Sensofar Kofokussmikroskop

Der Kern des Sensofar Kofokusmikroskops basiert auf dem Kofokusprinzip, das es ermöglicht, eine vertikale Auflösung zu erreichen und die Fähigkeit, strahlendes Licht zu unterdrücken. Sensofar kann die Höhe der Z-Achse jedes Messpunkts genau bestimmen und schließlich die wahre dreidimensionale Form der Probenoberfläche rekonstruieren.

Die zentrale Positionierung des Sensofar Kofokussmikroskops ist ein kontaktloses 3D-optisches Oberflächenkontimeter. Es ist nicht nur ein Mikroskop, sondern ein hochpräzises Messgerät. Sein bemerkenswertes Merkmal ist die Integration mehrerer optischer Messtechnologien, so dass der Anwender nahtlos den am besten geeigneten Messmodus auf demselben Gerät umschalten kann, um genaue Daten zu erhalten. Das neue Sensofar Kofokussmikroskop S neox übertrifft bestehende optische 3D-Profilmesser in Leistung, Funktionalität, Effizienz und Design und ist die neue Generation von Kofokussmikroskopmesssystemen.

Erstaunliche Messgeschwindigkeit

Erstaunliche Messgeschwindigkeiten durch neue intelligente und eigene Algorithmen sowie neue Kameras. Datenerfassungsgeschwindigkeiten von bis zu 180 fps. Die Standardmessung ist fünfmal schneller als zuvor. Das neue Sensofar Kofokussmikroskop S neox ist das schnellste Oberflächenmesssystem auf dem Markt.

einfach zu bedienen

Sensofar ist bestrebt, seinen Kunden das unglaublichste Erlebnis zu bieten. Mit der Einführung des S neox Kofokussmikroskopsystems der fünften Generation wollen wir es benutzerfreundlich, intuitiv und schneller machen. Selbst Anfänger können die Messungen mit nur einem Klick bedienen. Modular entwickelte Software, die das System an die vielfältigen Anforderungen der Benutzer anpasst.

Qualitätsmanagement

Umfangreiche Automatisierungsmodule für einfache Qualität

Mengenkontrolle. Von der Bedienerzugriffssteuerung über Messprogrammspeicher über Kompatibilität bis hin zu Barcode-/QR-Lesegeräten und maßgeschneiderten Plugins in unserer proprietären SensoPRO-Software können Analyseberichte automatisch erstellt werden. Unsere optimierten Lösungen für die Arbeit in einer QC-Umgebung verfügen über eine flexible und benutzerfreundliche Schnittstelle, die programmierbar ist und rund um die Uhr funktioniert.

Forschung und Entwicklung

Der 3-in-1-Ansatz von Sensofar: Mit nur einem Klick wechselt das System in den Scanmodus, der für die aktuelle Messaufgabe geeignet ist. Die Konfiguration von drei Messtechnologien im S neox-Sensorkopf – Kofokussierung, Interferenz und Ai Multi-Focal-Overlay – leistet einen wichtigen Beitrag zur Vielseitigkeit des Systems und trägt dazu bei, den Lärm bei der Datenerfassung sehr effektiv zu reduzieren. S neox ist ideal für alle Laborumgebungen und bietet ein breites Anwendungsspektrum.

Ai Multifokusüberlagerung NEW!

Active Lighting Multifocal Surface Overlay ist eine optische Technik, die zur Messung großer rauer Oberflächenformen entwickelt wurde. Diese Technologie basiert auf Sensofars umfassendem Know-how in den Bereichen Kofokuss- und Interferenz-3D-Messungen und wurde speziell für die Ergänzung von Messungen mit geringer Verstärkung entwickelt. Durch die aktive Beleuchtung können zuverlässigere Messdaten auch auf optisch glatten Oberflächen erzielt werden. Zu den Highlights dieser Technologie gehören hohe Neigungsflächen (bis zu 86°), schnellere Geschwindigkeiten (mm/s) und größere vertikale Messbereiche.

Gemeinsamer Fokus

Das Cofocal Profilometer wurde entwickelt, um die Oberflächenhöhe von glatten bis zu sehr rauen Oberflächen zu messen. Die konfokusierten Konturen bieten eine bessere horizontale Auflösung mit einer horizontalen Auflösung von bis zu 0,14 μm und eine Reduzierung der räumlichen Probenahme auf 0,01 μm, was die ideale Wahl für kritische Dimensionsmessungen ist. Objektive mit bis zu NA (0,95) und Vergrößerungen (150X) können zur Messung glatter Oberflächen mit lokalen Neigungen über 70° verwendet werden. Bei rauen Oberflächen sind 86° zulässig. Der eigene Kofokus-Algorithmus bietet vertikale Wiederholbarkeit auf Nanoskala.

Intervention

Optische Interferenz ist ein Phänomen, das zwei reflektierte Lichtstrahlen, die auf dem Referenzspiegel und der Probe erzeugt werden, bei einer Nullstreckendifferenz interferieren, um ein dreidimensionales Interferenzdiagramm (Interferenzdiagramm) zu erzeugen, das Informationen über die Oberflächenformation der Probe enthält. Verschiedene Variationen dieser Methode können für spezifische Anwendungen verwendet werden.

Folie

Die Dünnfilmmesstechnik ermöglicht die schnelle, genaue und zerstörungsfreie Messung der Dicke der optischen transparenten Schicht ohne Probenvorbereitung. Das System erfasst das Reflexionsspektrum der Probe im sichtbaren Lichtbereich und vergleicht es mit dem von der Software berechneten analogen Spektrum, um genau die passende Dicke zu finden. Transparente Membrane von 50 nm bis 1,5 μm können in weniger als einer Sekunde gemessen werden. Die Messung des Flecks hängt von der Vergrößerungsrate des Objektivs ab und reicht von 0,5 μm bis 40 μm.

Vorteile der LED-Lichtquelle

Die Verwendung von LED als Lichtquelle hat mehr Vorteile als die Verwendung von Lasern. Zunächst kann eine LED-Lichtquelle das Auftreten von Laserlichtquellen vermeiden. Die zweite LED-Lichtquelle hat eine Lebensdauer von etwa 50.000 Stunden (etwa 25 Mal so lange wie der Laser). Vor allem bedeutet mehrere LEDs, dass die richtige Wellenlänge entsprechend den Bedürfnissen der Probe ausgewählt werden kann.

Jeder SNEOX wurde entwickelt, um genaue und rückverfolgbare Messungen zu ermöglichen. Unsere Geräte werden mit nachverfolgbaren Standardblöcken korrigiert, die den Normen Part 700 und Part 600 nach ISO 25178 entsprechen. Alle Indikatoren, einschließlich der Höhe- und Horizontalgenauigkeit, der Ebenenabweichung, der Systemauflösung usw., werden zur Messung solcher Standardblöcke ermittelt. Wir stellen fest, dass alle Messgeräte nach diesem Standard ausgeführt werden.

SNEOX wird vor der Fertigstellung mit gemessenen, nachverfolgbaren Standardblöcken korrigiert und vor der Fertigstellung überprüft. Gleichzeitig fügt SENSOFAR einen Prüfbericht über die Präzision und Wiederholbarkeit der Messungen mit dem Gerät zusammen.

ISO-Normen

Hohe Auflösung

Die vertikale Auflösung wird durch das Instrumentgeräusch begrenzt, das für die Interferenzmessung fix ist, aber die kofokurale Messung hängt von der numerischen Apertur ab. Die proprietären Algorithmen von Sensofar liefern Systemgeräusche im Nanoskala für die Messtechnik mit einer besseren horizontalen Auflösung für optische Instrumente. Die gezeigte Form ist eine subnano (0,3 nm) Atomschicht. geliefert von PTB.

DIC Beobachten

Differenzielle Interferenz (DIC) wird verwendet, um sehr kleine Höhenmerkmale zu betonen, die bei normalen Beobachtungen keinen Kontrast aufweisen. Durch die Verwendung des Nomarski-Prismas wurde ein interferierendes Bild erzeugt, das Sub-Nanostrukturen löst, die in klaren Sichtfeldern oder Kofokussbildern nicht sichtbar sind.

Sensoafar Kofokusmikroskop S neox Softwaresystem SENSOSCAN

Führungssystem

SensoSCAN

Die Software treibt das System über eine klare, intuitive und benutzerfreundliche Schnittstelle an.

Die Benutzer werden durch die 3D-Umgebung geführt, um eine gute Benutzererfahrung zu erzielen.

Beispielnavigation

Übersichtswerkzeuge, die den Benutzern helfen, Proben während der Messvorbereitung zu überprüfen, den Messort vor der Entnahme zu überprüfen und Prozesse zu automatisieren. Halten Sie den Testfortschritt auf dem Laufenden und erleichtern Sie die Messung mit hoher Vergrößerung.

Automatische 3D-Funktionen

Wählen Sie 3D-Automatisierung, SensoSCAN-Software

Die richtige Beleuchtung und der richtige Messbereich werden automatisch festgelegt.

Führen Sie dann den gewählten Messtyp aus. So können Sie in wenigen Sekunden qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielen.

Analyse und Berichterstattung

Sie können auch Analysevorlagen erstellen, um vorgegebene Filter- und Bedienerkonfigurationen auf wiederholte Messungen anzuwenden.

Schließlich erstellen Sie für jede Messung einen klaren und strukturierten Bericht mit 3D-Daten, 2D-Konturen und allen ISO-Parametern.

Automatisierungsprogrammmodul

Mit den automatisierten Messmodulen können Kunden eine maßgeschneiderte Programmierung erleichtern, um die Ziele des Qualitätsmanagements und der Prüfung zu erreichen. Setzen Sie die Koordinaten der Messpunkte manuell oder importieren Sie die Koordinatendatei, setzen Sie das Messprogramm für jede Koordinate oder jede Menge ein, setzen Sie die automatische Bilderkennung der Gegenpunkte ein und definieren Sie schließlich den Toleranzbereich und das Format der Berichtsausgabe.

Mehrpunktprogrammierte Messung

SNEOX hat eine völlig neue Programmiermethode entwickelt. Durch die automatische Identifizierung derselben Struktur oder Produkttyp repliziert das Programm Messpunkte und -verfahren an derselben Stelle. Dadurch wird die Programmiereffizienz erheblich verbessert und die Programmierzeit des Personals eingespart.

Automatische Ortserkennung

Vollautomatisierte Messungen ohne menschliches Eingreifen werden durch die automatische Erkennung von Standorten und die automatische Positionskorrektur durch Bilder ermöglicht. Der ursprüngliche Desktop, der manuell geprüft wurde, wird zu einem halbautomatischen Prüfgerät verwandelt, das automatisch messen und berichten kann, sobald die Plätze manuell aufgelegt wurden. Die Funktion der automatischen Standorterkennung ist auch eine notwendige Funktion von Offline-Probegeräten für Industrie 4.0.

Höchst erreichbar

500 Mpx

Erweiterte Messmodule

Das erweiterte Messmodul von SensoSCAN ermöglicht es dem Anwender, das Messlayout auf der Oberfläche durch Übersichtsbilder zu definieren. Der Messbereich kann automatisch auf gewünschte rechteckige, runde oder ringförmige Bereiche geschnitten werden. Geeignet für große Flächenmessungen bis zu 500 Mio. Pixel. Bereitstellen Sie eine Vielzahl von Scanstrategien, wie zum Beispiel die automatische Fokussierung auf jedes Sichtfeld oder die Fokussierungsverfolgung, um den vertikalen Scanbereich zu minimieren.

Leistungsstarke Analysesoftware

Die interaktiven 3D- und 2D-Ansichten bieten eine Vielzahl von Proportionen, Anzeige und Rendering-Optionen. Komplettes Werkzeugpaket zur Vorprüfung und Analyse von 3D- oder 2D-Messungen. Messung von kritischen Abmessungen, Winkeln, Abständen und Durchmessern und Hervorhebung von Merkmalen mit neuen Kommentarwerkzeugen.

Schnelle Qualitätskontrolle

Eine schnelle Qualitätskontrolle an der Produktionslinie war noch nie so einfach. Dank SensoPRO kann der Produktionslinienbetreiber einfach Proben laden und den Anweisungen folgen. Plugin-basierte Datenanalyse-Algorithmen bieten ein hohes Maß an Flexibilität. Die neuen Module können einfach auf die Anforderungen anderer Branchen angepasst werden.

Fortgeschrittene Analysesoftware

SensoMAP ist ein leistungsstarkes Analyse- und Berichtswerkzeug, das auf der Mountains-Technologie von Digital Surf basiert. Die SensoMAP-Software ist modular gestaltet, um den Kundenanforderungen gerecht zu werden. SensoMAP bietet zwei Ebenen (Standard und fortgeschritten) und mehrere Module (2D-, 3D- oder 4D-Module, fortgeschrittene Konturen, Partikel und Partikel, Statistik und Spleicing).