Schweizer MwSt. Vakuumventil - Vakuumventil

Schweizer MwSt. Vakuumventil - Vakuumventil

Swiss VAT ist ein Hersteller von Vakuumventilen, der sich auf das Design und die Herstellung von Vakuumventilen mit hoher Präzision konzentriert. Die Produkte werden in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik, Flachbildschirm, Forschung und anderen Bereichen weit verbreitet und sind für hohe Zuverlässigkeit, lange Lebensdauer und Dichtungsleistungen bekannt.

1. Unternehmenshintergrund

Swiss VAT ist ein Hersteller von Vakuumventilen, der sich auf das Design und die Herstellung von Vakuumventilen mit hoher Präzision konzentriert. Die Produkte werden in den Bereichen Halbleiter, Photovoltaik, Flachbildschirm, Forschung und anderen Bereichen weit verbreitet und sind für hohe Zuverlässigkeit, lange Lebensdauer und Dichtungsleistungen bekannt.

2. Kernprodukte

(1) Einventilprodukte

• Serienmodell：

• Winkelventil(z.B. VAT 54-Serie): Geeignet für Hochvakuum (HV) und Ultrahochvakuum (UHV).

• Direktdurchgangsventil(z.B. MwSt. Serie 47): Niedriger Stromverschlag für schnelle Vakuumpumpungen.

• Türventile(z.B. VAT Serie 19): Metalldichtung, hohe Temperaturbeständigkeit (bis zu 450 °C) für Halbleiterprozesskammern.

• RegelventilPräzise Steuerung des Gasflusses zur Prozessdruckregelung.

• Technische Parameter：

• Leckage: <10-9 mbar·l/s (Metalldichtung).

• Material: Edelstahl, Aluminium, nickelt oder elektrolytisch poliert.

• Antrieb: pneumatisch, elektrisch oder manuell.

Mehrventilsysteme (Multi-Valve Systems)

• Designmerkmale：

• Die Integration mehrerer Ventile (z. B. Trennventile, Nebenventile, Hauptpumpenventile) in ein einziges Modul vereinfacht das Layout des Vakuumsystems.

• Modulares Design mit individuellen Kombinationen (z.B. MwSt. Lockfast) ® Serie).

• Schnelle Reaktion (Schaltzeiten bis zu 50 ms).

• Typische Anwendungen：

• Mehrkammer-Isolation von Halbleitergravierungs-/Ablagegeräten.

• Umschaltung des Vakuumpfades des Photovoltaik-Beschichtungssystems.

3. Kerntechnische Vorteile

• Dichtungstechnik：

• Metalldichtungen (keine elastischen Materialien) eignen sich für hohe Temperaturen und korrosive Umgebungen.

• Elastische Dichtungen (z. B. Fluorkummi) werden für wirtschaftliche Anwendungen verwendet.

• Antriebssystem：

• Der pneumatische Aktor ist standardmäßig mit einem explosionssicheren Design ausgestattet und der elektrische Aktor unterstützt die PLC-Steuerung.

• Intelligente Steuerung：

• Unterstützt industrielle Protokolle wie PROFINET, EtherCAT und andere, um den Ventilzustand in Echtzeit zu überwachen.

4. Typische Anwendungsbereiche

• Halbleiterherstellung: Wafer-Übertragungskammer, Gravungsgeräte.

• Photovoltaik-IndustrieVakuumisizolation von PECVD- und ALD-Geräten.

• Wissenschaftliche GeräteSynchronisierte Strahlungslichtquellen, Teilchenbeschleuniger.

• IndustrievakuumBeschichtungsmaschinen, Wärmebehandlungsanlagen.

5. Auswahlreferenzen

• Schlüsselparameter：

• Durchmessergröße (DN16 bis DN400).

• Druckbereich (von atmosphärischem Druck bis 10-10 mbar).

• Kompatible Gase (korrosive/inerte Gase).

• Zertifizierungsstandards：

• SEMI F47 (Standard gegen Spannungsschwankungen für Halbleitergeräte).

• CE/UL Zertifizierung.

6. Service und Support

• Maßgeschneidertes Design, schnelle Lieferung und weltweiter technischer Support.

• Die Auswahl wird durch Online-Konfigurationswerkzeuge wie z.B. den VAT Configurator unterstützt.

Schweizer MwSt. Vakuumventil - Vakuumventil