Maskenlose Lichtgravierer

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Maskenfreie Gravur_UVD: Kompaktes Desktop-Maskenfreies Gravursystem mit digitaler Mikroskopie zur hohen Geschwindigkeit der Maskenfreien Grafikerzeugung mit einer Mindestgröße von bis zu 0,5 μm. Ausgestattet mit hochpräziser Echtzeitfokussierung und visueller Gegenstandsgravierung, die hauptsächlich für die schnelle Prototypentwicklung in den Bereichen MEMS, Photonengeräte, Quantenrechnungschips und Sensoren verwendet wird.

Produktdetails

Digitale Projektion ohne Maske _ UVDKompaktes Desktop-Maskenfreies Photograviersystem mit digitaler Mikroskopie für die hohe Geschwindigkeit der Maskenfreien Grafikerzeugung, das eine Mindestgröße von bis zu 0,5 μm erreicht. Ausgestattet mit hochpräziser Echtzeitfokussierung und visueller Gegenstandsgravierung, die hauptsächlich für die schnelle Prototypentwicklung in den Bereichen MEMS, Photonengeräte, Quantenrechnungschips und Sensoren verwendet wird.

Maskenlose Lichtgravierer_UVDLeistungsparameter
Kopf schreiben	50×	20×	10×	5×
Mindestgröße (μm)	0.5	0.8	1	2.5
Rauheit (3σ, nm)	70	80	100	200
CD-Homogenität (3σ, nm)	80	130	180	250
Genauigkeit 100 x 100 mm² (nm)	500	500	800	1000
Schreibgeschwindigkeit mm²/min	13	50	100	180
Systemeigenschaften
Lichtquelle	405nm oder 385nm oder 365nm
Grundplattengröße	Maximal 8 Zoll
Substratdicke	0,1 mm bis 8 mm
Maximale Belichtungsfläche	190×190mm²
Temperaturstabilität	±0.1°
Graustufen	1024
Erweiterbarkeit	Unterstützung für erweiterte Lichtquellen mit doppelter Wellenlänge
Featured Funktionen
Skriptierter Schreibmodus	Bereitstellung einer skriptierten Programmierschnittstelle zur Unterstützung benutzerdefinierter Bearbeitungsstrukturen
Online-Zeichenbearbeitungsmodus	Unterstützt Echtzeit-Online-Zeichnung, Zeichnung beliebiger Grafiken auf dem Echtzeit-Bildschirm der Probe direkt bearbeiten
Schreib- und Schneidsoftware	Unterstützung für JPG, TIFF, GDS, DXF und andere Formate
Echtzeit-Autofokus	Optischer Fokus
Autofokusbereich	70 μm
Systemteile
Objektive	5×，10×，20×，50×，100×
Systemgröße
Länge Breite Höhe	850mm × 940mm × 780mm
	850mm × 940mm × 1470mm
Gewicht	250 kg (Gewicht des Gastgebers)
Installationsbedingungen
Elektrische Bedingungen	230VAC ± 5%, 50 / 60Hz, 10A
Umgebungstemperatur	Temperatur: 21 ± 1 ° C, Luftfeuchtigkeit: 50% ~ 70%, keine Kondensation
Druckluft	6-9bar, ± 0,5 bar
Umweltbeleuchtung	Gelbes Licht
Reinigungsstufe	Reinigungszimmer

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