Spektralellipsometer SE-VF

I. Übersicht

SE-mein spezielles Spektralellipsometer für die Messung von Mikrozonen-Grafik-Strukturen, das auf die Halbleiterindustrie zugeschnitten ist,Seine Annahme1 Ultrakleine Mikroflecken-Detektion-Messtechnik， 2 Individuelle ultraschnelle MessgeschwindigkeitenTechnikTransparent anwendbarDie n/k/d-Messung von dünnen Filmen wie Reflexion-Reduktionsfilmen und Leitfolien auf verschiedenen Substraten eignet sich für die Analyse verschiedener optischer Parameter in Mikrozonengrafiken.

2. Besondere Funktionen

• Anpassbare Fleckgröße, bis zu 30um;

• Ultraschnelle Messung mit einer einzelnen Messzeit von weniger als 0,5 Sekunden;

■ Flexible Serienkonfiguration, Unterstützung für funktionale maßgeschneiderte Konstruktion;

■Kompakte Konstruktion für integrierte Online-Messungen.

III. Messbeispiele

Mikrozonale grafische Strukturmessung

4. Anwendungsszenarien

Verwendet für die Messung optischer Konstanten, geeignet für eine Vielzahl von Beschichtungserprüfungsanwendungen wie optische Folien.