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Produktkategorien
Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
Schweiz VAT61.6 - Hochvakuum-Schmetterlingsregel- und Trennventile
VerhandlungsfähigAktualisieren am05/11
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Übersicht
Schweizer VAT61.6 - Hochvakuum-Schmetterlingsregel- und Isolierventile Ausgezeichnete Druckregelung und Isolierung unter allen Bedingungen
Produktdetails
Schweiz VAT61.6 - Hochvakuum-Schmetterlingsregel- und Trennventile
Ausgezeichnete Druckregelung und Isolierung unter allen Bedingungen
61.6 HV-Steuerventile bieten eine hervorragende Druckregelung und Isolierung. Mit seiner schnellen und präzisen Bewegungssteuerung (0,45 Sekunden) ist es die Lösung für die feine Steuerung und Isolierung im CVD-Prozess. Die Schmetterlingsplatte als Abflusselement ändert die Leitfähigkeit der Ventilöffnung. Der integrierte Druckregler 61.6 berechnet die gewünschte Plattenposition, um den eingestellten Druck so schnell wie möglich zu erreichen.
Die Isolationsfunktion der Serie 61.6 wurde speziell entwickelt, um einen hohen Dichtungsverlust der Schmetterlingsventile zu vermeiden. Durch seine zentrale Außenwelle sowie die spezielle Geometrie des Ventilkörpers und der Dichtungsstütze wird die Dichtreibung reduziert und die Dichtleistung verbessert.
Die 61.6-Serie ist bereits in Tausenden anspruchsvoller Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert worden und hat sich für ihre hervorragende Zuverlässigkeit bewiesen. Die 61.6-Serie verfügt über robuste Konstruktion und direkte Montageoptionen sowie reduzierte und einfache Wartung, die in jeder Hinsicht ausgezeichnet ist.
Verschiedene Konstruktionsmöglichkeiten in Bezug auf Gehäusematerial, Oberflächenbehandlung, Elastomer, Flanschverbindung, Dichtungsmaterial, spezielle Abmessungen und spezielle Steueralgorithmen (adaptive, stationäre PI-Abfluss-/Weichpumpe) vereinfachen die Integration der Serie 61.6 in verschiedene Vakuumanwendungen.
Das HV-Steuerventil 61.6 ist aus hartem anodisiertem Aluminium oder Edelstahl und ist mit ISO-KF- und ISO-F-Flanschverbindungen ausgestattet. Kundenspezifische Flansche sowie spezielle Funktionen wie integrierte Heizung und Isolierung können integriert werden. FFKM/FKM-Elastomere sind auf Anfrage erhältlich (FKM ist Standard).
61.6 Hauptmerkmale der Hochdruck-Schmetterlingssteuerung und Isolierventile
Eigenschaften:
Druckregelung und Isolation
Sehr schnell laufen
Embedded Software für den lokalen Betrieb
Zuverlässiger Betrieb unter harten Prozessbedingungen
Vorteile:
Bessere Prozesskontrolle
Lange Betriebszeit / unbegrenzte Leistung
Niedrige Betriebskosten
Schweiz VAT61.6 - Hochvakuum-Schmetterlingsregel- und Trennventile
| Größe | DN 40 ('), DN 50 (2'), DN 63 ('), DN 80 (3'), DN 100 (4') |
|
|---|---|---|
| Laufwerk | Integrierter Controller mit Schrittmotor, feldorientierte Steuerung (foc) | |
| Ventilkörper Material | Hartes Aluminium oder Edelstahl | |
| Standard Frankreich | ISO-KF, ISO-F | |
| Leckage: Ventilkörper | Hartes Aluminiumoxid rostfreier Stahl |
< 1 × 10-5mbar Ls-1 < 1 × 10-9mbar Ls-1 |
| Leckage: Ventilsitz | Hartes Aluminiumoxid rostfreier Stahl |
< 1 × 10-4mbar Ls-1 < 1 × 10-9mbar Ls-1 |
| Druckbereich | Hartes Aluminiumoxid rostfreier Stahl |
< 1 × 10-6mbar 至 1.2 bar (abs) < 1 × 10-8mbar 至 1.2 bar (abs) |
| Anzahl der Schalter vor Wartung1) | Druckregelung Isolierung |
2 Millionen Mal. 250.000 Mal (DN 40-50) 100.000 Mal (DN 63-100) |
| Temperatur | Ventilkörper Steuerung |
≤ 120 °C Maximal 50 °C (empfohlen ≤35 °C) |
| Material | Aluminium-Ventilkörper/Ventilplatten Ventilkörper/Achsen aus Edelstahl |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1,4404 oder 1,4435) |
| Dichtung | Ventilplatte Zufuhrteile |
Fluor Gummi Fluor Gummi |
| Zufuhrteile | Rotationsspeiseleitung | |
| Installationsort | Ventilsitzseite in Richtung Kabine |
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