Prozess Ozonanalysator Halbleiter Trockenreinigungsanlagen

Prozess Ozonanalysator Halbleiter TrockenreinigungsanlagenEin Gasdetektionsmodul zur Messung hoher Ozonkonzentrationen zur Messung der Ozonkonzentrationen in industriellen Prozessen. Basierend auf dem Prinzip der UV-Spektralabsorption, verwenden Sie die Größe des Ozongases für die spezifische UV-Absorptionskraft, um den Zweck der Ozonkonzentrationsprüfung zu erreichen, verwenden Sie die hochdruckbeständige Prüfkammerstruktur und das thermostatische Steuerungsdesign mit Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Anwendungsbereiche

Dieses Instrument wird hauptsächlich zur Messung der gasförmigen Ozonkonzentration verwendet, die bei der Herstellung von Halbleiterchips, der Wasseraufbereitung und der Ozonforschung entsteht.0-400mg / L。

Spezielle ProduktePunkt
①hohe Stabilität;

②Verwendung eines automatisierten Steuersystems;

③Design von hochreinen Kontaktmaterialien;

④Temperatur, Druck、LichtquelleEchtzeitAusgleichDatenstabilität in unterschiedlichen Umgebungen;

⑤Die geradlinige Konstruktion des Luftweges erleichtert die Installation des Produkts;

⑥Der Dichtring besteht aus Perfluorether-Material und ist widerstandsfähiger gegen Ozonkorrosion.

Prozess Ozonanalysator Halbleiter TrockenreinigungsanlagenTechnikParameter
Menge Programm:0-400 mg / L
Gut Grad：1 % F.S.
schwer WiederholungGeschlecht：1 % F.S.

Null Drift Verschieben:1% F.S / Monat
Reaktionszeit：2 Sekunden bis 95%

Gasfluss:0,5-25L/min

Druckbereich:0-115psi
Simulative Ausgabe：0-5V

Serielle Kommunikation:RS485， Portrate 9600bps

Stromeingang:15 V

fangen 口：316L Edelstahl 1/4VCR Anschluss

Vorwärmzeit:15 Minuten

Betriebstemperatur:5～45℃

Standardtemperatur:0℃
Fuß Zoll:170*55*134.9mm
schwer Menge:1.1k