Mit seiner 60-jährigen Geschichte der technologischen Innovation und seiner Branchenführerschaft wurde FEI zum DualBeam für Transmittionselektronenmikroskope (TEM), Scan-Elektronenmikroskope (SEM) und die Integration von SEM und fokussierten Ionenstrahlen (FIB). ™ Instrumente und Leistungsstandards für spezielle fokussierte Ionenstrahlinstrumente für Präzisionsschneiden und -bearbeitung mit hoher Geschwindigkeit. Das FEI-Bildgebungssystem ermöglicht eine Auflösung auf der Ebene AE (E: Zehntel eines Nanometers) im Bereich der dreidimensionalen Charakterisierung, Analyse und Modifizierung/Prototypierung.

Prisma &Prisma EXMultifunktionale Umgebung Vakuum Wolfram Draht Analyse Scan Elektronenmikroskop
- Ein wirklich vielseitiges Labor-Scan-Elektronenmikroskop mit SEM-Wolframmdrahten mit voller Leistung und einfacher Bedienung
- Ein einzigartiges ESEM ™ Umweltvakuummodus
- Hochvakuum, Niedervakuum und ESEM ™ Umweltvakuum Drei Vakuummodi, geeignet für die Analyse der breitesten Proben, die Probenbereich umfasst leitfähiges Material, nicht leitfähiges Material, Entgasung, unbeschickte oder andere Proben, die nicht für Vakuum geeignet sind.
- Eine Reihe integrierter Echtzeit-Analysesoftware für dynamische experimentelle Prüfanalysen.
- Niedervakuum- und ESEM-Umgebungsvakuum zur Prüfung von nicht leitenden Materialien und Steuerproben
- Die In-situ-Funktion ermöglicht zuverlässige Analyseergebnisse auch bei isolierten oder hochtemperaturigen Proben.
- Die Kamera mit Navigation und SmartScanTM unterstützt Voreinstellungen vor dem Scannen und verbessert die Produktivität, die Datenqualität und die Erfüllung höherer Anforderungen.
- In situ Analyse im Temperaturbereich von -165°C bis 1400°C
- Beschleunigungsspannung: 200 V - 30 kV
- Elektronische Vergrößerung: 6x – 1.000.000x (kann vier Bilder gleichzeitig erfassen und anzeigen)
- Detektor: Everhart-Thomley Sekundärelektronendetektor (E-T SED) Niedervakuum SE-Detektor (LVD); ESEM Environmental Vacuum Mode Gas Secondary Electronic Detector (GESD) Probekammer Infrarot CCD Kamera
- Vakuumsystem: 1 250 L / s Turbomolekularpumpe, 1 drehende mechanische Pumpe; Patentiertes Druckdifferentialvakuumsystem "durch die Linse"; Abgasszeit ≤3.5min zu Hochvakuum, ≤4.5min zu ESEM Vakuum / niedriges Vakuum; Optionale CryoCleaner-Kältefalle; Optionales Upgrade auf ölfreie Wälz-/Trocken-PVPs
- Probenraum:
Innendurchmesser 340 mm
Analysearbeitsabstand 10 mm
o 12 Zubehör-Schnittstellen
o EDS-Erfassungswinkel: 35°
高真空模式
- 3,0 nm bei 30 kV (SE)
- 4,0 nm bei 30 kV (BSE)*
- 8,0 nm bei 3 kV (SE)
Verzögerungsmodus unter Hochvakuum
Niedervakuummodus
- 3,0 nm bei 30 kV (SE)
- 4,0 nm bei 30 kV (BSE)
- 10 nm bei 3 kV (SE)