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Shanghai Maosuo Maschinenbau Co., Ltd.
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Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuumventil mit Schutzring
Wenn der Anteil der Nebenprodukte im Luftstrom hoch ist, können die sich bildenden Ablagerungen zu Ventilfehlern und ungeplanten Wartungsarbeiten führen. 09.1 Ein Hochvakuumventil mit Schutzring verhindert dieses Problem. Dank seiner speziellen Keilform mit Selbstreinigungsfunktion und seinem Schutzring kann das Hochvakuum-Torventil auch bei hohen Ablagerungen auf dem Ventilsitz reibungslos geöffnet und geschlossen werden. Aufgrund des keilförmigen Aufbaus der Ventilplatte werden die Ablagerungen speziell vom Ventilsitz oder der Schließverschluss abgeschoben, um stets eine zuverlässige Dichtung zu gewährleisten. Darüber hinaus verhindert der Schutzring die Ansammlung von Ablagerungen in der Platte, indem er das Gehäuse an der geöffneten Position des Ventils abdeckt. 09.1 Hochvakuum-Torventile können bei Druckdifferenzen von bis zu 1 bar funktionieren.
09.1 Hochvakuum-Gate-Ventile mit Schutzringen wurden in anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und beweisen ihre Zuverlässigkeit in Subwafer-Anwendungen. Es kann einfach in jede Anwendung integriert werden.
09.1 Hochvakuumventil mit Schutzring ist pneumatisch. Die Standardspannung des Steuerventils beträgt 24 VDC. Standard-Dichtungsmaterial ist Fluor-Gummi, andere Materialien können jedoch auf Anfrage verwendet werden. Darüber hinaus kann eine weiche Pumpfunktion integriert werden und zusätzliche Zugangspunkte für Messgeräte usw. hinzugefügt werden.
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09.1 Hochvakuumventile mit keilförmiger Konstruktion
09.2 Hochvakuumventil mit keilförmigem HV-Design
Eigenschaften:
Dank des keilförmigen Designs verfügt dieses Hochvakuumventil über eine Selbstreinigungsfunktion
Schutzkreise verhindern die Ansammlung von Ablagern
Das Ventil kann bei Druckdifferenzen von bis zu 1 bar geöffnet werden
Vorteile:
Ausgezeichnete Zuverlässigkeit unter extremen Bedingungen
Wartungszyklus verlängert
Niedrige Betriebskosten
Technische Parameter:
Größe |
DN 100mm (4') |
||
|---|---|---|---|
Laufwerk |
Pneumatische | Doppelwirkung | |
Ventilkörper Material |
rostfreier Stahl |
||
Zufuhrteile |
Wellenrohre |
||
Standard Frankreich |
ISO-F | ||
Leckrate |
Ventilkörper |
< 1 × 10-9mbar Ls-1 | |
| Ventilsitz | < 1 × 10-7mbar Ls-1 | ||
Druckbereich |
1 × 10-8mbar bis 1,2 bar (absoluter Druck) | ||
Ventilplatten können Druckdifferenzen standhalten |
≤ 1,2 bar | ||
Druckdifferenz beim Öffnen |
≤ 1 bar | ||
Anzahl der Schalter vor Wartung |
1000 mal | ||
Temperatur
|
Ventilkörper |
≤ 150 °C | |
Laufwerk |
≤ 100 °C | ||
Elektromagnetventile |
≤ 50 °C | ||
Positionsindikator |
≤ 70 °C | ||
Material |
Ventilkörper, Ventilplatten |
AISI 304 (1.4301) | |
Wellenrohre |
AISI 633 (AM350) | ||
Dichtung |
Ventildeckel, Ventilplatte |
Fluor-Gummi (Fluorelastomer enthaltend)
Optional:FFKM
|
|
Installationsort |
Jeder Ort |
||
Elektromagnetventile |
24 VDC, 1 W |
||
Positionsindikator: Kontaktwert |
Spannung |
24 VAC / Gleichstrom | |
Strom |
≤0.5 A | ||
Leistung |
Maximal 10 W |
||
| Gewicht | 20 kg / 44,1 Pfund | ||
Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuumventil mit Schutzring