Schnelle Erkennung von Folien und Oberflächen mit Referenzspektrometer

Accurion RSESpektrale Referenzeliptometer

Spektrale Referenzelipsometer (RSE) für die Hochgeschwindigkeitsdickenmapping in der Qualitätskontrolle. Es kann genau 0,1 nm bis 10 & micro; Die Dicke von M. Durch die Aufzeichnung von 200 vollständigen Spektren pro Sekunde können Gebiete von 100 mm x 100 mm in 12 Minuten untersucht werden und 67.000 Spektren gleichzeitig erhalten werden.

RSE ist eine spezielle Art von Ellipsometer, das eine elliptische Analyse einer gemessenen Probe durchführt, indem es die Unterschiede zwischen Referenzproben und gemessenen Proben vergleicht. Es gibt keine optischen Komponenten, die während der Messung gedreht oder moduliert werden müssen, und vollständige, hochauflösende Spektralelliptikdaten können in einer einzigen Messung erhalten werden. Normalerweise können 200 Spektralelliptikdaten pro Sekunde erfasst werden. Durch den automatischen 2D-Probenstand mit synchronisierter X/Y kann in wenigen Minuten eine dünne Foliendickenverteilung großflächiger Proben gemessen werden. Da das Referenzkompensationssystem immer noch ein Elliptikprinzip ist, müssen die Messdaten an das optische Modell angepasst werden, um optische Parameter wie Brechungsgrad und Filmdicke zu erhalten. Um eine hohe Datenverarbeitungsgeschwindigkeit zu erreichen, wurde eine Findtabellenanpassung realisiert. Vor der Messung wird eine Suchtabelle berechnet. Die Messdaten können dann in Echtzeit und in hoher Auflösung angepasst werden.

Hauptfunktionen:

• "Einmalige" Referenzspektralelliptische Messung

• 200 Vollspektrumelliptische Daten pro Sekunde

• Echtzeit-Datenverarbeitung zur Beurteilung der Filmdicke

• Flächengröße: Mikroflecken mit 50 x 100um (Eintrittswinkel = 60°)

• Filmdickenmessbereich: <1nm ~ 10um

• Spektralbereich: 450-900 nm

Anwendung:

• Wafer-Detektion

• Schadstoffprüfung

• Ultradünne Folien- und Zwischenschichtdicke

• Dünne Schicht auf transparentem Substrat

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