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Nano China GmbH
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Vakuum-Beschichtungsmaschinen von ParyleneFür Laboranwendungen optimiert, mit integrierter Plasmaquelle, die zur Vorbehandlung von Materialoberflächen verwendet werden kann, um die membranbasierten Bindungseigenschaften effektiv zu verbessern. Parylen ist eine ultradünne Polymerschutzschicht, die durch den Prozess der chemischen Gasphase-Ablagerung (CVD) gebildet wird und sich durch eine homogene Abdeckung auf molekularer Ebene, chemische Inertität, ausgezeichnete dielektrische Eigenschaften und Biokompatibilität auszeichnet.

Dieses ModellVakuum-Beschichtungsmaschinen von ParyleneFolgende Eigenschaften:
1. Dieses ModellParylen Beschichtungssystemsowohl für wissenschaftliche Labore als auch für Produktionsumgebungen geeignet;
Funktionsoptimierung speziell für die Bedürfnisse kleiner und mittlerer Unternehmen und Forschungs- und Entwicklungsteams;
3, durch die Konfiguration einer Vielzahl von optionalen Komponenten, um die Anwendbarkeit und Flexibilität der Ausrüstung weiter zu verbessern, kann das Prozesskammervolumen auf Anforderungen angepasst werden und das Mindestvolumen kann bis zu 251 L betragen;
Die Standardkonfiguration der Ausrüstung enthält Plasmabehandlungsmodule;
5, bietet eine spezielle Version für den Reinraum zur Auswahl;
Typische Anwendungen von Parylen-Beschichtungen:
Motorschutz: Mikromotorwicklung, Korrosionsschutz und Schmierbarkeit der Lager, 10-fache Lebensdauer des Salznebels
Halbleiterverpackung: Feuchtigkeitssicherung auf Chipseite, dreidimensionaler Strukturschutz von MEMS-Geräten und temporäre Wafer-Beschichtung
LED-Beleuchtung: Verbesserung der Lichtentfernungseffizienz, Wärmeabkühlung und Witterungsbeständigkeit, Verlängerung der Lebensdauer bis zu 70.000 Stunden
Automobilelektronik: ECU-Modulschutz, die Temperaturschwankungen von -40 bis 150 ° C und Salznebelumgebung widerstehen
Labcoater Serie 300 Perillin Vakuumbeschichtungsgeräte:
| Größe |
L: 1220mm W: 1050mm H: 1920mm |
| Gewicht | 110 kg |
| Kammerkapazität | 25/35/40/80L |
| Prozesskammer |
300mm Ø, H: 300mm (25 Liter) 300mm Ø, H: 350mm (35 Liter) 450mm Ø, H: 500mm (80 Liter) |
| Plasmaquellen |
2,45 GHz und 600 W |
| Gaswege |
Ein Gaskanal (ein Gasverteilungssystem in der eingebauten Prozesskammer) kann auf bis zu drei Gaskanale erweitert werden. |
| Kühlsystem |
4L (Elektromechanische Kaltfalle) |
| Vakuumsystem |
DIN 40 ISO-KF |
| Abgase |
Elektromagnetisches Abgassventil |
| Vakuumpumpen |
Pumpgeschwindigkeit 50m³/h |
| Elektrische Verbindungen |
Dreiphase-Fünfdraht, Wechselstrom 50 Hz, Spannung 400 V / 240 V, maximaler Leistungsverbrauch 8,5 kW |
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