Siliziumchip-Gaserfassungseinrichtung

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Siliziumchip-Gaserfassungseinrichtung

Produktdetails

Produkteinführung

• Zur Erfassung flüchtiger Bestandteile (organischer Schadstoffe) auf 8-Zoll- und 6-Zoll-Siliziumchipoberflächen. (SW-8400)
・Zur Erfassung flüchtiger Bestandteile (organischer Schadstoffe) auf 12-Zoll-Siliziumchipoberflächen. (SW-12400)
Einseitige Siliziumchip flüchtige Gase erfassen, einfache Bedienung.
· Der Heizofen verwendet die Umkehrverspannung und nimmt nur die Probenahme von Gasen, die von der Chip-Front erzeugt werden.

Der Heizofen kann bis zu 500 ° C erhitzt werden.
· Die Abdichtung des Heizofens wird mit einem O-Ring (Polyaminmaterial) dichtet, ohne Leckage.
In der Regel wird das Gas mit PAT (Volumen 10 ml, 2,5 g Tenax GR gefüllt) erfasst. Die Probenahme kann auch mit entsprechenden Probenaufnahmerohren anderer Hersteller erfolgen.

· Ausgestattet mit Kühlwasserzirkulationseinrichtung.
· Ausgestattet mit Überhitzungsschutzeinrichtungen, Verriegelungssicherheitseinrichtungen, Notstandsknopfen, Lecksensoren (optional) und anderen Sicherheitseinrichtungen.

Technische Parameter

Methode	Umkehrweise
Erfassung der Siliziumchipgröße	8" oder 6", unter 5" ist ein Erweiterungsring erforderlich (Typ 12400, 12")
O-Ring	Dichtungsdurchmesser 220mm (Polyamid)
Quarzbeheizungsofen	Transparentes Quarzmaterial
Methode der Heizung des Ofens	Ober- und Bodenplatte unabhängige Heizung
Heizungstemperatur des Ofens	Allgemein verwendet 400 °C (bis zu 500 °C)
Ofenkühlung	Kühlwasserzirkulationsanlage
Isolierrohre	Innere Oberflächeninertisierung
Blasen Sie Gas	Normalerweise mit Stickstoff, maximaler Durchfluss 500ml / min
Überhitzungsschutz	Strom 15A, Induktionsstrom 30mA
Notstandsknopf	Rot, Pilz
Sicherheitseinrichtungen	Vernetzung Struktur
Druckmethode	Motorantrieb
Gerätegröße	1140(W)×1106(H)×750(D)mm
Gewicht	280Kg
Stromversorgung	Einphasen AC200V, 15A, AC100V, 20A
Standardbeilage:
PAT (Absorptionsrohr der ersten Stufe):	2 (nicht kompatibel mit anderen Firmen)
Die PAT	1 (nicht kompatibel mit anderen Firmen)
PAT-Adapter	1 (für den Einsatz mit anderen Firmen)
O-Ring	Zwei
Kühlwasserzirkulationsanlage	1 Stück (mit Standardleitung)
Isolierrohre	1 Stück
Gasversorgung	1 Set (1/16"-1/8")
Kabel	1 Set
Werkzeuge	1 Set
Bedienungsanleitung	1 Buch

* Bitte fragen Sie nach den technischen Spezifikationen des Typs SW-12400.

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