Schweizer MwSt. Vakuum Tor Ventil inländische Vorlage-MwSt. Ventil Verkäufer

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Charakteristiken verschiedener Typen von Ventilen:

Vakuum-Torventile – Ideal für Isolierung oder einfachere Steuerungsanwendungen. Die Installationstiefe ist eng und die Leitfähigkeit ist maximal (minimaler Stromviderstand), aber der Reiseraum des Tores ist erforderlich. Diese können auch in Form von Vakuumspaltventilen, Vakuumtransportventilen oder Vakuumtüren sein, über die das Produkt in die Vakuumprozesskammer eingeführt wird.

Vakuum-Winkelventil – ein allgemeines Vakuumventil. Die Größe ist sehr kompakt und in der Regel sehr modular in Bezug auf Dichtungen, Aktoren und Sensoren. Durchschnittliche Leitfähigkeit, sehr einfach zu warten. Sehr gut, sehr präzise Kontrolle, wenn nötig.

Vakuum-Schmetterlingsventile – vor allem für Steuerungsanwendungen. Sehr enge Installationstiefe, gute Leitfähigkeit, schnelle und präzise Steuerbarkeit.

Vakuumschwenkventil – sehr enge Montagetiefe und kompakte Abmessungen, kombiniert mit sehr präzisem Steuerverhalten, sehr guter Isolierung und sehr hoher Leitfähigkeit.

Symmetrisches Flussvakuumregelventil – Sondertyp, das ein sehr gleichmäßiges Flussverhalten von der ersten Öffnung bis zur gesamten Ventilöffnung optimiert.

Gasdosierventile oder Leckventile – insbesondere für sehr feine Messungen wie z.B. die Messung von Prozessgasen mit geringem Durchfluss.

Druckentlastungsventil oder Abgasventil – Sicherheitsventile ermöglichen eine kontrollierte Lüftung des Vakuumsystems und verhindern, dass die vorgeschriebenen Druckbedingungen überschritten werden.

Vakuum-Rückschlagventile – Ventile mit passivem Betrieb, Volumenstrom und Druckdifferenz. Es wird häufig verwendet, um Vakuumsysteme vor Rückflussvermutzung zu schützen. Zum Beispiel zwischen Vakuum-Rückflusspumpen und Vakuumsystemen.

Schnellschließventile – aktive Schutzventile, die in der Regel größere Vakuumvolumen oder Vakuumkammern vor Vakuumverlusten durch Leckage schützen. Hauptmerkmale: Eine sehr schnelle Schließreaktion auf den erkannten Druckabfall. In UHV- und XHV-Anwendungen wird es in der Regel durch ein Sektor-Vakuumventil (in der Regel ein Vakuum-Torventil) unterstützt, um sicherzustellen, dass eine dichte Isolation auch bei sehr hohen Druckdifferenzen erreicht werden kann.

Vakuumventile aus Metall – eine Reihe von Vakuumventilen, die speziell für Druck-, Temperatur- und Strahlungsbedingungen entwickelt wurden. Hauptmerkmale: Hart-zu-Hart-Dichtung (Metall-zu-Metall) anstelle von elastischer Dichtung, da die elastische Dichtung den Bedingungen des Dienstes nicht standhalten kann.

Vakuum-Mehrventilvorrichtung – eine spezielle Art Vakuumventil, das die Funktionen mehrerer Vakuumventile in einer Einheit vereint. Hauptmerkmale: Reduzierung der Anzahl der Teile und schnelle Montage. In der Regel werden sie auf Kundenwünsche angepasst.

3-stelliges Vakuumventil – eine spezielle Form des Vakuum-Trennventils, bei dem neben der Schließ- und Öffnungsstelle auch ein dritter Ventilplatz definiert werden kann. Eine Anwendung besteht beispielsweise darin, Druckimpulse zu vermeiden, die aufgrund des zu schnellen Öffnens des Ventils bei hoher Druckdifferenz entstehen. In der dritten Position verringert sich der Kontaktdruck auf dem Dichtring in kurzer Zeit leicht, während das Ventil nicht offensichtlich geöffnet ist, was die Druckänderung glatter macht.

Neben diesen Grundtypen gibt es eine Vielzahl von Mischvarianten, von denen einige verschiedene Ventiltechniken kombinieren oder Lösungen für bestimmte spezielle Anforderungen bieten.

Was ist ein Hochleistungs-Vakuumventil?

Vakuumventile in diesen Anwendungen unterscheiden sich in folgenden Hinsichten von Standard-Vakuumventilen:

Minimierte Partikelemissionen

Hochleistungsvakuumventile sind optimiert, um keine Partikel durch das Material ihres Gehäuses, seiner Maschinen oder seiner Dichtung oder durch die Reibung ihres Öffnens und Schließens oder der Steuerungsbewegung freizugeben. Dies wird durch eine spezielle Auswahl und Behandlung des verwendeten Materials sowie durch bestimmte Konstruktionsdetails erreicht, die die Freisetzung von Partikeln minimieren oder in einigen Fällen eliminieren können.

Minimierte Bewegungsimpulse

Jedes Ventil erzeugt durch seine Öffnungs- und Schließbewegung einen beweglichen Impuls. Bei automatisch antriebenen Ventilen können diese Impulse von leichten Vibrationen bis hin zu hörbaren und wahrnehmbaren harten Schlägen reichen. Diese Bewegungsimpulse können sich negativ auf empfindliche Fertigungsprozesse auswirken, beispielsweise durch die Freisetzung zusätzlicher Partikel. Neben den Konstruktionseigenschaften reduzieren Hochleistungsvakuumventile diese Impulse hauptsächlich durch die Steuerung der sogenannten Bewegungskurve. Ähnlich wie der Fahrgastaufzug funktioniert, verlangsamt sich die Schließgeschwindigkeit kurz vor der Erreichung des Schließpunkts, um einen 'Aufprall' zu verhindern. Diese Bewegungskurven können in der Regel modifiziert werden, so dass sie sich beispielsweise in Bezug auf die Schließzeit und die Schließfrequenz an die gewünschten Bedingungen anpassen können.

Neutrales chemisches und physikalisches Verhalten

Vakuumventile ändern immer die Gleichmäßigkeit der Vakuumprozesskammer, unabhängig von ihrer Form. Dies geschieht teilweise aufgrund seiner Geometrie. Die Verengung oder Breitung des Strömungsweges kann den Strömungswiderstand und die Strömungsgeschwindigkeit ändern, oder tote Winkel, wie der Bewegungsraum der Ventilplatte, können den Ablagerungsprozess erleichtern. Dies geschieht auch durch Ein- und Schließbewegungen, die das Strömungsverhalten sowie die Konzentration, Verteilung, Mischung und Temperatur von Prozessgasen verändern. Hochleistungsvakuumventile sind optimiert, um diesen Einfluss möglichst zu kompensieren oder zu kontrollieren. Zu diesem Zweck wurden in das Design eine Vielzahl von zusätzlichen Technologien hinzugefügt, die weit über die grundlegenden Funktionen des Ventils wie das Öffnen und Schließen oder die Steuerung hinausgehen.

Genaues wiederholbares Verhalten

Der Unterschied zwischen Hochleistungs-Vakuumventilen und Standardlösungen liegt hauptsächlich in ihrem hoch wiederholbaren Verhalten. Dies bedeutet, dass während die Standardlösung bei jeder einzelnen Öffnung- und Schließbewegung Schwankungen zeigt und während des Gebrauchs eine Abweichung von ihren definierten Leistungswerten zeigt, sind die Hochleistungsvakuumventile optimiert, um sich bei langem Gebrauch immer das gleiche Verhalten zu zeigen, definiert in einem sehr engen Bereich. Dies bedeutet, dass sie den Vakuumprozess stabilisieren und die Komplexität der Prozesssteuerung auf zuidi reduzieren können.

Welche Typen von Vakuumventilen gibt es?

Wie bei anderen Ventilen werden einige grundlegende mechanische Prinzipien verwendet, wie z. B. ein Türventil, eine Blende oder eine Drehscheibe, um den Vakuumbereich zu trennen oder zu isolieren und den Volumenstrom zu steuern. Allerdings sind die grundlegenden Bedingungen für die Verwendung dieser mechanischen Prinzipien wanquandifferent. So sind zum Beispiel ein hoher Freiheitsgrad an Partikeln, eine präzise Steuerung sehr kleiner Volumenströme, Dichtung, minimale Vibrationen und Stoße entscheidende Eigenschaften. Daher sind diese grundlegenden mechanischen Einrichtungen in der Regel für Vakuumventile anders ausgelegt. Zum Beispiel sind Schließmechanismen in der Regel so konzipiert, dass sie reibungsfrei geschlossen werden und minimale Vibrationen und Stoße verursachen, sofern vorhanden. Darüber hinaus kann die Steuerungsbewegung extrem feine Dosierungen sein, die Dichtung ist optimiert, um idealerweise keine Partikel freizugeben und ihre statischen oder dynamischen Eigenschaften bleiben bei langem Gebrauch stabil.

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