Laborlichtgravierer

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Labor-Lithographie Parameter: 1. Belichtungsfläche: 160mm * 160mm. 2. Belichtungsauflösung: Kontaktbelichtung 0,8um-1um. 3. Ausrichtungsgenauigkeit: 1-1.5um. 4. Lichtintensität: 35mW / cm2. 5. UV-Lichtquelle: Import LED-Module.

Produktdetails

Labor-Lithographie Produkt Parameter:

Belichtungsfläche: 160mm * 160mm

Belichtungsauflösung: Kontaktbelichtung 0.8um-1um

3. Ausrichtungsgenauigkeit: ± 1-1.5um

Lichtintensität: 35mW/cm2

5. UV-Lichtquelle: Import LED-Module

Belichtungszentrale Wellenlänge: 365nm

7. Lichtquelle Lebensdauer: 10.000 Stunden, Lichtquelle Parallelität: ≤2 °

Belichtungsauflösung: Kontaktbelichtung 0.8um-1um

Ungleichmäßigkeit der Beleuchtung: ≤3%

Belichtungseinstellung: Timing

Ausführbare Belichtungsmodus: Vakuumkontakt, Hartkontakt, Druckkontakt, Nahkontakt

12. Abstandseinstellung: Digitale Einstellung Belichtungsabstand 0-1200um

13. Einstellbar, kann automatisch trennen und Lücken beseitigen

Relativer Bewegungsbereich von Proben und Masken: X: ± 5mm, Y: ± 5mm, 0 = ± 6 °

15. Maske-Version finden Sie den Weg: Ball schwebt automatisch flach

16. Unterstützte Maskengrößen: 3 'x3', 4 'x4', 5 'x5', 7 'x7' jeweils ein Stück

17. Standard-Tragstisch: 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll, 6 Zoll

18. Standard-Zubehör ist kompatibel mit Probendicke: 0,1-5mm, andere Größen können angepasst werden

19. Ausrichtungssystem: Optik + CCD, Mikroskop-Multiplikator: Vergrößerung: 150-720-mal einstellbar

20. Doppelobjektiv verstellbarer Abstandsbereich: 30mm-120mm

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