Stufenhöhenmessung

Stufenhöhenmessung

In vielen High-Tech-Anwendungen ist eine genaue und wiederholbare Messung der Stufenhöhe erforderlich. Taylor Hobson bietet zahlreiche Instrumente an, die speziell für diese hohen Anforderungen an die Messung von Stufenhöhen entwickelt wurden. Die Stufenhöhe reicht zwischen Subnanometer und Millimeter und die Wiederholbarkeit liegt unter 0,1 Nanometer.

Messung

Dreidimensionale Treppenhöhe
Geben Sie einen Höhenunterschied für zwei Ebenen, die von zwei Bereichen auf der Oberfläche definiert sind. ** Gebiete sind als Referenzbereich definiert, und die Software passt die Ebene des kleinen Zweifaches* in diesem Bereich an. Anschließend wird die zweite Ebene gemessen. Gleichzeitig werden die durchschnittlichen Stufenhöhen, * große und * kleine Höhen sowie die Winkelunterschiede gemessen.

2D Treppenhöhe
Bereitstellung einer Stufenhöhenmessung für einfache Geometrien wie Ätzlinien oder Rechteckbereiche. Bei Randbelichtung kann auch die 2D-Stufenhöhe zur Dickenmessung verwendet werden.

ISO 5436-1 Stufenhöhe
Bei Versuchen, die von verschiedenen Messgeräten durchgeführten Stufenhöhenmessungen zu vergleichen, ist es wichtig, die Messung nach Standard-Messmethoden durchzuführen. ISO 5436-1 bietet eine international anerkannte Methode zur Stufenhöhenmessung. Alle oben genannten Geräte unterstützen diesen Standard.