ROHS Metallkomponentenanalysator

　　ROHS Metallkomponentenanalysator(SXES: Soft X-Ray Emission Spectrometer) ermöglicht eine hohe Energieauflösung durch die Kombination eines neu entwickelten Diffraktionsrasters mit einer hochempfindlichen Röntgen-CCD-Kamera.

Wie EDS kann parallel detektiert werden und mit einer hohen Energieauflösung von 0,3 eV (Al-L-Benchmark am Fermi-Rand) analysiert werden, die die Energieauflösung des WDS übertrifft.

　　ROHS MetallkomponentenanalysatorSystembeschreibung: Das neu entwickelte Spektralsystem ermöglicht die gleichzeitige Erfassung verschiedener Energien ohne die Bewegung eines Diffraktionsrasters oder eines Detektors (CCD). Aufgrund der hohen Energieauflösung können auch Zustandsanalysen aufgenommen werden.

SXES, WDS, EDS Vergleich von Spektren von Titannitrid Proben in verschiedenen Spektrologiemethoden

Selbst bei der WDS-Analyse überlappen sich die Spektrospikel von Titannitrid und erfordern eine mathematische Methode der Dekonvolution. Wie in der folgenden Abbildung gezeigt, hat SXES eine hohe Energieauflösung.

　　Vergleichstabelle

Eigenschaften	SXES	EPMA(WDS)	EDS
Auflösung	0,3 eV (in der Nähe von Al-L)	8 eV ( FWHM@Fe-K ）	120 bis 130 eV ( FWHM@Mn-K ）
Analyse des chemischen Bindungszustands	kann	Ja (hauptsächlich leichte Elemente)	nicht erlaubt
Parallele Prüfung	kann	nicht erlaubt (Allerdings im Bereich der Anzahl der Spektrometer)	kann
Spektralkristalle und Detektoren	Diffraktionsraster + CCD	Spektralkristall + positive Zählröhr	SDD
Detektorkühlung	Perther Kühlung	Nicht nötig.	Perther Kühlung
Messgrenzen (mit B als Referenzwert)	20 ppm	100 ppm	5000ppm

Analysebeispiel für Lithium-Ionen-Sekundärbatterien (LIB)

Die Aufladung von LIB kann beobachtet werden.

　　Spektrum von Li-K-Proben nach vollem Aufladen

Beschreibung: Aus theoretischen Gründen ist die Detektion von Lithiumoxid schwierig

Testbeispiele für leichte Elemente

Beispiele für den SXES-Test von Kohlenstoffverbindungen

Unterschiede zwischen Diamanten, Graphit und Polymeren können getestet werden.

Testbeispiele für verschiedene Stickstoffverbindungen Stickstoff kann auch den chemischen Bindungszustand basierend auf der Wellenform analysiert werden. Die Wellenformen von Nitraten und Nitrididen unterscheiden sich, und die Wellenformen von Ammoniumsalzen, die anfällig für Elektronenstrahlschäden sind, können beobachtet werden.