Drittanbieter-Instrumentkalibrierungs- und Messzentren liefern Prüfungs- und Korrekturservices

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Im Folgenden finden Sie die allgemeinen Verfahren zur Kalibrierung von Laserinterferometern:

Vorbereitung vor Kalibrierung

• Umgebungsbedingungsregelung: Temperaturregelung im Bereich von 20 ° C ± 2 ° C und geringe Schwankungen während der Kalibrierung, können Klimaanlagen oder Thermostate verwendet werden; Die Feuchtigkeit wird bei 40% -60% gehalten und durch Entfeuchtung oder Belüftung geregelt; Stellen Sie das Instrument auf einer isolierten Plattform, die horizontal und fern von der Schwingungsquelle ist.

• Vorwärmung des Instruments: Die Vorwärmung nach den Anforderungen der Geräteanleitung erfordert in der Regel eine Vorwärmung von mehr als 20 Minuten, damit das Instrument einen stabilen Arbeitszustand erreicht.

• Reinigung der optischen Komponenten: Mit wasserfreiem Ethanol und Objektivpapier wischen Sie den Lasersender, die optischen Fenster des Empfängers und die Spiegeloberflächen vorsichtig ab.

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Kalibrierungsprojekte und Methoden

• Laserwellenlängenkalibrierung: Standardgeräte oder Benchmarks mit bekannter Länge, wie z. B. hochpräzise Messblöcke, werden verwendet. Starten Sie das Instrument, lassen Sie den Laser durch das Standardgerät, messen Sie die Anzahl der interferenten Streifen des Lasers in der Standardlänge und berechnen Sie die tatsächliche Wellenlänge mit mehreren Datensätzen. Wenn eine Abweichung vom theoretischen Wert besteht, wird die Einstellung über die Regeleinrichtung durchgeführt.

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• Linearitäts-Kalibrierung: Installieren Sie das Messgerät auf einer geradlinigen Führungsschiene, den Spiegel am Ende befestigen und den Lasersender so anpassen, dass der Laserstrahl parallel zur Führungsschiene ist. Die Messgeräte werden bewegt, der Spiegel bewegt sich entlang der Führungsschiene, das Interferometer erfasst die Daten der Interferenzstreifen und konvertiert sie in Verschiebungsdaten, analysiert die Linearitätsfehler, und der Überbereich passt die Installationsposition oder die mechanische Struktur der Geräte an.

• Optische Straßenkalibrierung: Überprüfen Sie den Laserweg, um sicherzustellen, dass Interferenzspiegel und Spiegel korrekt und genau ausgerichtet sind. Durch die Anpassung der entsprechenden Komponenten kann der Laserstrahl genau verbreitet und reflektiert werden, um sicherzustellen, dass die optische Abweichung im zulässigen Bereich liegt. Für einige Laserinterferometer müssen Sie den Lichtweg nach bestimmten Schritten einstellen, wie z. B. das US-Laserinterferometer, bevor und nach der Einstellung, so dass das reflektierte Licht wieder in das Rücklicht verschmelzt wird, um sicherzustellen, dass die Lichtintensitätsanzeige hell ist.

Nachkalibrierung

Füllen Sie nach Abschluss der Kalibrierung den Kalibrierungsverzeichnis aus, der das Kalibrierungsdatum, die Mitarbeiter, das Gerätemodell und -nummer, die Kalibrierungsprojekte, die Ergebnisse usw. enthält. Abhängig von den Kalibrierungsergebnissen wird das entsprechende Etikett auf das Instrument eingefügt, die Qualifizierung wird mit der Qualifizierung gekennzeichnet, die Nicht-Qualifizierung muss repariert und neu kalibriert werden.