MEMS und Nanotechnologie

MEMS und Nanotechnologie

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) werden heute in vielen Anwendungsbereichen eingesetzt, darunter Druck- und Beschleunigungssensoren, Mikroglasanzeigen und Mikroflüssigkeitspumpen. MEMS-Geräte nutzen die in der integrierten Schaltungsindustrie verwendeten Fertigungstechnologien, um mechanische Komponenten wie Zahnräder, Membranen und Verbindungsbalken zu erstellen. Die genaue Messung aller dieser Komponenten ist von entscheidender Bedeutung, um die Anforderungen an die Serienproduktion von kostengünstigen und qualitativ hochwertigen MEMS-Geräten zu erfüllen.

Messung

Rauheit
Durch die genaue Messung der Rauheit innerhalb eines MEMS-Geräts können die Oberflächenwechselwirkungen gesteuert werden - ob es sich um eine Wechselwirkung zwischen Feststoff und Feststoff in einem Mikrogetriebssystem oder eine Wechselwirkung zwischen Feststoff und Flüssigkeit in einer Mikroflüssigkeitspumpe handelt.

Treppenhöhe
Die Überwachung der Stufenhöhe von MEMS-Geräten ist ein wichtiger Leistungsindikator. Die Stufenhöhe und die Informationen über die horizontalen Abmessungen liefern eine effektive Massenannäherung, die die grundlegende Oszillationsfrequenz einzelner Komponenten in der Einrichtung beeinflussen kann.

Horizontale Größe
Die horizontalen Abmessungen sind bei der Qualifizierung von Mikrogetrieben und Flüssigkeitssystemen besonders wichtig. Genaue Messungen von Volumen und Oberfläche sowie wichtige Abmessungen wie Strahlbreite helfen bei der Steuerung der Leistung der Endgeräte*.