Thermoelektrischer Prozessthermostat LAUDA-Noah POU: Temperaturregelung von -20 bis 90C

Der Thermoelektrische Prozessthermostat LAUDA-Noah POU wird in der Halbleiterindustrie eingesetzt und bietet eine Temperaturregelung von -20 bis 90C

Schnelle Prozess- und Temperaturregelung für anspruchsvolle Prozesse

Das Thermoelektronische Online-Temperaturregelsystem (POU) bietet eine stabile Temperaturregelung für Plasmagravierungsprozesse. Das System steuert dynamisch die Temperatur der Elektrostatischen Schaltplatte (ESC) und kann in jedem Gravurprozess eingesetzt werden. Das LAUDA-Noah POU Thermoelektrische Temperaturregelsystem basiert auf dem Prinzip der Temperaturänderung der Parther-Komponenten. Diese Originale ermöglichen eine schnelle und genaue Temperaturregelung und erfüllen die Anforderungen der heutigen zunehmend kleineren Produktionsgrößen.

Wichtige Funktionen

Niedriger Energieverbrauch ohne Kompressoren und Kältemittel

Industriebereiche sind klein, wenn sie unterhalb des Bodens platziert werden, sind keine Platzbedarf

Extrem geringe Wärmeleitflüssigkeitsfüllung

Standardzubehör

Zusatzbehälter mit manueller Pumpe

Optionales Zubehör

Fernsteuerbares Kommunikationsmodul (RS-485-Kommunikationsprotokoll)

Das POU-System von LAUDA-Noah spart im Vergleich zu Kompressorsystemen bis zu 90 % Energie. Die Option zur optionalen Installation unter dem Boden macht das System sehr klein und spart Platz im Reinraum.