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Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuumventil mit Schutzring

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Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuum-Türventile mit Schutzring$r$n09.1 Hochvakuum-Türventile mit Schutzring wurden in anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und beweisen ihre Zuverlässigkeit in Subwafer-Anwendungen. Es kann einfach in jede Anwendung integriert werden.

Produktdetails

Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuumventil mit Schutzring

Wenn der Anteil der Nebenprodukte im Luftstrom hoch ist, können die sich bildenden Ablagerungen zu Ventilfehlern und ungeplanten Wartungsarbeiten führen. 09.1 Ein Hochvakuumventil mit Schutzring verhindert dieses Problem. Dank seiner speziellen Keilform mit Selbstreinigungsfunktion und seinem Schutzring kann das Hochvakuum-Torventil auch bei hohen Ablagerungen auf dem Ventilsitz reibungslos geöffnet und geschlossen werden. Aufgrund des keilförmigen Aufbaus der Ventilplatte werden die Ablagerungen speziell vom Ventilsitz oder der Schließverschluss abgeschoben, um stets eine zuverlässige Dichtung zu gewährleisten. Darüber hinaus verhindert der Schutzring die Ansammlung von Ablagerungen in der Platte, indem er das Gehäuse an der geöffneten Position des Ventils abdeckt. 09.1 Hochvakuum-Torventile können bei Druckdifferenzen von bis zu 1 bar funktionieren.

09.1 Hochvakuum-Gate-Ventile mit Schutzringen wurden in anspruchsvollen Anwendungen unter verschiedenen Prozessbedingungen installiert und beweisen ihre Zuverlässigkeit in Subwafer-Anwendungen. Es kann einfach in jede Anwendung integriert werden.

09.1 Hochvakuumventil mit Schutzring ist pneumatisch. Die Standardspannung des Steuerventils beträgt 24 VDC. Standard-Dichtungsmaterial ist Fluor-Gummi, andere Materialien können jedoch auf Anfrage verwendet werden. Darüber hinaus kann eine weiche Pumpfunktion integriert werden und zusätzliche Zugangspunkte für Messgeräte usw. hinzugefügt werden.

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Eigenschaften:

    • Dank des keilförmigen Designs verfügt dieses Hochvakuumventil über eine Selbstreinigungsfunktion

    • Schutzkreise verhindern die Ansammlung von Ablagern

    • Das Ventil kann bei Druckdifferenzen von bis zu 1 bar geöffnet werden

Vorteile:

    • Ausgezeichnete Zuverlässigkeit unter extremen Bedingungen

    • Wartungszyklus verlängert

    • Niedrige Betriebskosten

Technische Parameter:

Größe

DN 100mm (4')
Laufwerk
Pneumatische Doppelwirkung
Ventilkörper Material

rostfreier Stahl
Zufuhrteile

Wellenrohre
Standard Frankreich

ISO-F
Leckrate
Ventilkörper
< 1 × 10-9mbar Ls-1
Ventilsitz < 1 × 10-7mbar Ls-1
Druckbereich

1 × 10-8mbar bis 1,2 bar (absoluter Druck)
Ventilplatten können Druckdifferenzen standhalten

≤ 1,2 bar
Druckdifferenz beim Öffnen

≤ 1 bar
Anzahl der Schalter vor Wartung

1000 mal
Temperatur
Ventilkörper
≤ 150 °C
Laufwerk
≤ 100 °C
Elektromagnetventile
≤ 50 °C
Positionsindikator
≤ 70 °C
Material
Ventilkörper, Ventilplatten
AISI 304 (1.4301)

Wellenrohre

AISI 633 (AM350)
Dichtung
Ventildeckel, Ventilplatte
Fluor-Gummi (Fluorelastomer enthaltend)
Optional:FFKM
Installationsort

Jeder Ort
Elektromagnetventile

24 VDC, 1 W
Positionsindikator: Kontaktwert
Spannung
24 VAC / Gleichstrom
Strom
≤0.5 A
Leistung
Maximal 10 W
Gewicht
20 kg / 44,1 Pfund

Schweizer MwSt.-09.1 - Hochvakuumventil mit Schutzring