Shanghai PECVD Plasma zur Verbesserung der Gasphase Ablagerung

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PECVD-Plasma-Verstärkte Gasphase-Ablagerung ist eine 1200 ° C Plasma-Verstärkte Hybrid-Physikalisch-Chemische Gasphase-Ablagerung (HPCVD) Dual-Temperatur-Zone-Rotatorsystem-Quelle (mit automatischer Abgleichfunktion), ein Upstream-In-situ-Verdampfungsschiff, ein 4-Kanal-Protonendurchflussmessersteuerungssystem und eine leistungsstarke Vakuumpumpe. Dies erfolgt durch die Wärmebehandlung von anorganischem Composite-Pulver und eine gleichmäßige Beschichtung der Pulveroberfläche (z.B. Herstellung von Leitbeschichtungen für Lithium-Ionen-Batterie-Katodenpulver usw.).

Produktdetails

PECVD Plasma verbessert chemische GasabscheidungEs ist eine CVD-Technologie, die Plasma verwendet, um die Gasreaktion zu fördern. Zu den Merkmalen gehören:

1, Tieftemperaturablagerung: PECVD kann bei niedrigeren Substratstemperaturen durchgeführt werden, da die durch das Plasma bereitgestellte Energie die Gasreaktion fördern kann und die Nachfrage nach Ablagerungstemperaturen verringert.

Hohe Ablagerungsgeschwindigkeit: Das Plasma erhöht die Gasreaktionsgeschwindigkeit und verbessert somit die Ablagerungsgeschwindigkeit der Dünnfilm.

Gute Filmqualität: PECVD-Ablagerungsfilm hat in der Regel eine bessere Gleichmäßigkeit und eine niedrigere Defektdichte und eignet sich für Anwendungen, die eine hochwertige Folie erfordern.

4, starke Anpassungsfähigkeit: Sie können eine Vielzahl von Materialien absetzen, einschließlich Oxide, Stickstoffe und Fluoride, die in Bereichen wie Halbleiter, Photoelektrische Geräte und Schutzbeschichtungen weit verbreitet sind.

Gute Kontrolle: Durch die Anpassung der Parameter des Plasmas (wie Leistung, Gasfluss und Druck) können die Zusammensetzung und Eigenschaften des Films genau kontrolliert werden.

Parameter des Heizofens

▪ Maximale Temperatur: 1200ºC (<30min), kontinuierliche Arbeitstemperatur: 1100 ° C;

▪ Zwei PID-Temperaturregler und 30 programmierbares Temperaturregelsystem;

▪ Eingangsleistung: 208-240V, einphasige, maximale Leistung: 2,5KW;

▪ Hochreine Aluminiumfaser-Isolationsschichten können den Energieverbrauch minimieren;

▪ Rotationsgeschwindigkeit: 2-10 rpm;

▪ Der Ofenkörper ist offen gestaltet, um eine schnelle Abkühlung der Probe zu erreichen und das Ofenrohr einfach zu ersetzen.

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