Laser-Ätzmessung

Laser-Ätzmessung

Laser-Ätz ist eine der wichtigsten Methoden zum Drucken von Markierungen für integrierte Schaltungen. Dies liegt zum Teil daran, dass die Lasermarkierung eine Identifikationsmethode gegen Manipulationen ist. Die Anti-Manipulation-Markierung trägt erheblich zur Reduzierung von IC-Fälschungen bei und hilft auch beim Verkauf von IC-Produkten mit höheren Geschwindigkeiten und Spezifikationen.

Messung

Treppenhöhe
Da die IC-Pakete kleiner und dünner werden, werden auch die Messanforderungen an die Höhe der Laserätsstufen wichtiger. Die Zieltiefe des Laserätzes wird durch zwei Indikatoranforderungen beschrieben. Erstens muss die Tiefe ausreichen, um eine falschfeste Kennzeichnung bereitzustellen, die vom IC-System gelesen werden kann, und zweitens darf die Tiefe nicht übermäßig sein und die Schaltung auf dem Chip nicht beschädigen.

Rauheit
Die Oberflächenrauhe der Ätzmarken ist ein wichtiger Faktor, um zu kontrollieren, ob die Endmarke einfach vom Maschinen- oder menschlichen Auge gelesen werden kann. Je rauer die Oberfläche ist, desto mehr Licht wird gestreut, wodurch der Kontrast zwischen der Markierung und der umgebenden Oberfläche erhöht wird.