Lei Chip Messung

Lei Chip Messung

Aufgrund des wachsenden Einsatzes von optoelektronischen Komponenten in der Telekommunikations- und Anzeigetechnologie ist die Extension-Technologie zu einer Schlüsseltechnologie für die Komponentenproduktion geworden. Ausdehnung bezieht sich auf den Prozess, bei dem sehr dünne Schichten von Halbleiterstoffen auf der Oberfläche eines Monokristallsubstrats abgelegt werden. Jede Kristallschicht wird als Extension Schicht bezeichnet.

Messung

Oberflächenrauheit
Für Kunden und Zulieferer ist die Oberflächentextur ein äußerst wichtiger Parameter für die Bestimmung der Qualität der ausgedehnten Halbleiter. Bei den aktuellen Antrieben wird der Bereich der Rauheitstoleranz enger, da die Schaltungen, die auf Siliziumflatten gedruckt werden, immer kleiner werden. Die Oberflächenrauhe des Lei-Chips ist auf Nanometer festgelegt, so dass dies ein System mit sehr geringem Rauschen und hoher Auflösung erfordert, um Lei-Chips zu messen.