Präzisionsschleifsystem

DL-Serie von LogitechBesitzenDie innovative Bearbeitungslösung ist das neueste hochautomatisierte intelligente Probenvorbereitungssystem. Das System bietet eine dynamische Laststeuerung von Logitech intelligenten pneumatischen Befestigungen und ermöglicht schnelle, zuverlässige und hochpräzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen.

* Die Automatisierung reduziert die Einrichtungs- und Reinigungszeit erheblich, während die integrierte Software eine benutzerfreundliche Plattform mit präzisen, kontrollierten Bearbeitungsfunktionen bietet. Die intelligenten pneumatischen Befestigungen von Logitech verwenden Luftdruck, um bis zu 40 kg Unterdruck auf die Klemme auszuüben und können bis zu 100 U/min drehen, um eine ausgezeichnete Probenbelastung während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Diese Funktionen erfüllen auch die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen.

Es gibt zwei Konfigurationen zur Auswahl: Typ DL81 mit einer einzelnen Arbeitsstation; Typ DL82 mit zwei Arbeitsstationen. Unabhängiges System mit Platten mit einem Durchmesser von 600/700 mm. Bis zu zwei Präzisionspneumatische Befestigungen können gleichzeitig betrieben werden, um große einzelne Proben oder mehrere kleinere Proben zu verarbeiten. Die maximale Größe der feststehenden Probe kann bis zu 8 Zoll/200 mm oder die maximale Größe der freigeschliffenen Probe bis zu 12 Zoll/300 mm betragen.

Elektrische Schleifvorrichtungen ermöglichen eine hohe geometrische Genauigkeit und eine stabile Drehung der Probe während des gesamten Prozesses, wodurch eine hervorragende und wiederholbare Wafer-Gleichmäßigkeit erzielt wird.

Präzisionspneumatische Befestigungen mit integriertem Druckkalibrierungssystem unter der Sperrplatte und einem automatischen Befestigungshangabearm können die Befestigungen auf und von der Platte montiert und umgedreht werden, um die Sperrplatte nach oben zu bringen, damit der Bediener die Proben verarbeiten kann. Die Befestigung kann programmiert werden, um automatisch zu heben, wenn die Zielentfernungsmenge erreicht wird - so dass der Betrieb automatisiert und eine Überbearbeitung verhindert wird. Die Materialentfernungsrate (MRR) kann auf Mikrometergenauigkeit überwacht und gesteuert werden. Der in-situ-Plattendickenmonitor beurteilt und kontrolliert den Zustand der Platte. In Bearbeitung. Das international anerkannte EtherCAT-Protokoll wird verwendet, um die Kommunikation mit den Hauptantriebseinheiten zu ermöglichen, um Parameter zu ermitteln, die für die Überwachung und Diagnose von Maschinen nützlich sind, während ein industrieller Leuchtturm einen Maschinenstandsalarm liefert. Für die mehrstufige Bearbeitung können bis zu vier Zylinder aufgenommen werden. Der erhöhte Zylinder mit einer Kapazität von 3,8 Litern bedeutet einen längeren, ununterbrochenen Bearbeitungsprozess, der für das Schleifen und Polieren von Pulse verwendet werden kann. Die Schleifmittel-Zufuhreinheit, die über eine Perforationspumpe dosiert wird, ermöglicht es dem Bediener, einen Durchfluss von 5 bis 100 ml pro Minute einzustellen. Dies verbessert die Qualität und Genauigkeit der Ergebnisse erheblich und reduziert gleichzeitig die Verschwendung und die Betriebskosten. Das SystemjaGeschlossen und versiegelt, mit Abgasöffnung (Durchmesser 150 mm), ermöglicht die Installation von Extraktionsanschlüssen für den Umgang mit gefährlichen Materialien wie Galliumaransinid (GaAs) oder Indiumphosphid (InP). Ausgestattet mit Reparaturkranen für den sicheren und einfachen Umgang mit Schleif- und Polierplatten. Er kann vom Boden auf den Arbeitsbereich mit einem maximalen Hebegewicht von bis zu 200 kg und einer Streckweite von 380 mm angehoben werden. Durch die grafische Benutzeroberfläche (GUI) des Systems werden Prozessparameter einschließlich der Schleifmittelversorgung in Echtzeit analysiert und gesteuert. 15-Zoll-Display und Touchscreen-Benutzeroberfläche. Mit diesem Modus können Bediener mehrstufige Prozessrezepte erstellen, speichern und aufrufen, um sicherzustellen, dass sich jeder Prozess wiederholt, auch unter unterschiedlichen Bedienungen. Das integrierte Logiwaste-System ermöglicht eine effiziente Entsorgung von Schlammabfällen. Der schwere Niederschlagsbehälter ist mit der Tropfplatte versiegelt verbunden, um den Fluss von Gasen zu verhindern, und die Verbindung ist einfach zu demontieren und zur Behandlung zu entfernen. Der Schwerfällbecken ist mit dem Zwischenbecken und dem Flüssigkeitsspeicher verbunden.