten Werte sind nur ein typischer Bereich für die einzelnen Parameter, keine Grenzwerte. Beispiel: Die Mindestgröße xy≤80nm, die tatsächlich erreichbare Mindestgröße ist unter 80nm.

Besondere Funktionen und Konfigurationen (×-Standardmaschine nicht enthalten, √-Standardmaschine konfiguriert, ○-ergänzbar)

MPD-100 Unterreihe

MPD-1000 Unterreihe

MPD-2000 Unterreihe

Hochpräzise Fokussierung

Genauigkeit ≤25nm, kompatibel mit Silizium, Glas, Sapphire und anderen transparenten / undurchsichtigen Substraten

Fokus-/Differenzregulierung

×

3D im Fokus

×

Dreidimensionale Ausrichtung

×

Mehrparametrische Vorschau

Skriptfunktionen

Intelligente Strategie

1. Kontur / Schale - Füllung;
2. Beliebliche / benutzerdefinierte Sequenzmodus
Dynamische Fokuspunktregelung (Graustufen)
4. Adaptive Schichten
5. Vektorbearbeitungsmodus

Befestigungen/Unterlagen

1. einschließlich, aber nicht beschränkt auf Metalle, Glas (Quartz), Sapphire, Siliziumflatten usw.
2. Kompatibel mit mehreren Unterlagen Fixierungsmodus: Adsorptionstisch, Griff, Magnetsaug
3. Unterstützung / kundenspezifische Faserverbindungen

Fokusüberwachung

Energieüberwachung

Hilfsfunktionen

Anker, Messung, Markierung, Neigungskompensation, Drehung usw.

Klebstoff/Material

1. Selbstforschung Doppelphotonen-Photogravur, HBP, PPI-Dip, HBO-2 usw.
2. Kompatibel mit Drittanbieter-Doppelphotonen-Photogravur; Andere optisch härtende Materialien umfassen, aber nicht beschränkt auf die AZ-Serie, die SU8-Serie
3. Unterstützt den Druck von Biokompatibilitäts-Hydrogel-Materialien
4. Unterstützung für Glas, PDMS und verschiedene Vorläuferkleber

Erweiterungsfunktion 1: Automatisches Aufkleben

Erweiterung 2: Fluoreszenz-Kofokussierung

×

Erweiterung 3: Mehrkanalerweiterung

Hardware-Konfigurationsinformationen (×- Standard-Maschine nicht enthalten, √- Standard-Maschinenkonfiguration, ○- ergänzbar)

MPD-100 Unterreihe

MPD-1000 Unterreihe

MPD-2000 Unterreihe

Fokussierungssystem

Standardausrüstung: 66-fache Gesamtvergrößerung, NA 1.42。 (Sonstige Vergrößerungen und Anforderungen können angepasst werden)

Femtosekundenlaser

Mittelwellenlänge: 515nm/780nm (optional)
Durchschnittliche Leistung: ≥1W
Impulsbreite: ≤200fs
Wiederholungsfrequenz: 80MHz

Verschiebungsstation

XYZ行程: 100mm × 100mm × 25mm

Hochpräzise Z-Achse

Fahrstrecke: 75 μm; Genauigkeit: ≤10nm

Temperaturkontrollsystem

Umgebungstemperatursystem mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C (der Temperaturbenchmark ist der gleiche wie im externen Labor, das externe Labor muss eine bessere Temperaturstabilität als ±1 °C gewährleisten)

Isolierungssystem

Konfiguration mehrstufiger aktiver/passiver Isolationssysteme

Installationsbedingungen (unten sind die empfohlenen Bedingungen, detailliertere Parameter können mit dem Hersteller kommuniziert werden)

MPD-100 Unterreihe

MPD-1000 Unterreihe

MPD-2000 Unterreihe

Elektrische Bedingungen

Stromversorgungsbedingungen

Stromkabel 6 Quadrat, 220V, 50Hz, 16A

Spitzenleistung / Betriebsleistung

4kW / 1kW

8 kW / 4 kW

Umweltbedingungen

Gelbes Licht, Tausende und höhere Reinraum, Isolationsklasse bevorzugt als VC-C, Labortemperatur, empfohlen 21-23 ° C

Druckluft

Nicht notwendig, nur für aktive Schwingungs- und Absorptionstischmaschinen

Empfohlene Anwendungsfläche

2m × 2m

Größe

Ausrüstungskörper (mm, Breite x Tiefe x Höhe)

785×940×720

1300×1300×2200 (ohne Thermostat 1900)

Schrank (mm, Breite x Tiefe x Höhe)

620×800×1600

620×800×1600

Gesamtgewicht (kg)

<600

<1200