Schweizer VAT Vakuum Schmetterlingsventil 61.3 - Schmetterlingsregelventil

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Swiss VAT Vakuum-Schmetterlingsventil 61.3 - Schmetterlingsregelventil$r$n61.3 Hochvakuum-Schmetterlingsregelventile bieten eine hervorragende Druckregelleistung. Mit seinem schnellen und präzisen Bewegungsregler (0,1 Sekunde) ist das Schmetterlingsregelventil 61.3 die ideale Lösung für die feine Steuerung von CVD- und ALD-Prozessen. Die Ventilplatte kann als Abflusselement dienen und die Strömungsleiteigenschaften der Ventilöffnung ändern. 61.3 Der integrierte Druckregler des Schmetterlingsregelventils berechnet die gewünschte Position der Ventilplatte, um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.

Produktdetails

Schweizer VAT Vakuum Schmetterlingsventil 61.3 - Schmetterlingsregelventil

Ausgezeichnete Druckkontrolle unter allen Bedingungen

61.3 Hochvakuum-Schmetterlingsregelventile bieten eine hervorragende Druckregelleistung. Mit seinem schnellen und präzisen Bewegungsregler (0,1 Sekunde) ist das Schmetterlingsregelventil 61.3 die ideale Lösung für die feine Steuerung von CVD- und ALD-Prozessen. Die Ventilplatte kann als Abflusselement dienen und die Strömungsleiteigenschaften der Ventilöffnung ändern. 61.3 Der integrierte Druckregler des Schmetterlingsregelventils berechnet die gewünschte Position der Ventilplatte, um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.

Diese Serie ist speziell für schwierige nachgelagerte Prozesse mit Partikeln im Luftstrom konzipiert. Selbst bei hohen Partikellasten und Ablagerungen durch die Konstruktion bleibt das Schmetterlingsregelventil 61.3 in Betrieb.

Die 61.3-Serie ist bereits in Tausenden anspruchsvoller Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und beweist ihre Zuverlässigkeit. Mit robustem Design, direkten Installationsoptionen und einfacher und einfacher Wartung überzeugt die 61.3-Serie in jeder Hinsicht.

Verschiedene Konstruktionsmöglichkeiten in Bezug auf Ventilkörper, Oberflächenbehandlung, Elastomer, Flanschverbindungen, spezielle Abmessungen und spezielle Steueralgorithmen (adaptive, feststehende PI-Downstream-/Softpumpe) vereinfachen die Integration in verschiedenen Vakuumanwendungen.

61.3 Hochvakuum-Schmetterlingsregelventile aus Aluminium oder Edelstahl mit Standard-Flanschschlüsseln ISO-KF und ISO-F, die kundenspezifische Flansche und spezielle Funktionen wie integrierte Isolierheizungen integrieren können. Auf Anfrage sind verschiedene Perfluorkautschuk-/Fluorkummi-Elastomere erhältlich (Fluorkummi ist standardoptional).