RTP Maschinentemperometer EX-ET-222

Hauptmerkmale

Detaillierte Beschreibung

Als Pionier in der Edelmetall-Thermoelementbranche mit mehr als 30 Jahren setzt BASF sein Fachwissen in der Temperaturmesstechnik auf die optische Temperaturmessung ein. BASF Exactus ® Infrarot-Temperatursensoren haben einen technischen Durchbruch erzielt und bei der berührungslosen Temperaturmessung erhebliche Leistungsvorteile gezeigt. Die empfindliche Elektronik, die Präzisionsoptik und die Fähigkeit, Tieftemperaturen mit kurzen Wellenlängen zu messen, sorgen für eine strengere, genauere und bessere Gesamtleistung im Vergleich zu anderen ähnlichen Produkten.

RTP Maschinentemperometer EX-ET-222von BASF Exactus ® Die Serie bietet viele Vorteile bei der Kontrolle der Gleichmäßigkeit der Temperatur und der Filmdicke zwischen Wafern: Die hochempfindliche Elektronik und die fortschrittliche Optik ermöglichen die Messung der Strahlenergie mit kürzeren Wellenlängen, was Fehler durch Wafer-Transmission und Emissivität reduziert. Darüber hinaus gewährleisten die hohen Geschwindigkeitsmessungen und die hohe Auflösung eine hervorragende Leistung bei der Kontrolle der Temperatur und der Geräuschdämpfung, was eine bessere Wafer-Temperaturüberwachung und einen besseren Produktionsprozess ermöglicht.

RTP Maschinentemperometer EX-ET-222Mit einer Sensordirektverbindung von ca. 900 nm in Kombination mit mehrkanaligem IFM10-EC können bis zu 10 Echtzeitmessungen und -aufzeichnungen mit einem Temperaturbereich von 250-1300 ° C, einer Genauigkeit von bis zu 1,5 ° C und einer Wiederholbarkeit von 0,1 ° C erreicht werden. Anpassbar an das RTP-Temperaturmesssystem von AMAT.

BASF Exactus ® Die Infrarot-Temperaturmessgeräte der Serie werden weit verbreitet in Halbleiterprozessen wie Schnellbrennen, Schnelle Oxidation und Dünnfilmabscheidung und sind in mehrere MOCVD-Geräte sowie andere RTP-Geräte wie AIXTRON, LPE, Premtek, AMAT usw. integriert. Aufgrund seiner hohen Temperaturgenauigkeit und Stabilität wird er auch von einigen Herstellern von Hochtemperatur-Schwarzofen als Temperaturnormalisator verwendet, wie Thermogauge.

Typische Anwendung

technische Parameter