Schweizer Mehrwertsteuer Schmetterlingsregelventil Serie 61.3 Schnelle Präzision Schweizer Mehrwertsteuer Hochvakuum Schmetterlingsregelventil Serie 61.3 ist ein Präzisionsregelventil für Hochvakuumgebungen
Schweizer MwSt. Schmetterlingsregelvakuumventil Serie 61.3 Schnelle Präzision
Schweizer MwSt. Hochvakuum-Schmetterlingsregelventile Serie 61.3 ist ein Präzisionsregelventil für Hochvakuum-Umgebungen. Hier finden Sie eine detaillierte Beschreibung1：
Produkteigenschaften：
Präzise DrucksteuerungAusgestattet mit einem schnellen und präzisen Bewegungsregler, der innerhalb von 0,1 Sekunden reagiert und den nachgelagerten Druck schnell und präzise steuert, ist dies die ideale Lösung für die feine Steuerung von Prozessen wie der chemischen Gasphase-Ablagerung (CVD) und der Atomschichtenablagerung (ALD).
Anpassung an harte UmgebungenSpeziell für schwierige nachgelagerte Prozesse mit Partikeln im Luftstrom konzipiert, um auch bei hohen Partikellasten und Abfallansammlungen vollständig betrieben zu bleiben.
Hohe Zuverlässigkeit: Diese Serie von Ventilen wurde in Tausenden anspruchsvoller Anwendungen installiert und hat sich unter verschiedenen Prozessbedingungen für eine hervorragende Zuverlässigkeit bewährt. Die robuste Konstruktion bietet eine direkte Installationsoption und eine einfache Wartung, die die Betriebskosten senkt.
Starke Flexibilität: Vielfältige Konstruktionsoptionen, einschließlich unterschiedlicher Ventilkörper-Materialien, Oberflächenbehandlung, Elastomer, Flanschverbindungen, spezielle Abmessungen und spezielle Steueralgorithmen (adaptive, feststehende PI-Nachfluss-/Weichpumpen) für eine einfache Integration in verschiedene Vakuumanwendungen.
Technische Parameter：
Größe: Angebot DN 25（1’’）、DN 40（1½’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2½'）、DN 80（3'）、DN 100（4'）、DN 160（6'）、DN 200（8'）、DN 250（10'）、DN 320（12'） Viele Spezifikationen.
Ventilkörper MaterialEs gibt zwei Materialien: Aluminium und Edelstahl.
Flanschverbindung: Die Standardflansche sind ISO-KF und ISO-F, auch spezifische Flansche können auf Kundenwünsche angeboten werden.
DruckbereichBetriebsdruckbereich von 1 x 10-8 mbar bis 1,2 bar (absoluter Druck).
LeckrateDie Leckage von Aluminium- und Edelstahlventilkörpern ist kleiner als 1 x 10-9 mbar·l·s-1.
LebensdauerIm Druckregelmodus können bis zu 2 Millionen Zyklen vor der ersten Wartung durchgeführt werden.
TemperaturbereichDie Temperatur des Ventilkörpers beträgt ≤ 150 °C, die Maximaltemperatur des Controllers beträgt 50 °C (empfohlen ≤ 35 °C).
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